-
1دورية أكاديمية
المؤلفون: Wei-Yu Zhou, Hsuan-Fan Chen, Xue-Li Tseng, Hsiao-Han Lo, Peter J. Wang, Ming-Yu Jiang, Yiin-Kuen Fuh, Tomi T. Li
المصدر: Materials, Vol 16, Iss 8, p 3015 (2023)
مصطلحات موضوعية: Reactive pulsed DC magnetron sputtering, AlN, BoxBehnken method, Pulse parameter, In-situ OES, PCA, Technology, Electrical engineering. Electronics. Nuclear engineering, TK1-9971, Engineering (General). Civil engineering (General), TA1-2040, Microscopy, QH201-278.5, Descriptive and experimental mechanics, QC120-168.85
وصف الملف: electronic resource
-
2دورية أكاديمية
لا يتم عرض هذه النتيجة على الضيوف.
تسجيل الدخول للوصول الكامل.