نتائج البحث - "E. Mairiaux"

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Optomechanical resonating probe for very high frequency sensing of atomic forces

المؤلفون: Pierre Etienne Allain, Marc Gely, Maxime Hermouet, Benjamin Walter, Marc Faucher, Sebastien Hentz, Giuseppe Leo, E. Mairiaux, Colin Mismer, Lucien Schwab, Ivan Favero, Bernard Legrand, Guillaume Jourdan

المساهمون: Laboratoire Matériaux et Phénomènes Quantiques (MPQ (UMR_7162)), Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Paris Cité (UPCité), Équipe Microsystèmes électromécaniques (LAAS-MEMS), Laboratoire d'analyse et d'architecture des systèmes (LAAS), Université Toulouse Capitole (UT Capitole), Université de Toulouse (UT)-Université de Toulouse (UT)-Institut National des Sciences Appliquées - Toulouse (INSA Toulouse), Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Université de Toulouse (UT)-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Université Toulouse - Jean Jaurès (UT2J), Université de Toulouse (UT)-Université Toulouse III - Paul Sabatier (UT3), Université de Toulouse (UT)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Institut National Polytechnique (Toulouse) (Toulouse INP), Université de Toulouse (UT)-Université Toulouse Capitole (UT Capitole), Université de Toulouse (UT), Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 (IEMN), Centrale Lille-Institut supérieur de l'électronique et du numérique (ISEN)-Université de Valenciennes et du Hainaut-Cambrésis (UVHC)-Université de Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Polytechnique Hauts-de-France (UPHF), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information (CEA-LETI), Direction de Recherche Technologique (CEA) (DRT (CEA)), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA), Vmicro SAS (Vmicro), QuaSeRT ANR-18-QUAN-0006, Agence Nationale de la Recherche, GANOMS no. 306664, H2020 European Research Council, FET VIRUSCAN project no. 731868, European Commission, Renatech Network, ANR-14-CE26-0019,OLYMPIA,Sondes opto-mécaniques pour la microscopie AFM rapide(2014), ANR-18-QUAN-0006,QuaSeRT,Optomechanical quantum sensors at room temperature(2018), European Project: 306664,EC:FP7:ERC,ERC-2012-StG_20111012,GANOMS(2013), Université Paris Diderot - Paris 7 (UPD7)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), Nano and Microsystems - IEMN (NAM6 - IEMN), Centrale Lille-Institut supérieur de l'électronique et du numérique (ISEN)-Université de Valenciennes et du Hainaut-Cambrésis (UVHC)-Université de Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Polytechnique Hauts-de-France (UPHF)-Centrale Lille-Institut supérieur de l'électronique et du numérique (ISEN)-Université de Valenciennes et du Hainaut-Cambrésis (UVHC)-Université de Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Polytechnique Hauts-de-France (UPHF), Institut National Polytechnique (Toulouse) (Toulouse INP), Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées-Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées-Institut National des Sciences Appliquées - Toulouse (INSA Toulouse), Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Université Toulouse III - Paul Sabatier (UT3), Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Toulouse 1 Capitole (UT1)-Université Toulouse - Jean Jaurès (UT2J)-Institut National Polytechnique (Toulouse) (Toulouse INP), Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Toulouse 1 Capitole (UT1)-Université Toulouse - Jean Jaurès (UT2J), Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie (IEMN) - UMR 8520 (IEMN), Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université de Lille-Université Polytechnique Hauts-de-France (UPHF)-Ecole Centrale de Lille-Université Polytechnique Hauts-de-France (UPHF)-Institut supérieur de l'électronique et du numérique (ISEN), Laboratoire d'Electronique et des Technologies de l'Information (CEA-LETI), Université Grenoble Alpes (UGA)-Direction de Recherche Technologique (CEA) (DRT (CEA)), Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université de Paris (UP), Université Toulouse - Jean Jaurès (UT2J)-Université Toulouse 1 Capitole (UT1), Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées-Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Toulouse III - Paul Sabatier (UT3), Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées-Institut National des Sciences Appliquées - Toulouse (INSA Toulouse), Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Institut National Polytechnique (Toulouse) (Toulouse INP), Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées-Université Toulouse - Jean Jaurès (UT2J)-Université Toulouse 1 Capitole (UT1), Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées

