-
1دورية أكاديمية
المؤلفون: Katherine Booker, Maureen Brauers, Erin Crisp, Shakir Rahman, Klaus Weber, Matthew Stocks, Andrew Blakers
المصدر: Journal of Micromechanics & Microengineering; Dec2014, Vol. 24 Issue 12, p1-1, 1p
مصطلحات موضوعية: ETCHING, SURFACE roughness measurement, SILICON wafers, NANOWIRES, PHOTONICS