-
1دورية أكاديمية
المؤلفون: Changfan Ju, Binjian Zeng, Ziqi Luo, Zhibin Yang, Puqi Hao, Luocheng Liao, Qijun Yang, Qiangxiang Peng, Shuaizhi Zheng, Yichun Zhou, Min Liao
المصدر: Journal of Materiomics, Vol 10, Iss 2, Pp 277-284 (2024)
مصطلحات موضوعية: Al2O3, BEOL processing, Ferroelectricity, Hf0.5Zr0.5O2 (HZO), Materials of engineering and construction. Mechanics of materials, TA401-492
وصف الملف: electronic resource