المصدر: Nanoscale
Nanoscale, 2020, 12 (5), pp.2939-2945. ⟨10.1039/c9nr09690f⟩
Nanoscale, 2020, 12 (5), pp.2939-2945. ⟨10.1039/C9NR09690F⟩
Nanoscale, Royal Society of Chemistry, 2020, 12 (5), pp.2939-2945. ⟨10.1039/c9nr09690f⟩

مصطلحات موضوعية: Physics - Instrumentation and Detectors, Nanostructure, Cantilever, Materials science, FOS: Physical sciences, Applied Physics (physics.app-ph), 02 engineering and technology, 01 natural sciences, 0103 physical sciences, Microscopy, General Materials Science, [PHYS.PHYS.PHYS-INS-DET]Physics [physics]/Physics [physics]/Instrumentation and Detectors [physics.ins-det], [SPI.NANO]Engineering Sciences [physics]/Micro and nanotechnologies/Microelectronics, 010306 general physics, Brownian motion, business.industry, Force spectroscopy, Instrumentation and Detectors (physics.ins-det), Physics - Applied Physics, 021001 nanoscience & nanotechnology, Microsecond, Amplitude, [SPI.OPTI]Engineering Sciences [physics]/Optics / Photonic, Optoelectronics, Nanometre, 0210 nano-technology, business

URL الوصول: https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_dedup___::256758980b58ce89b0f3f270524026ae
https://hal.science/hal-02997481

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A Suspended Silicon Terahertz platform with low loss waveguide and high Q Photonic Crystal cavities

المؤلفون: Benjamin Walter, Marc Faucher, Jean-Francois Lampin, Guillaume Ducournau, Elias Akiki, Mathias Vanwolleghem, E. Mairiaux, Bart Kuyken, Mattias Verstuyft

المساهمون: Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie (IEMN) - UMR 8520 (IEMN), Ecole Centrale de Lille-Institut supérieur de l'électronique et du numérique (ISEN)-Université de Valenciennes et du Hainaut-Cambrésis (UVHC)-Université de Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Laboratoire International associé sur les phénomènes Critiques et Supercritiques en électronique fonctionnelle, acoustique et fluidique (LIA LICS/LEMAC), Ecole Centrale de Lille-Université de Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Polytechnique Hauts-de-France (UPHF)-Ecole Centrale de Lille-Université de Lille-Université Polytechnique Hauts-de-France (UPHF)-Université Polytechnique Hauts-de-France (UPHF), Photonics Research Group, Department of Information Technology (INTEC), Ghent University [Belgium] (UGENT)-Ghent University [Belgium] (UGENT), Institut d'électronique fondamentale (IEF), Université Paris-Sud - Paris 11 (UP11)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 (IEMN), Centrale Lille-Institut supérieur de l'électronique et du numérique (ISEN)-Université de Valenciennes et du Hainaut-Cambrésis (UVHC)-Université de Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Polytechnique Hauts-de-France (UPHF), Universiteit Gent = Ghent University [Belgium] (UGENT)-Universiteit Gent = Ghent University [Belgium] (UGENT), Photonique THz - IEMN (PHOTONIQ THz - IEMN), Centrale Lille-Institut supérieur de l'électronique et du numérique (ISEN)-Université de Valenciennes et du Hainaut-Cambrésis (UVHC)-Université de Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Polytechnique Hauts-de-France (UPHF)-Centrale Lille-Institut supérieur de l'électronique et du numérique (ISEN)-Université de Valenciennes et du Hainaut-Cambrésis (UVHC)-Université de Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Polytechnique Hauts-de-France (UPHF), Vmicro SAS (Vmicro), Photonique THz - IEMN (PHOTONIQUE THz - IEMN), Universiteit Gent = Ghent University (UGENT)-Universiteit Gent = Ghent University (UGENT), Universiteit Gent = Ghent University (UGENT), Nano and Microsystems - IEMN (NAM6 - IEMN), NONE FOUND.

