نتائج البحث - "Gilles Cunge"

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Dry-Etching Processes for High-Aspect-Ratio Features with Sub-10 nm Resolution High-χ Block Copolymers

المؤلفون: Gwenaelle Pound-Lana, Gilles Cunge, Sébastien Cavalaglio, Philippe Bézard, Xavier Chevalier, Guillaume Fleury, Marc Zelsmann, Camille Petit-Etienne, Benjamin Cabannes-Boué

المساهمون: Laboratoire des technologies de la microélectronique (LTM ), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Grenoble Alpes (UGA), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information (CEA-LETI), Direction de Recherche Technologique (CEA) (DRT (CEA)), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA), Laboratoire de Chimie des Polymères Organiques (LCPO), Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Institut Polytechnique de Bordeaux-Ecole Nationale Supérieure de Chimie, de Biologie et de Physique (ENSCBP)-Université de Bordeaux (UB)-Institut de Chimie du CNRS (INC), Team 4 LCPO : Polymer Materials for Electronic, Energy, Information and Communication Technologies, Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Institut Polytechnique de Bordeaux-Ecole Nationale Supérieure de Chimie, de Biologie et de Physique (ENSCBP)-Université de Bordeaux (UB)-Institut de Chimie du CNRS (INC)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Institut Polytechnique de Bordeaux-Ecole Nationale Supérieure de Chimie, de Biologie et de Physique (ENSCBP)-Université de Bordeaux (UB)-Institut de Chimie du CNRS (INC), Arkema (Arkema), Université de Bordeaux (UB)-Ecole Nationale Supérieure de Chimie, de Biologie et de Physique (ENSCBP)-Institut Polytechnique de Bordeaux-Institut de Chimie du CNRS (INC)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), Université de Bordeaux (UB)-Ecole Nationale Supérieure de Chimie, de Biologie et de Physique (ENSCBP)-Institut Polytechnique de Bordeaux-Institut de Chimie du CNRS (INC)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université de Bordeaux (UB)-Ecole Nationale Supérieure de Chimie, de Biologie et de Physique (ENSCBP)-Institut Polytechnique de Bordeaux-Institut de Chimie du CNRS (INC)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)

المصدر: ACS Applied Materials & Interfaces
ACS Applied Materials & Interfaces, Washington, D.C. : American Chemical Society, 2021, 13 (41), pp.49184-49193. ⟨10.1021/acsami.1c13503⟩
ACS Applied Materials & Interfaces, 2021, 13 (41), pp.49184-49193. ⟨10.1021/acsami.1c13503⟩

مصطلحات موضوعية: Materials science, Silicon, chemistry.chemical_element, 02 engineering and technology, 01 natural sciences, [SPI]Engineering Sciences [physics], chemistry.chemical_compound, Etching (microfabrication), 0103 physical sciences, Microelectronics, General Materials Science, Lamellar structure, ComputingMilieux_MISCELLANEOUS, 010302 applied physics, business.industry, [SPI.PLASMA]Engineering Sciences [physics]/Plasmas, [CHIM.MATE]Chemical Sciences/Material chemistry, 021001 nanoscience & nanotechnology, Nanolithography, chemistry, Silicon nitride, Optoelectronics, Dry etching, 0210 nano-technology, business, [PHYS.COND.CM-SCM]Physics [physics]/Condensed Matter [cond-mat]/Soft Condensed Matter [cond-mat.soft], Layer (electronics)

URL الوصول: https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_dedup___::391e2d331104f14ccd315c345f812bef
https://pubmed.ncbi.nlm.nih.gov/34636239

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2

Lithographically Defined Cross-Linkable Top Coats for Nanomanufacturing with High-χ Block Copolymers

المؤلفون: Xavier Chevalier, Cindy Gomes Correia, Gwenaelle Pound-Lana, Philippe Bézard, Matthieu Sérégé, Camille Petit-Etienne, Guillaume Gay, Gilles Cunge, Benjamin Cabannes-Boué, Célia Nicolet, Christophe Navarro, Ian Cayrefourcq, Marcus Müller, Georges Hadziioannou, Ilias Iliopoulos, Guillaume Fleury, Marc Zelsmann

