-
1دورية أكاديمية
المؤلفون: Walther, S. R., Leung, K. N., Kunkel, W. B.
المصدر: Journal of Applied Physics; 6/15/1988, Vol. 63 Issue 12, p5678, 5p
مصطلحات موضوعية: ION sources, NITROGEN, MICROWAVES
-
2دورية أكاديمية
المؤلفون: Walther, S. R., Leung, K. N., Kunkel, W. B.
المصدر: Review of Scientific Instruments; Jan1990, Vol. 61 Issue 1, p315, 3p
مصطلحات موضوعية: ION implantation, NITROGEN