المصدر: 2019 44th International Conference on Infrared, Millimeter, and Terahertz Waves (IRMMW-THz)
2019 44th International Conference on Infrared, Millimeter, and Terahertz Waves (IRMMW-THz), Sep 2019, Paris, France. pp.1-2, ⟨10.1109/IRMMW-THz.2019.8873957⟩

مصطلحات موضوعية: Silicon, Materials science, Loss measurement, Optical resonators, Terahertz radiation, Physics::Medical Physics, Physics::Optics, chemistry.chemical_element, Photoacoustic imaging in biomedicine, 02 engineering and technology, 01 natural sciences, 7. Clean energy, Waveguide (optics), law.invention, [SPI]Engineering Sciences [physics], 020210 optoelectronics & photonics, Etching (microfabrication), law, 0202 electrical engineering, electronic engineering, information engineering, Cavity resonators, ComputingMilieux_MISCELLANEOUS, Photonic crystal, business.industry, 010401 analytical chemistry, 0104 chemical sciences, Optical waveguides, Etching, chemistry, Optical cavity, [SPI.OPTI]Engineering Sciences [physics]/Optics / Photonic, Optoelectronics, Optical losses, business

URL الوصول: https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_dedup___::5914655ca3fee775e545f9a137b66aaa
https://hal.archives-ouvertes.fr/hal-02398418

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Terahertz near-field imaging using batch-fabricated cantilevers with 70 μm long tips

المؤلفون: Marc Faucher, Benjamin Walter, J-F. Lampin, D. Vignaud, S. Eliet, E. Mairiaux

المساهمون: Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 (IEMN), Centrale Lille-Institut supérieur de l'électronique et du numérique (ISEN)-Université de Valenciennes et du Hainaut-Cambrésis (UVHC)-Université de Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Polytechnique Hauts-de-France (UPHF), EPItaxie et PHYsique des hétérostructures - IEMN (EPIPHY - IEMN), Centrale Lille-Institut supérieur de l'électronique et du numérique (ISEN)-Université de Valenciennes et du Hainaut-Cambrésis (UVHC)-Université de Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Polytechnique Hauts-de-France (UPHF)-Centrale Lille-Institut supérieur de l'électronique et du numérique (ISEN)-Université de Valenciennes et du Hainaut-Cambrésis (UVHC)-Université de Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Polytechnique Hauts-de-France (UPHF), Photonique THz - IEMN (PHOTONIQ THz - IEMN), Nano and Microsystems - IEMN (NAM6 - IEMN), Renatech Network, Vmicro SAS, Photonique THz - IEMN (PHOTONIQUE THz - IEMN), A C K N O W L E D G M E N T :We acknowledge the Equipex Excelsior ANR 11-EQPX0015 for funding part of this work and the RENATECH network.

المصدر: 2019 44th International Conference on Infrared, Millimeter, and Terahertz Waves (IRMMW-THz)
2019 44th International Conference on Infrared, Millimeter, and Terahertz Waves (IRMMW-THz), Sep 2019, Paris, France. pp.1-2, ⟨10.1109/IRMMW-THz.2019.8874242⟩

URL الوصول: https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_dedup___::e9263c3e8390d1f99c56c83efdcbc18f
https://hal.archives-ouvertes.fr/hal-02398422/document

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Micro-Electro-Mechanical-Systems advances for measurements at small scales: the vertical silicon probes technology extended to nearfield optics

المؤلفون: E. Mairiaux, Jean-Francois Lampin, S. Eliet, Benjamin Walter, Marc Faucher

المساهمون: Vmicro SAS, Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 (IEMN), Centrale Lille-Institut supérieur de l'électronique et du numérique (ISEN)-Université de Valenciennes et du Hainaut-Cambrésis (UVHC)-Université de Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Polytechnique Hauts-de-France (UPHF), Photonique THz - IEMN (PHOTONIQ THz - IEMN), Centrale Lille-Institut supérieur de l'électronique et du numérique (ISEN)-Université de Valenciennes et du Hainaut-Cambrésis (UVHC)-Université de Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Polytechnique Hauts-de-France (UPHF)-Centrale Lille-Institut supérieur de l'électronique et du numérique (ISEN)-Université de Valenciennes et du Hainaut-Cambrésis (UVHC)-Université de Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Polytechnique Hauts-de-France (UPHF), Nano and Microsystems - IEMN (NAM6 - IEMN), Renatech Network, Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie (IEMN) - UMR 8520 (IEMN), Ecole Centrale de Lille-Institut supérieur de l'électronique et du numérique (ISEN)-Université de Valenciennes et du Hainaut-Cambrésis (UVHC)-Université de Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Polytechnique Hauts-de-France (UPHF), Photonique THz - IEMN (PHOTONIQUE THz - IEMN), ACKNOWLEDGMENTS We acknowledge the equipex Excelsior ANR 11-EQPX-0015 for funding part of this work., ANR-11-EQPX-0015,Excelsior,Centre expérimental pour l'étude des propriétés des nanodispositifs dans un large spectre du DC au moyen Infra-rouge.(2011), Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université de Lille-Université Polytechnique Hauts-de-France (UPHF)-Ecole Centrale de Lille-Université Polytechnique Hauts-de-France (UPHF)-Institut supérieur de l'électronique et du numérique (ISEN)

