المؤلفون: Lapisa, Martin, Zimmer, Fabian, Niklaus, Frank, Gehner, Andreas, Stemme, Goran

المصدر: 2009 IEEE 22nd International Conference on Micro Electro Mechanical Systems Micro Electro Mechanical Systems, 2009. MEMS 2009. IEEE 22nd International Conference on. :1007-1010 Jan, 2009

Relation: 2009 IEEE 22nd International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS)

لا يتم عرض هذه النتيجة على الضيوف.
تسجيل الدخول للوصول الكامل.

المؤلفون: Zappe, Hans, Piyawattanametha, Wibool, Park, Yong-Hwa, Hohle, Christoph, Döring, Sebastian, Friedrichs, Martin, Gehner, Andreas, Rudloff, Dirk, Schulze, Matthias, Stübner, Ronald, Trenkler, Daniela

المصدر: Proceedings of SPIE; March 2021, Vol. 11697 Issue: 1 p116970V-116970V-10, 11580041p

المؤلفون: Lapisa, Martin, Zimmer, Fabian, Stemme, Göran, Gehner, Andreas, Niklaus, Frank

المصدر: Journal of microelectromechanical systems. 21(4):959-970

مصطلحات موضوعية: Heterogeneous integration, mirrors, silicon, spatial light modulators (SLMs), very large scale integration, wafer bonding, wafer-scale integration

وصف الملف: print

URL الوصول: https://urn.kb.se/resolve?urn=urn:nbn:se:kth:diva-99161

لا يتم عرض هذه النتيجة على الضيوف.
تسجيل الدخول للوصول الكامل.

المؤلفون: Wildenhain, Michael, Knobbe, Jens, Gehner, Andreas, Wagner, Michael, Lakner, Hubert

المصدر: Proceedings of SPIE; Nov2007, Issue 1, p64670E-64670E-10, 10p

المؤلفون: Schmidt, Jan U., Knobbe, Jens, Gehner, Andreas, Lakner, Hubert

المصدر: Proceedings of SPIE; Nov2007, Issue 1, p64670R-64670R-11, 11p

المؤلفون: Gehner, Andreas, Wildenhain, Michael, Neumann, Hannes, Knobbe, Jens, Komenda, Ondrej

المصدر: Proceedings of SPIE; Nov2006, Issue 1, p61130K-61130K-15, 15p

المؤلفون: Dürr, Peter, Gehner, Andreas, Schmidt, Jan, Kunze, Detlef, Wagner, Michael, Lakner, Hubert

المصدر: Proceedings of SPIE; Nov2006, Issue 1, p61140I-61140I-10, 10p

المؤلفون: Gehner, Andreas, Wildenhain, Michael, Neumann, Hannes, Elgner, Andreas, Schenk, Harald

المصدر: Proceedings of SPIE; Nov2005 Part 2, Issue 1, p58940H-58940H-14, 14p