المؤلفون: Louis Hutin, J. Mazurier, D. Barge, L. Pasini, Olivier Weber, Frédéric Mazen, F. Piegas Luce, Claire Fenouillet-Beranger, M. Vinet, Antoine Cros, E. Ghegin, B. Mathieu, S. Chhun, J. Borrel, Frederic Boeuf, Quentin Rafhay, Anthony Payet, Michel Haond, Perrine Batude, M. Casse, Fuccio Cristiano, Benoit Sklenard, Zineb Saghi, Joris Lacord, D. Blachier, J.P. Barnes, Gerard Ghibaudo, Francois Andrieu, V. Mazzocchi, N. Rambal, J. Micout, Vincent Delaye, V. Lapras, Laurent Brunet, R. Daubriac, Pascal Besson

المساهمون: Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information (CEA-LETI), Direction de Recherche Technologique (CEA) (DRT (CEA)), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA), STMicroelectronics [Crolles] (ST-CROLLES), Institut de Microélectronique, Electromagnétisme et Photonique - Laboratoire d'Hyperfréquences et Caractérisation (IMEP-LAHC ), Institut polytechnique de Grenoble - Grenoble Institute of Technology (Grenoble INP )-Université Savoie Mont Blanc (USMB [Université de Savoie] [Université de Chambéry])-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Grenoble Alpes [2016-2019] (UGA [2016-2019]), Équipe Matériaux et Procédés pour la Nanoélectronique (LAAS-MPN), Laboratoire d'analyse et d'architecture des systèmes (LAAS), Université Toulouse Capitole (UT Capitole), Université de Toulouse (UT)-Université de Toulouse (UT)-Institut National des Sciences Appliquées - Toulouse (INSA Toulouse), Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Université de Toulouse (UT)-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Université Toulouse - Jean Jaurès (UT2J), Université de Toulouse (UT)-Université Toulouse III - Paul Sabatier (UT3), Université de Toulouse (UT)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Institut National Polytechnique (Toulouse) (Toulouse INP), Université de Toulouse (UT)-Université Toulouse Capitole (UT Capitole), Université de Toulouse (UT), Nano 2017, ANR-10-EQPX-0030,FDSOI11,Plateforme FDSOI pour le node 11nm(2010), Université Toulouse - Jean Jaurès (UT2J)-Université Toulouse 1 Capitole (UT1), Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées-Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Toulouse III - Paul Sabatier (UT3), Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées-Institut National des Sciences Appliquées - Toulouse (INSA Toulouse), Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Institut National Polytechnique (Toulouse) (Toulouse INP), Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées-Université Toulouse - Jean Jaurès (UT2J)-Université Toulouse 1 Capitole (UT1), Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées

المصدر: Proceedings of the 2016 IEEE Symposium on VLSI Technology
2016 IEEE Symposium on VLSI Technology
2016 IEEE Symposium on VLSI Technology, Jun 2016, Honolulu, United States. ⟨10.1109/VLSIT.2016.7573407⟩

مصطلحات موضوعية: 010302 applied physics, Materials science, business.industry, 02 engineering and technology, 01 natural sciences, 020202 computer hardware & architecture, PMOS logic, CMOS, 0103 physical sciences, 0202 electrical engineering, electronic engineering, information engineering, [PHYS.COND.CM-MS]Physics [physics]/Condensed Matter [cond-mat]/Materials Science [cond-mat.mtrl-sci], Optoelectronics, business, NMOS logic

URL الوصول: https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_dedup___::733572509907569cf7c31dbc0cecdb89
https://hal.laas.fr/hal-01730659

المؤلفون: J.P. Barnes, V. Lapras, P. Acosta Alba, N. Rambal, L. Hortemel, F. Piegas Luce, P. Rivallin, Dominique Lafond, Perrine Batude, Pascal Besson, M.-P. Samson, Sebastien Kerdiles, M. Vinet, B. Mathieu, A. Royer, H. Dansas, R. Kachtouli, M. Casse, Shay Reboh, V. Lu, O. Rozeau, L. Pasini, C.Fenouillet Beranger, Bernard Previtali, Laurent Brunet, F. Aussenac, Benoit Sklenard, F. Deprat

المصدر: Extended Abstracts of the 2015 International Conference on Solid State Devices and Materials.

مصطلحات موضوعية: Very-large-scale integration, Materials science, Annealing (metallurgy), Engineering physics

URL الوصول: https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::092b52357e8e8fd31b34f1def6a20d04
https://doi.org/10.7567/ssdm.2015.n-1-1

المؤلفون: Maud Vinet, Thomas Signamarcheix, V. Lu, Julie Widiez, Fabien Clermidy, A. Royer, J. Mazurier, M.-P. Samson, F. Piegas-Luce, Fabrice Nemouchi, L. Pasini, J.M. Hartmann, M. Casse, F. Deprat, Laurent Brunet, N. Rambal, Maurice Rivoire, Perceval Coudrain, M. Bidaud, Ogun Turkyilmaz, Hossam Sarhan, F. Ponthenier, G. Ghibaudo, C. Euvard-Colnat, Perrine Batude, Louis Hutin, Sebastien Kerdiles, Claude Tabone, Emmanuel Josse, L. Benaissa, E. Petitprez, Remi Beneyton, Claire Fenouillet-Beranger, L. Hortemel, G. Cibrario, Pascal Besson, A. Seignard, B. Mathieu, F. Fournel, C. Bout, C. Agraffeil, S. Sollier, Michel Haond, O. Billoint, P. Leduc, O. Rozeau, Benoit Sklenard, Sebastien Thuries, Bernard Previtali, O. Faynot