المساهمون: Arkema (Arkema), Laboratoire de Chimie des Polymères Organiques (LCPO), Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Institut Polytechnique de Bordeaux-Ecole Nationale Supérieure de Chimie, de Biologie et de Physique (ENSCBP)-Université de Bordeaux (UB)-Institut de Chimie du CNRS (INC), Team 4 LCPO : Polymer Materials for Electronic, Energy, Information and Communication Technologies, Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Institut Polytechnique de Bordeaux-Ecole Nationale Supérieure de Chimie, de Biologie et de Physique (ENSCBP)-Université de Bordeaux (UB)-Institut de Chimie du CNRS (INC)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Institut Polytechnique de Bordeaux-Ecole Nationale Supérieure de Chimie, de Biologie et de Physique (ENSCBP)-Université de Bordeaux (UB)-Institut de Chimie du CNRS (INC), Laboratoire des technologies de la microélectronique (LTM ), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Grenoble Alpes (UGA), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information (CEA-LETI), Direction de Recherche Technologique (CEA) (DRT (CEA)), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA), Institut für Theoretische Physik [Göttingen], Georg-August-University [Göttingen], Laboratoire Procédés et Ingénierie en Mécanique et Matériaux (PIMM), Conservatoire National des Arts et Métiers [CNAM] (CNAM)-Arts et Métiers Sciences et Technologies, HESAM Université (HESAM)-HESAM Université (HESAM), Université de Bordeaux (UB)-Ecole Nationale Supérieure de Chimie, de Biologie et de Physique (ENSCBP)-Institut Polytechnique de Bordeaux-Institut de Chimie du CNRS (INC)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), Université de Bordeaux (UB)-Ecole Nationale Supérieure de Chimie, de Biologie et de Physique (ENSCBP)-Institut Polytechnique de Bordeaux-Institut de Chimie du CNRS (INC)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université de Bordeaux (UB)-Ecole Nationale Supérieure de Chimie, de Biologie et de Physique (ENSCBP)-Institut Polytechnique de Bordeaux-Institut de Chimie du CNRS (INC)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), Georg-August-University = Georg-August-Universität Göttingen, Conservatoire National des Arts et Métiers [CNAM] (CNAM), HESAM Université - Communauté d'universités et d'établissements Hautes écoles Sorbonne Arts et métiers université (HESAM)-HESAM Université - Communauté d'universités et d'établissements Hautes écoles Sorbonne Arts et métiers université (HESAM)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Arts et Métiers Sciences et Technologies, HESAM Université - Communauté d'universités et d'établissements Hautes écoles Sorbonne Arts et métiers université (HESAM)

المصدر: ACS Applied Materials & Interfaces
ACS Applied Materials & Interfaces, Washington, D.C. : American Chemical Society, 2021, 13 (9), pp.11224-11236. ⟨10.1021/acsami.1c00694⟩
ACS Applied Materials & Interfaces, 2021, 13 (9), pp.11224-11236. ⟨10.1021/acsami.1c00694⟩

مصطلحات موضوعية: Spatial positioning, Materials science, Lithography, Dewetting, Nanotechnology, Top-coat patterning, 02 engineering and technology, 010402 general chemistry, Sciences de l'ingénieur, 01 natural sciences, [SPI.MAT]Engineering Sciences [physics]/Materials, Cross-linkable top coats, [SPI]Engineering Sciences [physics], Nanomanufacturing, Perpendicular, Copolymer, General Materials Science, ComputingMilieux_MISCELLANEOUS, Nanopatterning, Self-assembly, 021001 nanoscience & nanotechnology, Block copolymers, 0104 chemical sciences, [CHIM.POLY]Chemical Sciences/Polymers, 0210 nano-technology, Layer (electronics), [PHYS.COND.CM-SCM]Physics [physics]/Condensed Matter [cond-mat]/Soft Condensed Matter [cond-mat.soft]

وصف الملف: application/pdf

URL الوصول: https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_dedup___::2b16affd0d5064adbdf8817fa01fd1fd
https://hal.archives-ouvertes.fr/hal-03419558

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3

Engineering Self-Assembly of a High-χ Block Copolymer for Large-Area Fabrication of Transistors Based on Functional Graphene Nanoribbon Arrays

المؤلفون: Javier Arias-Zapata, Marc Zelsmann, Antoine Legrain, Hasan-al Mehedi, Bassem Salem, Gilles Cunge, Jérôme Garnier

المساهمون: Laboratoire des technologies de la microélectronique (LTM ), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Grenoble Alpes [2016-2019] (UGA [2016-2019])

المصدر: Chemistry of Materials
Chemistry of Materials, 2019, 31 (9), pp.3154-3162. ⟨10.1021/acs.chemmater.8b04936⟩
Chemistry of Materials, American Chemical Society, 2019, 31 (9), pp.3154-3162. ⟨10.1021/acs.chemmater.8b04936⟩

URL الوصول: https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_dedup___::4d534708dcc825249ce974e93747a433
https://doi.org/10.1021/acs.chemmater.8b04936

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4

CF4/H2 Plasma Cleaning of Graphene Regenerates Electronic Properties of the Pristine Material

المؤلفون: Olivier Renault, Gilles Cunge, Denis Mariolle, Javier Arias-Zapata, Vincent Bouchiat, Hanako Okuno, Nicolas Chevalier, Djawhar Ferrah, Daniil Marinov, Denis Rouchon

