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المؤلفون: J. Borrel, Didier Blavette, P. Dumas, Fanny Hilario, Sébastien Duguay

المساهمون: STMicroelectronics [Crolles] (ST-CROLLES), Groupe de physique des matériaux (GPM), Université de Rouen Normandie (UNIROUEN), Normandie Université (NU)-Normandie Université (NU)-Institut national des sciences appliquées Rouen Normandie (INSA Rouen Normandie), Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Normandie Université (NU)-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Institut de Recherche sur les Matériaux Avancés (IRMA), Université de Caen Normandie (UNICAEN), Normandie Université (NU)-Normandie Université (NU)-École Nationale Supérieure d'Ingénieurs de Caen (ENSICAEN), Normandie Université (NU)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Université de Rouen Normandie (UNIROUEN), Normandie Université (NU)-Institut national des sciences appliquées Rouen Normandie (INSA Rouen Normandie), Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Normandie Université (NU)-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université de Caen Normandie (UNICAEN), Normandie Université (NU)-École Nationale Supérieure d'Ingénieurs de Caen (ENSICAEN), Normandie Université (NU)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)

المصدر: Microscopy and Microanalysis
Microscopy and Microanalysis, Cambridge University Press (CUP), 2021, pp.1-4. ⟨10.1017/S1431927621012800⟩
Microscopy and Microanalysis, 2022, 28, pp.994-997. ⟨10.1017/S1431927621012800⟩

مصطلحات موضوعية: 010302 applied physics, [PHYS]Physics [physics], Monatomic gas, Materials science, Silicon, Analytical chemistry, chemistry.chemical_element, 02 engineering and technology, Atom probe, 021001 nanoscience & nanotechnology, 01 natural sciences, Ion, law.invention, Ion implantation, chemistry, law, Phase (matter), Electric field, 0103 physical sciences, 0210 nano-technology, Instrumentation, Carbon

URL الوصول: https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_dedup___::19073a3f423ee35abb738087b8c42eed
https://pubmed.ncbi.nlm.nih.gov/34544518

المؤلفون: Sébastien Duguay, Vincent Lu, Edwin Arevalo, F. Hilario, P.L. Julliard, Fabien Deprat, J. Borrel, P. Dumas, Wei Zou, W. Zhao, Didier Blavette

المساهمون: STMicroelectronics [Crolles] (ST-CROLLES), Groupe de physique des matériaux (GPM), Université de Rouen Normandie (UNIROUEN), Normandie Université (NU)-Normandie Université (NU)-Institut national des sciences appliquées Rouen Normandie (INSA Rouen Normandie), Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Normandie Université (NU)-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Institut de Recherche sur les Matériaux Avancés (IRMA), Université de Caen Normandie (UNICAEN), Normandie Université (NU)-Normandie Université (NU)-École Nationale Supérieure d'Ingénieurs de Caen (ENSICAEN), Normandie Université (NU)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Université de Rouen Normandie (UNIROUEN), Normandie Université (NU)-Institut national des sciences appliquées Rouen Normandie (INSA Rouen Normandie), Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Normandie Université (NU)-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université de Caen Normandie (UNICAEN), Normandie Université (NU)-École Nationale Supérieure d'Ingénieurs de Caen (ENSICAEN), Normandie Université (NU)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), Applied Materials Gloucester, Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Institut national des sciences appliquées Rouen Normandie (INSA Rouen Normandie), Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Normandie Université (NU)-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Normandie Université (NU)-Université de Rouen Normandie (UNIROUEN), Normandie Université (NU)

المصدر: Journal of Applied Physics
Journal of Applied Physics, American Institute of Physics, 2021, 129 (19), pp.195706. ⟨10.1063/5.0049782⟩
Journal of Applied Physics, 2021, 129 (19), pp.195706. ⟨10.1063/5.0049782⟩

مصطلحات موضوعية: 010302 applied physics, [PHYS]Physics [physics], Materials science, Silicon, Diffusion barrier, Phosphorus, Analytical chemistry, General Physics and Astronomy, chemistry.chemical_element, 02 engineering and technology, Atom probe, Trapping, 021001 nanoscience & nanotechnology, 01 natural sciences, [SPI.MAT]Engineering Sciences [physics]/Materials, law.invention, chemistry, law, Phase (matter), 0103 physical sciences, [SPI.NANO]Engineering Sciences [physics]/Micro and nanotechnologies/Microelectronics, 0210 nano-technology, Carbon, Stoichiometry, ComputingMilieux_MISCELLANEOUS

URL الوصول: https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_dedup___::cf2dbc6599b68f158bf92f9336823465
https://hal-normandie-univ.archives-ouvertes.fr/hal-03468001