المساهمون: Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information (CEA-LETI), Direction de Recherche Technologique (CEA) (DRT (CEA)), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA), STMicroelectronics [Crolles] (ST-CROLLES), Institut de Microélectronique, Electromagnétisme et Photonique - Laboratoire d'Hyperfréquences et Caractérisation (IMEP-LAHC), Université Joseph Fourier - Grenoble 1 (UJF)-Institut polytechnique de Grenoble - Grenoble Institute of Technology (Grenoble INP )-Institut National Polytechnique de Grenoble (INPG)-Université Savoie Mont Blanc (USMB [Université de Savoie] [Université de Chambéry])-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), STMicroelectronics, ANR-10-EQPX-0030,FDSOI11,Plateforme FDSOI pour le node 11nm(2010), European Project: 619325,EC:FP7:ICT,FP7-ICT-2013-11,COMPOSE3(2013), Laboratoire d'Electronique et des Technologies de l'Information (CEA-LETI), Université Grenoble Alpes (UGA)-Direction de Recherche Technologique (CEA) (DRT (CEA)), Université Joseph Fourier - Grenoble 1 (UJF)-Institut polytechnique de Grenoble - Grenoble Institute of Technology (Grenoble INP)-Institut National Polytechnique de Grenoble (INPG)-Université Savoie Mont Blanc (USMB [Université de Savoie] [Université de Chambéry])-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Grenoble Alpes (UGA), ANR-10-EQPX-0030/10-EQPX-0030,FDSOI11,Plateforme FDSOI pour le node 11nm(2010)

المصدر: 2015 VLSI-Technology Technical Digest
2015 IEEE Symposium on VLSI Technology
2015 IEEE Symposium on VLSI Technology, Jun 2015, Kyoto, Japan. pp.T48-T49, ⟨10.1109/VLSIT.2015.7223698⟩

مصطلحات موضوعية: 010302 applied physics, Very-large-scale integration, Materials science, business.industry, Transistor, Stacking, Electrical engineering, 02 engineering and technology, Direct bonding, Dopant Activation, 01 natural sciences, 7. Clean energy, 020202 computer hardware & architecture, law.invention, law, 0103 physical sciences, MOSFET, 0202 electrical engineering, electronic engineering, information engineering, Optoelectronics, Process optimization, [SPI.NANO]Engineering Sciences [physics]/Micro and nanotechnologies/Microelectronics, business, Scaling

URL الوصول: https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_dedup___::3c2ded39939fef69ac4246deba1297f1
https://hal.archives-ouvertes.fr/hal-02049760

المؤلفون: M. Vinet, Michel Haond, Claire Fenouillet-Beranger, O. Rozeau, F. Allain, Louis Hutin, Sebastien Kerdiles, B. Mathieu, F. Piegas Luce, Pascal Besson, Shay Reboh, Laurent Brunet, Gerard Ghibaudo, Benoit Sklenard, L. Pasini, M. Casse, N. Rambal, Claude Tabone, D. Lafond, F. Aussenac, Perrine Batude, G. Audoit, S. Martini, Nicolas Bernier, J.M. Hartmann, G. Romano, S. Barraud, V. Barral

المساهمون: Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information (CEA-LETI), Direction de Recherche Technologique (CEA) (DRT (CEA)), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA), STMicroelectronics [Crolles] (ST-CROLLES), Institut de Microélectronique, Electromagnétisme et Photonique - Laboratoire d'Hyperfréquences et Caractérisation (IMEP-LAHC), Université Joseph Fourier - Grenoble 1 (UJF)-Institut polytechnique de Grenoble - Grenoble Institute of Technology (Grenoble INP )-Université Savoie Mont Blanc (USMB [Université de Savoie] [Université de Chambéry])-Institut National Polytechnique de Grenoble (INPG)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), ANR-10-EQPX-0030,FDSOI11,Plateforme FDSOI pour le node 11nm(2010), Université Joseph Fourier - Grenoble 1 (UJF)-Institut polytechnique de Grenoble - Grenoble Institute of Technology (Grenoble INP )-Institut National Polytechnique de Grenoble (INPG)-Université Savoie Mont Blanc (USMB [Université de Savoie] [Université de Chambéry])-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)

المصدر: 2015 VLSI-Technology Technical Digest
2015 IEEE Symposium on VLSI Technology
2015 IEEE Symposium on VLSI Technology, Jun 2015, Kyoto, Japan. pp.T50-T51, ⟨10.1109/VLSIT.2015.7223699⟩

مصطلحات موضوعية: Very-large-scale integration, Fabrication, Materials science, 010308 nuclear & particles physics, 0211 other engineering and technologies, Insulator (electricity), 02 engineering and technology, 01 natural sciences, CMOS, 021105 building & construction, 0103 physical sciences, Scalability, Electronic engineering, Hardware_INTEGRATEDCIRCUITS, Performance improvement, [SPI.NANO]Engineering Sciences [physics]/Micro and nanotechnologies/Microelectronics

URL الوصول: https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_dedup___::37bd105e2413a9ec146cc1437fd30489
https://hal.archives-ouvertes.fr/hal-02049770

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