المصدر: 2019 International Conference on Manipulation, Automation and Robotics at Small Scales (MARSS 2019)
2019 International Conference on Manipulation, Automation and Robotics at Small Scales (MARSS 2019), Jul 2019, Helsinki, Finland. pp.1-5, ⟨10.1109/MARSS.2019.8860980⟩
2019 International Conference on Manipulation, Automation and Robotics at Small Scales (MARSS)
2019 International Conference on Manipulation, Automation and Robotics at Small Scales (MARSS), Jul 2019, Helsinki, France. pp.1-5, ⟨10.1109/MARSS.2019.8860980⟩

مصطلحات موضوعية: Materials science, Silicon, Instrumentation, Transducers, chemistry.chemical_element, Physics::Optics, Near and far field, 02 engineering and technology, 01 natural sciences, Optical imaging, law.invention, Atomic force microscopy, [SPI]Engineering Sciences [physics], Optics, Optical microscope, law, 0103 physical sciences, [PHYS.PHYS.PHYS-INS-DET]Physics [physics]/Physics [physics]/Instrumentation and Detectors [physics.ins-det], [SPI.NANO]Engineering Sciences [physics]/Micro and nanotechnologies/Microelectronics, Force, ComputingMilieux_MISCELLANEOUS, 010302 applied physics, Microelectromechanical systems, business.industry, Scattering, Piezoresistance, 021001 nanoscience & nanotechnology, Laser, chemistry, Near-field scanning optical microscope, Probes, 0210 nano-technology, business

URL الوصول: https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_dedup___::f42ad389cd9b3327d1dec995906b0e8a
https://hal.archives-ouvertes.fr/hal-03321928/file/MARSS2019_paper_20_Faucher.pdf

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Atomic force microscope based on vertical silicon probes

المؤلفون: E. Mairiaux, Benjamin Walter, Marc Faucher

المساهمون: Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 (IEMN), Centrale Lille-Institut supérieur de l'électronique et du numérique (ISEN)-Université de Valenciennes et du Hainaut-Cambrésis (UVHC)-Université de Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Polytechnique Hauts-de-France (UPHF), Nano and Microsystems - IEMN (NAM6 - IEMN), Centrale Lille-Institut supérieur de l'électronique et du numérique (ISEN)-Université de Valenciennes et du Hainaut-Cambrésis (UVHC)-Université de Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Polytechnique Hauts-de-France (UPHF)-Centrale Lille-Institut supérieur de l'électronique et du numérique (ISEN)-Université de Valenciennes et du Hainaut-Cambrésis (UVHC)-Université de Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Polytechnique Hauts-de-France (UPHF), Renatech Network

المصدر: Applied Physics Letters
Applied Physics Letters, American Institute of Physics, 2017, 110 (24), pp.243101. ⟨10.1063/1.4985125⟩
Applied Physics Letters, 2017, 110 (24), pp.243101. ⟨10.1063/1.4985125⟩

URL الوصول: https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_dedup___::bbcd1238f7a59bebfbf467d7461f173d
https://hal.archives-ouvertes.fr/hal-03320143

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6

When capacitive transduction meets the thermomechanical limit: Towards femto-newton force sensors at very high frequency

المؤلفون: Didier Theron, L. Buisson, S. Houmadi, Jean-Paul Salvetat, Bernard Legrand, Jean-Pierre Aimé, Damien Ducatteau, Benjamin Walter, Pascal Merzeau, Marc Faucher, Juan Elezgaray, E. Mairiaux

