المؤلفون: N. A. Poklonski, I. I. Anikeev, S. A. Vyrko

المصدر: Pribory i Metody Izmerenij, Vol 13, Iss 4, Pp 247-255 (2022)

مصطلحات موضوعية: нелегированный (собственный) кристаллический кремний, диоксид кремния, электрическая емкость, трехслойный плоский электрический конденсатор, Engineering (General). Civil engineering (General), TA1-2040

وصف الملف: electronic resource

Relation: https://pimi.bntu.by/jour/article/view/786; https://doaj.org/toc/2220-9506; https://doaj.org/toc/2414-0473

URL الوصول: https://doaj.org/article/6664803faaf34c3d9b72ecee48fe3182