المؤلفون: Sitaraman, Srikrishna, Verhaverbeke, Steven, Banna, Samer, Sowwan, Mukhles, Jiang, Liu, Bazizi, El Mehdi, Ayyagari-Sangamalli, Buvna

المصدر: 2022 IEEE 72nd Electronic Components and Technology Conference (ECTC) ECTC Electronic Components and Technology Conference (ECTC), 2022 IEEE 72nd. :1316-1322 May, 2022

Relation: 2022 IEEE 72nd Electronic Components and Technology Conference (ECTC)

لا يتم عرض هذه النتيجة على الضيوف.
تسجيل الدخول للوصول الكامل.

المؤلفون: Banna, Samer, Ludwig, Alon, Schächter, Levi

المصدر: In Nuclear Inst. and Methods in Physics Research, A 2005 555(1):101-112

المؤلفون: Agarwal, Ankur, Stout, Phillip J., Banna, Samer, Rauf, Shahid, Tokashiki, Ken, Lee, Jeong-Yun, Collins, Ken

المصدر: Journal of Applied Physics; Nov2009, Vol. 106 Issue 10, p103305-1-103305-12, 12p, 3 Diagrams, 13 Graphs

مصطلحات موضوعية: PLASMA etching, PLASMA gases, MONTE Carlo method, PLASMA density, IONS

المؤلفون: Pargon, Erwine, Azarnouch, Laurent, Menguelti, Kevin, Fouchier, Marc, Brihoum, Melisa, Ramos, Raphael, Tiron, Raluca, Joubert, Olivier, Vérove, Christophe, Posseme, Nicolas, Vallier, Laurent, Cunge, Gilles, Darnon, Maxime, Banna, Samer, Lill, Torsten

المساهمون: Darnon, Maxime, Laboratoire des technologies de la microélectronique (LTM), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Université Joseph Fourier - Grenoble 1 (UJF)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information (CEA-LETI), Direction de Recherche Technologique (CEA) (DRT (CEA)), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA), STMicroelectronics [Crolles] (ST-CROLLES), Applied Materials, Santa Clara, Université Joseph Fourier - Grenoble 1 (UJF)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)

المصدر: China Semiconductor Technology International Conference (CSTIC)
China Semiconductor Technology International Conference (CSTIC), Mar 2012, Shanghai, China

مصطلحات موضوعية: [SPI]Engineering Sciences [physics], [SPI] Engineering Sciences [physics], [SPI.NANO] Engineering Sciences [physics]/Micro and nanotechnologies/Microelectronics, [SPI.NANO]Engineering Sciences [physics]/Micro and nanotechnologies/Microelectronics, ComputingMilieux_MISCELLANEOUS

URL الوصول: https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=dedup_wf_001::07d7bdc57b0886512547c191b5984322
https://hal.archives-ouvertes.fr/hal-02338405

لا يتم عرض هذه النتيجة على الضيوف.
تسجيل الدخول للوصول الكامل.

لا يتم عرض هذه النتيجة على الضيوف.
تسجيل الدخول للوصول الكامل.

لا يتم عرض هذه النتيجة على الضيوف.
تسجيل الدخول للوصول الكامل.

لا يتم عرض هذه النتيجة على الضيوف.
تسجيل الدخول للوصول الكامل.

لا يتم عرض هذه النتيجة على الضيوف.
تسجيل الدخول للوصول الكامل.