المساهمون: Équipe Microsystèmes électromécaniques (LAAS-MEMS), Laboratoire d'analyse et d'architecture des systèmes (LAAS), Université Toulouse Capitole (UT Capitole), Université de Toulouse (UT)-Université de Toulouse (UT)-Institut National des Sciences Appliquées - Toulouse (INSA Toulouse), Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Université de Toulouse (UT)-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Université Toulouse - Jean Jaurès (UT2J), Université de Toulouse (UT)-Université Toulouse III - Paul Sabatier (UT3), Université de Toulouse (UT)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Institut National Polytechnique (Toulouse) (Toulouse INP), Université de Toulouse (UT)-Université Toulouse Capitole (UT Capitole), Université de Toulouse (UT), Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 (IEMN), Centrale Lille-Institut supérieur de l'électronique et du numérique (ISEN)-Université de Valenciennes et du Hainaut-Cambrésis (UVHC)-Université de Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Polytechnique Hauts-de-France (UPHF), Franche-Comté Électronique Mécanique, Thermique et Optique - Sciences et Technologies (UMR 6174) (FEMTO-ST), Université de Technologie de Belfort-Montbeliard (UTBM)-Ecole Nationale Supérieure de Mécanique et des Microtechniques (ENSMM)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université de Franche-Comté (UFC), Université Bourgogne Franche-Comté [COMUE] (UBFC)-Université Bourgogne Franche-Comté [COMUE] (UBFC), Centre de recherches Paul Pascal (CRPP), Institut de Chimie du CNRS (INC)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), Nano and Microsystems - IEMN (NAM6 - IEMN), Centrale Lille-Institut supérieur de l'électronique et du numérique (ISEN)-Université de Valenciennes et du Hainaut-Cambrésis (UVHC)-Université de Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Polytechnique Hauts-de-France (UPHF)-Centrale Lille-Institut supérieur de l'électronique et du numérique (ISEN)-Université de Valenciennes et du Hainaut-Cambrésis (UVHC)-Université de Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Polytechnique Hauts-de-France (UPHF), Université Toulouse - Jean Jaurès (UT2J)-Université Toulouse 1 Capitole (UT1), Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées-Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Toulouse III - Paul Sabatier (UT3), Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées-Institut National des Sciences Appliquées - Toulouse (INSA Toulouse), Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Institut National Polytechnique (Toulouse) (Toulouse INP), Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées-Université Toulouse - Jean Jaurès (UT2J)-Université Toulouse 1 Capitole (UT1), Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées, Université de Technologie de Belfort-Montbeliard (UTBM)-Ecole Nationale Supérieure de Mécanique et des Microtechniques (ENSMM)-Université de Franche-Comté (UFC), Université Bourgogne Franche-Comté [COMUE] (UBFC)-Université Bourgogne Franche-Comté [COMUE] (UBFC)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)

المصدر: 28th IEEE Conference on Micro Electro Mechanical Systems, MEMS 2015
28th IEEE Conference on Micro Electro Mechanical Systems, MEMS 2015, Jan 2015, Estoril, Portugal. ⟨10.1109/MEMSYS.2015.7050908⟩

مصطلحات موضوعية: Microelectromechanical systems, Materials science, business.industry, Capacitive sensing, Femto, Very high frequency, Force sensor, Microwave detection, Resonator, Microscopy, Electronic engineering, Optoelectronics, [SPI.NANO]Engineering Sciences [physics]/Micro and nanotechnologies/Microelectronics, business

URL الوصول: https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_dedup___::aab141fc1e69f9a3932aaa382710eba9
http://hdl.handle.net/20.500.12278/117308

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A novel dog-bone oscillating AFM probe with thermal actuation and piezoresistive detection

المؤلفون: Bernard Legrand, E. Mairiaux, Lionel Buchaillot, Z. Xiong, Benjamin Walter, Marc Faucher

المساهمون: Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 (IEMN), Centrale Lille-Institut supérieur de l'électronique et du numérique (ISEN)-Université de Valenciennes et du Hainaut-Cambrésis (UVHC)-Université de Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Polytechnique Hauts-de-France (UPHF), Nano and Microsystems - IEMN (NAM6 - IEMN), Centrale Lille-Institut supérieur de l'électronique et du numérique (ISEN)-Université de Valenciennes et du Hainaut-Cambrésis (UVHC)-Université de Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Polytechnique Hauts-de-France (UPHF)-Centrale Lille-Institut supérieur de l'électronique et du numérique (ISEN)-Université de Valenciennes et du Hainaut-Cambrésis (UVHC)-Université de Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Polytechnique Hauts-de-France (UPHF), Équipe Microsystèmes électromécaniques (LAAS-MEMS), Laboratoire d'analyse et d'architecture des systèmes (LAAS), Université Toulouse Capitole (UT Capitole), Université de Toulouse (UT)-Université de Toulouse (UT)-Institut National des Sciences Appliquées - Toulouse (INSA Toulouse), Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Université de Toulouse (UT)-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Université Toulouse - Jean Jaurès (UT2J), Université de Toulouse (UT)-Université Toulouse III - Paul Sabatier (UT3), Université de Toulouse (UT)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Institut National Polytechnique (Toulouse) (Toulouse INP), Université de Toulouse (UT)-Université Toulouse Capitole (UT Capitole), Université de Toulouse (UT), Université Toulouse - Jean Jaurès (UT2J)-Université Toulouse 1 Capitole (UT1), Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées-Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Toulouse III - Paul Sabatier (UT3), Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées-Institut National des Sciences Appliquées - Toulouse (INSA Toulouse), Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Institut National Polytechnique (Toulouse) (Toulouse INP), Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées-Université Toulouse - Jean Jaurès (UT2J)-Université Toulouse 1 Capitole (UT1), Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées

