المؤلفون: Cagli, Carlo, Molas, Gabriel, Harrand, Michel, Bernasconi, Sophie, Charpin, Christelle, El Hajjam, Khalil, Nodin, Jean Francois, Reimbold, Gilles

المصدر: 2017 IEEE International Memory Workshop (IMW) Memory Workshop (IMW), 2017 IEEE International. :1-4 May, 2017

Relation: 2017 IEEE International Memory Workshop (IMW)

المؤلفون: Nguyen, Clement, Cagli, Carlo, Molas, Gabriel, Sklenard, Benoit, Nail, Cecile, El Hajjam, Khalil, Nodin, Jean-Francois, Charpin, Christelle, Bernasconi, Sophie, Reimbold, Gilles

المصدر: 2017 IEEE International Memory Workshop (IMW) Memory Workshop (IMW), 2017 IEEE International. :1-4 May, 2017

Relation: 2017 IEEE International Memory Workshop (IMW)

المؤلفون: El Hajjam, Khalil G., Bounouar, Mohamed Amine, Drouin, Dominique, Calmon, Francis

المصدر: 2016 Joint International EUROSOI Workshop and International Conference on Ultimate Integration on Silicon (EUROSOI-ULIS) Ultimate Integration on Silicon (EUROSOI-ULIS), 2016 Joint International EUROSOI Workshop and International Conference on. :218-221 Jan, 2016

Relation: 2016 Joint International EUROSOI Workshop and International Conference on Ultimate Integration on Silicon (EUROSOI-ULIS)

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المؤلفون: Vallat, Rémi, Gassilloud, Rémy, Salicio, Olivier, El Hajjam, Khalil, Molas, Gabriel, Pelissier, Bernard, Vallée, Christophe

المصدر: Journal of Vacuum Science & Technology: Part A-Vacuums, Surfaces & Films; Mar2019, Vol. 37 Issue 2, pN.PAG-N.PAG, 12p

مصطلحات موضوعية: ATOMIC layer deposition, CHEMICAL precursors, PASSIVATION, FLUORINE, METALLIC surfaces

المؤلفون: Guillaume, Nicolas, Puyoo, Etienne, Albertini, David, BABOUX, Nicolas, Le Berre, Martine, Chevalier, Céline, El Hajjam, Khalil, Gautier, Brice, F., Calmon

المساهمون: INL - Dispositifs Electroniques (INL - DE), Institut des Nanotechnologies de Lyon (INL), Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Institut National des Sciences Appliquées de Lyon (INSA Lyon), Université de Lyon-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Université de Lyon-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-École Centrale de Lyon (ECL), Université de Lyon-Université Claude Bernard Lyon 1 (UCBL), Université de Lyon-École supérieure de Chimie Physique Electronique de Lyon (CPE)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Institut National des Sciences Appliquées de Lyon (INSA Lyon), Université de Lyon-École supérieure de Chimie Physique Electronique de Lyon (CPE), INL - Plateforme Technologique Nanolyon (INL - Nanolyon), LE BERRE, Martine

المصدر: Euromat 2013 (European Congress & Exhibition on Advanced Materials and Processes)
Euromat 2013 (European Congress & Exhibition on Advanced Materials and Processes), Sep 2013, Seville, Spain

مصطلحات موضوعية: [SPI.NANO] Engineering Sciences [physics]/Micro and nanotechnologies/Microelectronics, [SPI.NANO]Engineering Sciences [physics]/Micro and nanotechnologies/Microelectronics, ComputingMilieux_MISCELLANEOUS

URL الوصول: https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=dedup_wf_001::cb1375685568f66deaf39f50bbcb9ae1
https://hal.archives-ouvertes.fr/hal-02075164

المؤلفون: Guillaume, Nicolas, Puyoo, Etienne, Albertini, David, BABOUX, Nicolas, Le Berre, Martine, Chevalier, Céline, El Hajjam, Khalil, Gautier, Brice, F., Calmon

المساهمون: LE BERRE, Martine, INL - Dispositifs Electroniques (INL - DE), Institut des Nanotechnologies de Lyon (INL), Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Institut National des Sciences Appliquées de Lyon (INSA Lyon), Université de Lyon-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Université de Lyon-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-École Centrale de Lyon (ECL), Université de Lyon-Université Claude Bernard Lyon 1 (UCBL), Université de Lyon-École supérieure de Chimie Physique Electronique de Lyon (CPE)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Institut National des Sciences Appliquées de Lyon (INSA Lyon), Université de Lyon-École supérieure de Chimie Physique Electronique de Lyon (CPE), INL - Plateforme Technologique Nanolyon (INL - Nanolyon)

المصدر: Journées Nationales sur les Technologies Emergentes en micro-nanofabrication
Journées Nationales sur les Technologies Emergentes en micro-nanofabrication, May 2013, Evian, France

مصطلحات موضوعية: [SPI.NANO] Engineering Sciences [physics]/Micro and nanotechnologies/Microelectronics, [SPI.NANO]Engineering Sciences [physics]/Micro and nanotechnologies/Microelectronics, ComputingMilieux_MISCELLANEOUS

URL الوصول: https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=dedup_wf_001::8bea5bbf68f4f70c00b4e69254c90fbb
https://hal.archives-ouvertes.fr/hal-02075206

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