المؤلفون: Pernel, C., Avale, X., Veillerot, M., Hortemel, L., Leduc, P., Ritzdorf, T.

المصدر: 2011 IEEE International Interconnect Technology Conference Interconnect Technology Conference and 2011 Materials for Advanced Metallization (IITC/MAM), 2011 IEEE International. :1-3 May, 2011

Relation: Joint 2011 IEEE International Interconnect Technology Conference (IITC) & 2011 Materials for Advanced Metallization (MAM)

المؤلفون: Roule, A., Amuntencei, M., Deronzier, E., Haumesser, P.H., Da Silva, S., Avale, X., Pollet, O., Baskaran, R., Passemard, G.

المصدر: In Microelectronic Engineering 2007 84(11):2610-2614

المؤلفون: Decorps, T., Haumesser, P.H., Olivier, S., Roule, A., Joulaud, M., Pollet, O., Avale, X., Passemard, G.

المصدر: In Microelectronic Engineering 2006 83(11):2082-2087

المؤلفون: Haumesser, P.H ^∗, Mourier, T, Maı̂trejean, S, Cordeau, M, Morel, T, Avale, X, Pollet, O, Klocke, J

المصدر: In Microelectronic Engineering 2003 70(2):470-477

المؤلفون: Decorps, T., Haumesser, P. -H, Segolene OLIVIER, Roule, A., Avale, X., Joulaud, M., Pollet, O., Chainet, E., Passemard, G.

المساهمون: STMicroelectronics [Crolles] (ST-CROLLES), Laboratoire d'Electrochimie et de Physico-chimie des Matériaux et des Interfaces (LEPMI ), Institut de Chimie du CNRS (INC)-Institut National Polytechnique de Grenoble (INPG)-Institut polytechnique de Grenoble - Grenoble Institute of Technology (Grenoble INP )-Université Joseph Fourier - Grenoble 1 (UJF)-Université Savoie Mont Blanc (USMB [Université de Savoie] [Université de Chambéry])-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information (CEA-LETI), Direction de Recherche Technologique (CEA) (DRT (CEA)), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA), Semitool, Inc., Université Joseph Fourier - Grenoble 1 (UJF)-Institut polytechnique de Grenoble - Grenoble Institute of Technology (Grenoble INP )-Institut National Polytechnique de Grenoble (INPG)-Institut de Chimie du CNRS (INC)-Université Savoie Mont Blanc (USMB [Université de Savoie] [Université de Chambéry])-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)

المصدر: Advanced Metallization Conference 2006
Advanced Metallization Conference 2006, Oct 2006, San Diego, United States. MRS Conference Proceedings, XXII, pp.221-225, 2007, Advanced Metallization Conference 2006
Scopus-Elsevier

مصطلحات موضوعية: [CHIM.ANAL]Chemical Sciences/Analytical chemistry, [CHIM]Chemical Sciences, [CHIM.MATE]Chemical Sciences/Material chemistry

URL الوصول: https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=dedup_wf_001::bf3a124a1c541a541cd547532b281147
https://hal.archives-ouvertes.fr/hal-02384309

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