المؤلفون: Liu, Huan, Wu, Jian, He, Rui^{Aff1, IDs11227023056915_cor3}

المصدر: The Journal of Supercomputing: An International Journal of High-Performance Computer Design, Analysis, and Use. 80(5):6169-6191

المؤلفون: Suzumura, N., Omori, K., Tsuchiya, H., Aono, H., Yamashita., T.

المصدر: 2020 IEEE International Reliability Physics Symposium (IRPS) Reliability Physics Symposium (IRPS), 2020 IEEE International. :1-6 Apr, 2020

Relation: 2020 IEEE International Reliability Physics Symposium (IRPS)

المؤلفون: C. Helke, C.H. Canpolat-Schmidt, G. Heldt, S. Schermer, S. Hartmann, A. Voigt, D. Reuter

المصدر: Micro and Nano Engineering, Vol 19, Iss , Pp 100189- (2023)

مصطلحات موضوعية: electron beam lithography, i-line stepper lithography, Negative tone resist, ma-N 1402, Mix and match, Intra level, Electronics, TK7800-8360, Technology (General), T1-995

وصف الملف: electronic resource

Relation: http://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S2590007223000199; https://doaj.org/toc/2590-0072

URL الوصول: https://doaj.org/article/cde5d619612a41fc8b6116547cfd59b8

المؤلفون: Fang-Hao Hsu, Kuo-Feng Lo, Xin-Guan Lin, Han-Hui Hsu, Yuan-Chieh Chiu, Hong-Ji Lee, Nan-Tzu Lian, Tahone Yang, Kuang-Chao Chen, Chih-Yuan Lu

المصدر: 25th Annual SEMI Advanced Semiconductor Manufacturing Conference (ASMC 2014) Advanced Semiconductor Manufacturing Conference (ASMC), 2014 25th Annual SEMI. :242-244 May, 2014

Relation: 2014 25th Annual SEMI Advanced Semiconductor Manufacturing Conference (ASMC)

المؤلفون: Suzumura, N., Ogasawara, M., Furuhashi, T., Koyama, T.

المصدر: 2014 IEEE International Reliability Physics Symposium Reliability Physics Symposium, 2014 IEEE International. :3A.4.1-3A.4.6 Jun, 2014

Relation: 2014 IEEE International Reliability Physics Symposium (IRPS)

لا يتم عرض هذه النتيجة على الضيوف.
تسجيل الدخول للوصول الكامل.

المؤلفون: Kistler, Max

المصدر: Synthese, 2006 Aug 01. 151(3), 347-354.

URL الوصول: https://www.jstor.org/stable/20118813

لا يتم عرض هذه النتيجة على الضيوف.
تسجيل الدخول للوصول الكامل.

لا يتم عرض هذه النتيجة على الضيوف.
تسجيل الدخول للوصول الكامل.

لا يتم عرض هذه النتيجة على الضيوف.
تسجيل الدخول للوصول الكامل.