المساهمون: Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information (CEA-LETI), Direction de Recherche Technologique (CEA) (DRT (CEA)), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA), Laboratoire de Physique des Plasmas (LPP), Université Paris-Sud - Paris 11 (UP11)-Observatoire de Paris, Université Paris sciences et lettres (PSL)-Université Paris sciences et lettres (PSL)-École polytechnique (X)-Sorbonne Université (SU)-Université Paris-Saclay-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), Systèmes hybrides de basse dimensionnalité (NEEL - HYBRID), Institut Néel (NEEL), Institut polytechnique de Grenoble - Grenoble Institute of Technology (Grenoble INP )-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Grenoble Alpes [2016-2019] (UGA [2016-2019])-Institut polytechnique de Grenoble - Grenoble Institute of Technology (Grenoble INP )-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Grenoble Alpes [2016-2019] (UGA [2016-2019])

المصدر: ACS Applied Nano Materials
ACS Applied Nano Materials, 2019, 2 (3), pp.1356-1366. ⟨10.1021/acsanm.8b02249⟩

URL الوصول: https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_dedup___::ab14f4107f4b203dc38f232ccd0c701d
https://doi.org/10.1021/acsanm.8b02249

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5

Multifunctional Top-Coats Strategy for DSA of High-χ Block Copolymers

المؤلفون: Xavier Chevalier, Cindy Gomes Correia, Gwenaelle Pound-Lana, Philippe Bézard, Matthieu Sérégé, Camille Petit-Etienne, Guillaume Gay, Gilles Cunge, Benjamin Cabannes-Boué, Célia Nicolet, Christophe Navarro, Ian Cayrefourcq, Marcus Müller, Georges Hadziioannou, Ilias Iliopoulos, Guillaume Fleury, Marc Zelsmann

المساهمون: Arkema (Arkema), Laboratoire de Chimie des Polymères Organiques (LCPO), Université de Bordeaux (UB)-Ecole Nationale Supérieure de Chimie, de Biologie et de Physique (ENSCBP)-Institut Polytechnique de Bordeaux-Institut de Chimie du CNRS (INC)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), Laboratoire des technologies de la microélectronique (LTM ), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Grenoble Alpes (UGA), Georg-August-University = Georg-August-Universität Göttingen, Laboratoire Procédés et Ingénierie en Mécanique et Matériaux (PIMM), Conservatoire National des Arts et Métiers [CNAM] (CNAM), HESAM Université - Communauté d'universités et d'établissements Hautes écoles Sorbonne Arts et métiers université (HESAM)-HESAM Université - Communauté d'universités et d'établissements Hautes écoles Sorbonne Arts et métiers université (HESAM)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Arts et Métiers Sciences et Technologies, HESAM Université - Communauté d'universités et d'établissements Hautes écoles Sorbonne Arts et métiers université (HESAM), Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Institut Polytechnique de Bordeaux-Ecole Nationale Supérieure de Chimie, de Biologie et de Physique (ENSCBP)-Université de Bordeaux (UB)-Institut de Chimie du CNRS (INC), University of Göttingen - Georg-August-Universität Göttingen, Conservatoire National des Arts et Métiers [CNAM] (CNAM)-Arts et Métiers Sciences et Technologies, HESAM Université (HESAM)-HESAM Université (HESAM)

المصدر: Journal of Photopolymer Science and Technology
Journal of Photopolymer Science and Technology, 2021, 34 (1), pp.11-16. ⟨10.2494/photopolymer.34.11⟩
Journal of Photopolymer Science and Technology, Technical Assoc of Photopolymers Japan, 2021, 34 (1), pp.11-16. ⟨10.2494/photopolymer.34.11⟩

مصطلحات موضوعية: Materials science, Lithography, Polymers and Plastics, Dewetting, 010401 analytical chemistry, Organic Chemistry, Nanopatterning, Top-coat patterning, Self-assembly, 010402 general chemistry, 01 natural sciences, Block copolymers, 0104 chemical sciences, [CHIM.POLY]Chemical Sciences/Polymers, Chemical engineering, Materials Chemistry, Copolymer, Cross-linkable top-coats, [SPI.NANO]Engineering Sciences [physics]/Micro and nanotechnologies/Microelectronics

URL الوصول: https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_dedup___::40781ead33c0c2cb8a3af62efadb4064
https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-03448382

6

Vacuum ultraviolet-absorption spectroscopy and delocalized plasma-induced emission used for the species detection in a down-stream soft-etch plasma reactor

المؤلفون: Nader Sadeghi, Robert Soriano, Gilles Cunge

المساهمون: Laboratoire des technologies de la microélectronique (LTM ), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Grenoble Alpes (UGA), ANR-10-LABX-0055,MINOS Lab,Minatec Novel Devices Scaling Laboratory(2010)

