يعرض 1 - 1 نتائج من 1 نتيجة بحث عن '"Miyashita, F"', وقت الاستعلام: 1.42s تنقيح النتائج
  1. 1
    دورية أكاديمية
    Passivate SiNx halftone phase shifting mask for deep ultraviolet exposure.

    المؤلفون: Ito, S., Iwamatsu, T., Sato, H., Asano, M., Kawano, K., Miyashita, F.

    المصدر: Journal of Vacuum Science & Technology: Part B-Microelectronics & Nanometer Structures; 1996, Vol. 14 Issue 6, p4199-4202, 4p

    Find this article in full text from Scitation.
    أضف إلى المفضلة
أدوات البحث: أحصل على تغذية RSS – أرسل هذا البحث بالبريد الإلكتروني – حفظ البحث – جدول التنبيهات: لا شيء