المؤلفون: Nie, Shaoxiao, Ma, Xu, Meng, Fanrui, Zhou, Cong, Wang, Jie, Liu, Yunfei, Xu, Wenhua, Yang, Zhenchuan, Hao, Yilong, Gao, Chengchen

المصدر: 2023 22nd International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers) Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers), 2023 22nd International Conference on. :1511-1513 Jun, 2023

Relation: 2023 22nd International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers)

المؤلفون: Yusof, Norliana, Noorakma, Abdullah C.W., Soin, Norhayati

المصدر: 2014 IEEE International Conference on Semiconductor Electronics (ICSE2014) Semiconductor Electronics (ICSE), 2014 IEEE International Conference on. :248-251 Aug, 2014

Relation: 2014 IEEE 11th International Conference on Semiconductor Electronics (ICSE)

المؤلفون: A. V. Narasimha Rao, V. Swarnalatha, P. Pal

المصدر: Micro and Nano Systems Letters, Vol 5, Iss 1, Pp 1-9 (2017)

مصطلحات موضوعية: Wet anisotropic etching, Bulk micromachining, Silicon, Corner undercutting, KOH, MEMS, Technology

وصف الملف: electronic resource

Relation: http://link.springer.com/article/10.1186/s40486-017-0057-7; https://doaj.org/toc/2213-9621

URL الوصول: https://doaj.org/article/433e8aa64ff7426c930b123c88f784cb

المؤلفون: Rao, A. V. Narasimha, Swarnalatha, V., Pal, P.

المصدر: Micro and Nano Systems Letters. December 2017 5(1):1-9

المؤلفون: Veerla Swarnalatha, A. V. Narasimha Rao, Prem Pal

المصدر: Micro and Nano Systems Letters, Vol 5, Iss 1, Pp 1-9 (2017)

مصطلحات موضوعية: Bulk micromachining, Silicon, Fabrication, Materials science, Biomedical Engineering, chemistry.chemical_element, Nanotechnology, 02 engineering and technology, 01 natural sciences, lcsh:Technology, Corner undercutting, Biomaterials, Etching (microfabrication), 0103 physical sciences, Reactive-ion etching, Composite material, KOH, 010302 applied physics, Microelectromechanical systems, lcsh:T, Wet anisotropic etching, 021001 nanoscience & nanotechnology, Surface micromachining, MEMS, chemistry, Dry etching, 0210 nano-technology

URL الوصول: https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_dedup___::8756b2c1476ef3586768d9f43ef4d05f
http://link.springer.com/article/10.1186/s40486-017-0057-7

لا يتم عرض هذه النتيجة على الضيوف.
تسجيل الدخول للوصول الكامل.

لا يتم عرض هذه النتيجة على الضيوف.
تسجيل الدخول للوصول الكامل.

لا يتم عرض هذه النتيجة على الضيوف.
تسجيل الدخول للوصول الكامل.

لا يتم عرض هذه النتيجة على الضيوف.
تسجيل الدخول للوصول الكامل.

لا يتم عرض هذه النتيجة على الضيوف.
تسجيل الدخول للوصول الكامل.