المصدر: Journal of Vacuum Science and Technology A
Journal of Vacuum Science and Technology A, American Vacuum Society, 2020, 38 (4), pp.043002. ⟨10.1116/6.0000134⟩
Journal of Vacuum Science & Technology A
Journal of Vacuum Science & Technology A, 2020, 38 (4), pp.043002. ⟨10.1116/6.0000134⟩

URL الوصول: https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_dedup___::2f0dce343a56d1bf4c6483b9d7ff1a86
https://hal.archives-ouvertes.fr/hal-03419554

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7

Cleaning chamber walls after ITO plasma etching process

المؤلفون: Pascal Gouraud, Salma Younesy, Gilles Cunge, Sébastien Barnola, Camille Petit-Etienne

المساهمون: Laboratoire des technologies de la microélectronique (LTM ), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Grenoble Alpes (UGA), STMicroelectronics [Crolles] (ST-CROLLES), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information (CEA-LETI), Direction de Recherche Technologique (CEA) (DRT (CEA)), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)

المصدر: Advanced Etch Technology for Nanopatterning IX
Advanced Etch Technology for Nanopatterning IX, Feb 2020, San Jose, United States. pp.30, ⟨10.1117/12.2549210⟩

URL الوصول: https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_dedup___::76bb539a0f17ae1ab3048a9fe056c028
https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-02912746

8

Graphene structuration by self-assembly of high-χ block copolymers

المؤلفون: Gilles Cunge, Sophie Böhme, Javier Arias-Zapata, Marc Zelsmann, Hanako Okuno, Jérôme Garnier, Djawhar Ferrah, O. Mouray

المصدر: Materials Today: Proceedings. 4:6827-6834

URL الوصول: https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::1b384f8aa4e5c3f5646770f7eee67b82
https://doi.org/10.1016/j.matpr.2017.07.010

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9

Etch process cleaning to improve wafer to wafer reproducibility

المؤلفون: Chevolleau, T., Camille Petit-Etienne, Gilles Cunge, Erwine Pargon, Vallier, L., Posseme, N., Olivier Joubert, Anne Le Gouil, Raphael Ramos, Elodie Sungauer, Olivier Luere, Maxime Darnon, Romain Chanson, Salma Younesy

المساهمون: Laboratoire des technologies de la microélectronique (LTM ), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Grenoble Alpes [2016-2019] (UGA [2016-2019]), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information (CEA-LETI), Direction de Recherche Technologique (CEA) (DRT (CEA)), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA), Clot, Marielle

المصدر: ENRIS 2019 (European Nanofabrication Research Infrastructure Symposium)
ENRIS 2019 (European Nanofabrication Research Infrastructure Symposium), 2019, UNIVERSITY OF TWENTE, Netherlands
HAL

مصطلحات موضوعية: [PHYS]Physics [physics], ComputingMilieux_MISCELLANEOUS, [PHYS] Physics [physics]

URL الوصول: https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=dedup_wf_001::65b8d9154855fc67f1a4dfe6121db37b
https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-02624143

10

High density H 2 and He plasmas: Can they be used to treat graphene?

المؤلفون: O. Renault, Hanako Okuno, Vincent Bouchiat, J. Dubois, H.-A. Mehedi, D. Ferrah, Camille Petit-Etienne, Gilles Cunge

المساهمون: Laboratoire des technologies de la microélectronique (LTM ), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Grenoble Alpes [2016-2019] (UGA [2016-2019]), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information (CEA-LETI), Direction de Recherche Technologique (CEA) (DRT (CEA)), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA), Unité de Physico-Chimie et de Physique des Matériaux (UCL PCPM), Université Catholique de Louvain = Catholic University of Louvain (UCL), Systèmes hybrides de basse dimensionnalité (HYBRID), Institut Néel (NEEL), Institut polytechnique de Grenoble - Grenoble Institute of Technology (Grenoble INP )-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Grenoble Alpes [2016-2019] (UGA [2016-2019])-Institut polytechnique de Grenoble - Grenoble Institute of Technology (Grenoble INP )-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Grenoble Alpes [2016-2019] (UGA [2016-2019]), Bureau de Recherches Géologiques et Minières (BRGM) (BRGM), Systèmes hybrides de basse dimensionnalité (NEEL - HYBRID)

المصدر: Journal of Applied Physics
Journal of Applied Physics, American Institute of Physics, 2018, 124 (12), pp.125304. ⟨10.1063/1.5043605⟩
Journal of Applied Physics, 2018, 124 (12), pp.125304. ⟨10.1063/1.5043605⟩

URL الوصول: https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_dedup___::bd7d3dd46081c28216b109c72905b81c
https://hal.archives-ouvertes.fr/hal-01971565

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