المؤلفون: Charpin-Nicolle, C., Bonvalot, M., Sommer, R., Persico, A., Cordeau, M.L., Belahcen, S., Eychenne, B., Blaise, Ph., Martinie, S., Bernasconi, S., Jalaguier, E., Nowak, E.

المصدر: In Microelectronic Engineering 15 January 2020 221

المؤلفون: Vallee, C., Bonvalot, M., Gonon, P., Bsiesy, A., Pelissier, B., Chevolleau, T., Yeghoyan, T., Jaffal, M., Belahcen, S., Vallat, R., Chacker, A., Pisi, Y., Zakhtser, A., Pesce, V., Lefèvreand , G., Salicio, O., Gassilloud, R., Possémé, N.

المساهمون: Laboratoire des technologies de la microélectronique (LTM ), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Grenoble Alpes (UGA), Clot, Marielle

المصدر: 73rd Gaseous Electronics Conference GEC 2020
73rd Gaseous Electronics Conference GEC 2020, 2020, virtuelle, United States

مصطلحات موضوعية: [PHYS]Physics [physics], ComputingMilieux_MISCELLANEOUS, [PHYS] Physics [physics]

URL الوصول: https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=dedup_wf_001::980b8cf64df8dfb673acfc38c33abcb6
https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-03449640

المؤلفون: Vallee, C., Bonvalot, M., Pelissier, B., jean-herve tortai, David, S., Belahcen, S., Pesce, V., Jaffal, M., Bsiesy, A., Gassilloud, R., Posseme, N., Grehl, T., Brüner, P., Uedono, A.

المساهمون: Laboratoire des technologies de la microélectronique (LTM ), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Grenoble Alpes [2016-2019] (UGA [2016-2019]), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information (CEA-LETI), Direction de Recherche Technologique (CEA) (DRT (CEA)), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA), Clot, Marielle

المصدر: AVS 66th International Symposium 2019
AVS 66th International Symposium 2019, Oct 2019, Colombus (USA), United States
HAL

مصطلحات موضوعية: [SPI.NANO] Engineering Sciences [physics]/Micro and nanotechnologies/Microelectronics, [SPI.NANO]Engineering Sciences [physics]/Micro and nanotechnologies/Microelectronics, ComputingMilieux_MISCELLANEOUS

URL الوصول: https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=dedup_wf_001::d5350773db3e8e8e916a8143e71a68bd
https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-02338893

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المؤلفون: Vallee, C., Bonvalot, M., Gassilloud, R., Pesce, V., Chaker, A., Belahcen, S., Posseme, N., Pelissier, B., Gonon, P., Bsiesy, A.

المساهمون: Laboratoire des technologies de la microélectronique (LTM ), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Grenoble Alpes [2016-2019] (UGA [2016-2019]), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information (CEA-LETI), Direction de Recherche Technologique (CEA) (DRT (CEA)), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA), Laboratoire des matériaux et du génie physique (LMGP ), Institut National Polytechnique de Grenoble (INPG)-Institut polytechnique de Grenoble - Grenoble Institute of Technology (Grenoble INP )-Institut de Chimie du CNRS (INC)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), Institut polytechnique de Grenoble - Grenoble Institute of Technology (Grenoble INP )-Institut National Polytechnique de Grenoble (INPG)-Institut de Chimie du CNRS (INC)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), Clot, Marielle

المصدر: 19th International Conference on Atomic layer Deposition (ALD2019)
19th International Conference on Atomic layer Deposition (ALD2019), Jul 2019, Bellevue (USA), United States

مصطلحات موضوعية: [SPI.NANO] Engineering Sciences [physics]/Micro and nanotechnologies/Microelectronics, [SPI.NANO]Engineering Sciences [physics]/Micro and nanotechnologies/Microelectronics, ComputingMilieux_MISCELLANEOUS

URL الوصول: https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=dedup_wf_001::c12ab952f78d1b8a72c80e7f59e53e93
https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-02338983

المؤلفون: Vallee, C., Bonvalot, M., Gassilloud, R., Pesce, V., Chaker, A., Belahcen, S., Posseme, N., Pelissier, B., Gonon, P., Bsiesy, A.

