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المؤلفون: C. Perrot, Sebastien Kerdiles, J. Gaudy, Delphine Marris-Morini, Stephane Monfray, Philippe Grosse, J. Lassarre, D. Pellissier-Tanon, Sylvain Guerber, P. Acosta-Abla, C. Barrera, C. Euvard-Colnat, N. Michit, Yohan Desieres, Bertrand Szelag, S. Messaoudène, K. Rovayaz, Nathalie Vulliet, Sebastien Cremer, Frederic Boeuf, Laurent Vivien, Maurin Douix, Ismael Charlet
المصدر: Integrated Photonics Platforms: Fundamental Research, Manufacturing and Applications.
مصطلحات موضوعية: Silicon photonics, Materials science, Fabrication, Silicon, Electro-optic effect, business.industry, Capacitive sensing, chemistry.chemical_element, Interferometry, chemistry, Dispersion (optics), Optoelectronics, business, Layer (electronics)
URL الوصول: https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::45ead3b15bdfabf9d260bad5bb4a4cbd
https://doi.org/10.1117/12.2556460 -
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المؤلفون: Maud Vinet, Thomas Signamarcheix, V. Lu, Julie Widiez, Fabien Clermidy, A. Royer, J. Mazurier, M.-P. Samson, F. Piegas-Luce, Fabrice Nemouchi, L. Pasini, J.M. Hartmann, M. Casse, F. Deprat, Laurent Brunet, N. Rambal, Maurice Rivoire, Perceval Coudrain, M. Bidaud, Ogun Turkyilmaz, Hossam Sarhan, F. Ponthenier, G. Ghibaudo, C. Euvard-Colnat, Perrine Batude, Louis Hutin, Sebastien Kerdiles, Claude Tabone, Emmanuel Josse, L. Benaissa, E. Petitprez, Remi Beneyton, Claire Fenouillet-Beranger, L. Hortemel, G. Cibrario, Pascal Besson, A. Seignard, B. Mathieu, F. Fournel, C. Bout, C. Agraffeil, S. Sollier, Michel Haond, O. Billoint, P. Leduc, O. Rozeau, Benoit Sklenard, Sebastien Thuries, Bernard Previtali, O. Faynot
المساهمون: Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information (CEA-LETI), Direction de Recherche Technologique (CEA) (DRT (CEA)), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA), STMicroelectronics [Crolles] (ST-CROLLES), Institut de Microélectronique, Electromagnétisme et Photonique - Laboratoire d'Hyperfréquences et Caractérisation (IMEP-LAHC), Université Joseph Fourier - Grenoble 1 (UJF)-Institut polytechnique de Grenoble - Grenoble Institute of Technology (Grenoble INP )-Institut National Polytechnique de Grenoble (INPG)-Université Savoie Mont Blanc (USMB [Université de Savoie] [Université de Chambéry])-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), STMicroelectronics, ANR-10-EQPX-0030,FDSOI11,Plateforme FDSOI pour le node 11nm(2010), European Project: 619325,EC:FP7:ICT,FP7-ICT-2013-11,COMPOSE3(2013), Laboratoire d'Electronique et des Technologies de l'Information (CEA-LETI), Université Grenoble Alpes (UGA)-Direction de Recherche Technologique (CEA) (DRT (CEA)), Université Joseph Fourier - Grenoble 1 (UJF)-Institut polytechnique de Grenoble - Grenoble Institute of Technology (Grenoble INP)-Institut National Polytechnique de Grenoble (INPG)-Université Savoie Mont Blanc (USMB [Université de Savoie] [Université de Chambéry])-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Grenoble Alpes (UGA), ANR-10-EQPX-0030/10-EQPX-0030,FDSOI11,Plateforme FDSOI pour le node 11nm(2010)
المصدر: 2015 VLSI-Technology Technical Digest
2015 IEEE Symposium on VLSI Technology
2015 IEEE Symposium on VLSI Technology, Jun 2015, Kyoto, Japan. pp.T48-T49, ⟨10.1109/VLSIT.2015.7223698⟩مصطلحات موضوعية: 010302 applied physics, Very-large-scale integration, Materials science, business.industry, Transistor, Stacking, Electrical engineering, 02 engineering and technology, Direct bonding, Dopant Activation, 01 natural sciences, 7. Clean energy, 020202 computer hardware & architecture, law.invention, law, 0103 physical sciences, MOSFET, 0202 electrical engineering, electronic engineering, information engineering, Optoelectronics, Process optimization, [SPI.NANO]Engineering Sciences [physics]/Micro and nanotechnologies/Microelectronics, business, Scaling
URL الوصول: https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_dedup___::3c2ded39939fef69ac4246deba1297f1
https://hal.archives-ouvertes.fr/hal-02049760 -
3مؤتمر
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