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    المساهمون: Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information (CEA-LETI), Direction de Recherche Technologique (CEA) (DRT (CEA)), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA), STMicroelectronics [Crolles] (ST-CROLLES), Département Plate-Forme Technologique (DPFT), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Direction de Recherche Technologique (CEA) (DRT (CEA)), SERMA Technologies

    المصدر: Journal of Vacuum Science & Technology B Microelectronics and Nanometer Structures
    Journal of Vacuum Science & Technology B Microelectronics and Nanometer Structures, 2018, 36 (5), pp.052201. ⟨10.1116/1.5038617⟩
    Journal of Vacuum Science & Technology B Microelectronics and Nanometer Structures, American Vacuum Society (AVS), 2018, 36 (5), pp.052201. ⟨10.1116/1.5038617⟩

  9. 9

    المساهمون: Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information (CEA-LETI), Direction de Recherche Technologique (CEA) (DRT (CEA)), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA), STMicroelectronics [Crolles] (ST-CROLLES), Département Plate-Forme Technologique (DPFT), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Direction de Recherche Technologique (CEA) (DRT (CEA))

    المصدر: Journal of Vacuum Science and Technology A
    Journal of Vacuum Science and Technology A, American Vacuum Society, 2017, 35 (2), pp.021408. ⟨10.1116/1.4977077⟩
    Journal of Vacuum Science & Technology A
    Journal of Vacuum Science & Technology A, 2017, 35 (2), pp.021408. ⟨10.1116/1.4977077⟩

  10. 10

    المساهمون: Laboratoire des technologies de la microélectronique (LTM ), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Grenoble Alpes [2016-2019] (UGA [2016-2019]), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information (CEA-LETI), Direction de Recherche Technologique (CEA) (DRT (CEA)), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)

    المصدر: Journal of Electron Spectroscopy and Related Phenomena
    Journal of Electron Spectroscopy and Related Phenomena, 2016, 213, pp.1-10. ⟨10.1016/j.elspec.2016.09.008⟩
    Journal of Electron Spectroscopy and Related Phenomena, Elsevier, 2016, 213, pp.1-10. ⟨10.1016/j.elspec.2016.09.008⟩