المصدر: Sensors (Basel, Switzerland)
Sensors
Sensors, 2014, 14 (11), pp.20667-20686. ⟨10.3390/s141120667⟩
Sensors, MDPI, 2014, 14 (11), pp.20667-20686. ⟨10.3390/s141120667⟩
Volume 14
Issue 11
Pages 20667-20686
Sensors, Vol 14, Iss 11, Pp 20667-20686 (2014)

مصطلحات موضوعية: Cantilever, Materials science, Nanotechnology, 02 engineering and technology, thermal actuation, lcsh:Chemical technology, Micromechanical resonator, 01 natural sciences, Biochemistry, Article, Analytical Chemistry, Resonator, Printed circuit board, piezoresistive detection, 0103 physical sciences, lcsh:TP1-1185, [PHYS.PHYS.PHYS-INS-DET]Physics [physics]/Physics [physics]/Instrumentation and Detectors [physics.ins-det], Electrical and Electronic Engineering, [SPI.NANO]Engineering Sciences [physics]/Micro and nanotechnologies/Microelectronics, Instrumentation, 010302 applied physics, Microelectromechanical systems, business.industry, Bandwidth (signal processing), Resonance, 021001 nanoscience & nanotechnology, Piezoresistive effect, Atomic and Molecular Physics, and Optics, Resist, Optoelectronics, AFM, 0210 nano-technology, business

وصف الملف: application/pdf

URL الوصول: https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_dedup___::c40e2769f045e4e2a21aa886b5ee9e43
https://pubmed.ncbi.nlm.nih.gov/25365463

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8

Microwave Performance of $\hbox{InAlAsSb/In}_{0.35} \hbox{Ga}_{0.65}\hbox{Sb/InAlAsSb}$ Double Heterojunction Bipolar Transistors

المؤلفون: Mohammed Zaknoune, Ludovic Desplanque, E. Mairiaux, Xavier Wallart

المصدر: IEEE Electron Device Letters. 31:299-301

URL الوصول: https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::8f13bb633ff11d116f2ebd33e5afbbfc
https://doi.org/10.1109/led.2010.2040241

9

Piezoresistive ring-shaped AFM sensors with pico-newton force resolution

المؤلفون: Lionel Buchaillot, Bernard Legrand, Benjamin Walter, E. Mairiaux, Marc Faucher, Z. Xiong

المساهمون: Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 (IEMN), Centrale Lille-Institut supérieur de l'électronique et du numérique (ISEN)-Université de Valenciennes et du Hainaut-Cambrésis (UVHC)-Université de Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Polytechnique Hauts-de-France (UPHF)

المصدر: International Journal of Intelligent Mechatronics and Robotics
International Journal of Intelligent Mechatronics and Robotics, 2013, 3, pp.38-52. ⟨10.4018/ijimr.2013010104⟩

مصطلحات موضوعية: 010302 applied physics, Materials science, business.industry, Atomic force microscopy, Mechanical Engineering, Resolution (electron density), 02 engineering and technology, 021001 nanoscience & nanotechnology, Ring (chemistry), 01 natural sciences, Piezoresistive effect, Industrial and Manufacturing Engineering, Artificial Intelligence, Control and Systems Engineering, 0103 physical sciences, Optoelectronics, 0210 nano-technology, business

URL الوصول: https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_dedup___::06d0b269264ba10cbd9cb6686f185b24

10

Proceedings of 26th IEEE Conference on Micro Electro Mechanical Systems

المؤلفون: Z. Xiong, E. Mairiaux, B. Walter, M. Faucher, L. Buchaillot, B. Legrand

المصدر: 5.4 MHz dog-bone oscillating AFM probe with thermal actuation and piezoresistive detection.

URL الوصول: https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=erc_________::9f2e93f0a53fb5986e5e5a5be62fa952

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