المساهمون: Laboratoire des technologies de la microélectronique (LTM ), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Grenoble Alpes [2016-2019] (UGA [2016-2019]), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information (CEA-LETI), Direction de Recherche Technologique (CEA) (DRT (CEA)), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA), Laboratoire des matériaux et du génie physique (LMGP ), Institut polytechnique de Grenoble - Grenoble Institute of Technology (Grenoble INP )-Institut National Polytechnique de Grenoble (INPG)-Institut de Chimie du CNRS (INC)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), Centre Interuniversitaire de Micro-Electronique (CIME), Institut National Polytechnique de Grenoble (INPG), Institut National Polytechnique de Grenoble (INPG)-Institut polytechnique de Grenoble - Grenoble Institute of Technology (Grenoble INP )-Institut de Chimie du CNRS (INC)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), Clot, Marielle

المصدر: ASD19 – 4th area selective deposition workshop – IMEC
ASD19 – 4th area selective deposition workshop – IMEC, Apr 2019, Leuven (Belgique), Belgium

مصطلحات موضوعية: [SPI.NANO] Engineering Sciences [physics]/Micro and nanotechnologies/Microelectronics, [SPI.NANO]Engineering Sciences [physics]/Micro and nanotechnologies/Microelectronics, ComputingMilieux_MISCELLANEOUS

URL الوصول: https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=dedup_wf_001::fcc104e4546450a7ab960311f259d527
https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-02338940

المؤلفون: Vallee, C., Gassilloud, R., Vallat, R., Pesce, V., Belahcen, S., Chaker, A., Salicio, O., Posseme, N., Gonon, P., Bonvalot, M., Bsiesy, A.

المساهمون: Laboratoire des technologies de la microélectronique (LTM ), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Grenoble Alpes [2016-2019] (UGA [2016-2019]), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information (CEA-LETI), Direction de Recherche Technologique (CEA) (DRT (CEA)), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA), Laboratoire Trafic Membranaire (LTM), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA), Centre Interuniversitaire de Micro-Electronique (CIME), Institut National Polytechnique de Grenoble (INPG), Clot, Marielle

المصدر: Journées du réseau plasma froid
Journées du réseau plasma froid, Oct 2018, La Rochelle, France

مصطلحات موضوعية: [PHYS]Physics [physics], ComputingMilieux_MISCELLANEOUS, [PHYS] Physics [physics]

URL الوصول: https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=dedup_wf_001::2ff1bd45bb0b9280c0a0843be3197c0d
https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-01960487

المؤلفون: Bonvalot, M., Belahcen, S., Pesce, V., Chaker, A., Gonon, P., Vallee, C., Bsiesy, A.

المساهمون: Laboratoire des technologies de la microélectronique (LTM ), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Grenoble Alpes [2016-2019] (UGA [2016-2019]), Laboratoire des matériaux et du génie physique (LMGP ), Institut National Polytechnique de Grenoble (INPG)-Institut polytechnique de Grenoble - Grenoble Institute of Technology (Grenoble INP )-Institut de Chimie du CNRS (INC)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), Centre Interuniversitaire de Micro-Electronique (CIME), Institut National Polytechnique de Grenoble (INPG), Institut polytechnique de Grenoble - Grenoble Institute of Technology (Grenoble INP )-Institut National Polytechnique de Grenoble (INPG)-Institut de Chimie du CNRS (INC)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)

المصدر: AVS 65th International Symposium 2018
AVS 65th International Symposium 2018, Oct 2018, Long Beach, United States

مصطلحات موضوعية: [PHYS]Physics [physics], ComputingMilieux_MISCELLANEOUS

URL الوصول: https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=dedup_wf_001::7f2372cfc6d3499b09fae3b4a1801f80
https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-01959025

المؤلفون: Vallee, C., Gassilloud, R., Vallat, R., Pesce, V., Belahcen, S., Chaker, A., Posseme, N., Pelissier, B., Gonon, P., Bonvalot, M., Bsiesy, A.

المساهمون: Laboratoire des technologies de la microélectronique (LTM ), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Grenoble Alpes [2016-2019] (UGA [2016-2019]), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information (CEA-LETI), Direction de Recherche Technologique (CEA) (DRT (CEA)), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA), Centre Interuniversitaire de Micro-Electronique (CIME), Institut National Polytechnique de Grenoble (INPG), Clot, Marielle

المصدر: EMRS Fall meeting – SYMPOSIUM N: New ALD approaches towards functional materials and devices
EMRS Fall meeting – SYMPOSIUM N: New ALD approaches towards functional materials and devices, Sep 2018, Varsovie, Poland

مصطلحات موضوعية: [PHYS]Physics [physics], ComputingMilieux_MISCELLANEOUS, [PHYS] Physics [physics]

URL الوصول: https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=dedup_wf_001::a6c201e0340380ee1b2bc6c7d118cf15
https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-01960470

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