المؤلفون: Sébastien Duguay, J. Borrel, P. Dumas, F. Hilario, Didier Blavette

المساهمون: Groupe de physique des matériaux (GPM), Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Institut national des sciences appliquées Rouen Normandie (INSA Rouen Normandie), Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Normandie Université (NU)-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Normandie Université (NU)-Université de Rouen Normandie (UNIROUEN), Normandie Université (NU), STMicroelectronics [Crolles] (ST-CROLLES), Université de Rouen Normandie (UNIROUEN), Normandie Université (NU)-Normandie Université (NU)-Institut national des sciences appliquées Rouen Normandie (INSA Rouen Normandie), Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Normandie Université (NU)-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Institut de Recherche sur les Matériaux Avancés (IRMA), Université de Caen Normandie (UNICAEN), Normandie Université (NU)-Normandie Université (NU)-École Nationale Supérieure d'Ingénieurs de Caen (ENSICAEN), Normandie Université (NU)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Université de Rouen Normandie (UNIROUEN), Normandie Université (NU)-Institut national des sciences appliquées Rouen Normandie (INSA Rouen Normandie), Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Normandie Université (NU)-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université de Caen Normandie (UNICAEN), Normandie Université (NU)-École Nationale Supérieure d'Ingénieurs de Caen (ENSICAEN), Normandie Université (NU)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), ST Microlectronics, Entreprise privée

المصدر: Ultramicroscopy
Ultramicroscopy, Elsevier, 2021, 220, pp.113153. ⟨10.1016/j.ultramic.2020.113153⟩
Ultramicroscopy, 2021, 220, pp.113153. ⟨10.1016/j.ultramic.2020.113153⟩

مصطلحات موضوعية: Materials science, Silicon, Analytical chemistry, chemistry.chemical_element, 02 engineering and technology, Atom probe, 7. Clean energy, 01 natural sciences, law.invention, Ion, [SPI.MAT]Engineering Sciences [physics]/Materials, law, Electric field, 0103 physical sciences, [SPI.NANO]Engineering Sciences [physics]/Micro and nanotechnologies/Microelectronics, Instrumentation, ComputingMilieux_MISCELLANEOUS, 010302 applied physics, [PHYS]Physics [physics], Dopant, Polyatomic ion, 021001 nanoscience & nanotechnology, Atomic and Molecular Physics, and Optics, Electronic, Optical and Magnetic Materials, chemistry, 0210 nano-technology, Carbon, Stoichiometry

URL الوصول: https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_dedup___::d9d2ae8a51a31326fb590b9f0ec4574a
https://hal.archives-ouvertes.fr/hal-03249568

المؤلفون: A. Fleury, J. Azevedo Goncalves, I. Sicard, J. Uginet, C. Renard, Charles-Alexandre Legrand, E. Brezza, Nicolas Guitard, Frederic Paillardet, G. Bertrand, M.-L. Rellier, Raphael Paulin, Nathalie Vulliet, M. Buczko, Patrice Garcia, Y. Mourier, Olivier Kermarrec, L. Boissonnet, Cedric Durand, J. Borrel, Pascal Chevalier, D. Ney, Sebastien Cremer, Alexis Gauthier, N. Pelloux, Patrick Scheer, F. Foussadier, Frederic Monsieur, L. Garchery, J. Lajoinie, V. Milon, Didier Celi, E. Canderle, C. Diouf, Eric Granger, N. Derrier, Daniel Gloria, Andre Juge, D. Muller, Frederic Gianesello, A. Pallotta

المصدر: 2020 IEEE International Electron Devices Meeting (IEDM).

مصطلحات موضوعية: Computer science, Wireless network, business.industry, Electrical engineering, 020206 networking & telecommunications, Soi cmos, 02 engineering and technology, Integrated circuit, BiCMOS, Silicon-germanium, law.invention, chemistry.chemical_compound, chemistry, CMOS, law, Hardware_INTEGRATEDCIRCUITS, 0202 electrical engineering, electronic engineering, information engineering, Radio frequency, business, 5G

URL الوصول: https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::2a34e8815f02575f307fe67f0ec7b291
https://doi.org/10.1109/iedm13553.2020.9371954

لا يتم عرض هذه النتيجة على الضيوف.
تسجيل الدخول للوصول الكامل.

المؤلفون: E. Ghegin, P. Dumas, A. Gauthier, J. Borrel, Didier Blavette, Sébastien Duguay

المساهمون: STMicroelectronics [Crolles] (ST-CROLLES), Groupe de physique des matériaux (GPM), Université de Rouen Normandie (UNIROUEN), Normandie Université (NU)-Normandie Université (NU)-Institut national des sciences appliquées Rouen Normandie (INSA Rouen Normandie), Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Normandie Université (NU)-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Institut de Recherche sur les Matériaux Avancés (IRMA), Université de Caen Normandie (UNICAEN), Normandie Université (NU)-Normandie Université (NU)-École Nationale Supérieure d'Ingénieurs de Caen (ENSICAEN), Normandie Université (NU)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Université de Rouen Normandie (UNIROUEN), Normandie Université (NU)-Institut national des sciences appliquées Rouen Normandie (INSA Rouen Normandie), Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Normandie Université (NU)-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université de Caen Normandie (UNICAEN), Normandie Université (NU)-École Nationale Supérieure d'Ingénieurs de Caen (ENSICAEN), Normandie Université (NU)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Institut national des sciences appliquées Rouen Normandie (INSA Rouen Normandie), Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Normandie Université (NU)-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Normandie Université (NU)-Université de Rouen Normandie (UNIROUEN), Normandie Université (NU)

المصدر: Applied Physics Letters
Applied Physics Letters, 2019, 115 (13), pp.132103. ⟨10.1063/1.5121629⟩
Applied Physics Letters, American Institute of Physics, 2019, 115 (13), pp.132103. ⟨10.1063/1.5121629⟩

مصطلحات موضوعية: Materials science, Physics and Astronomy (miscellaneous), Silicon, Diffusion, Analytical chemistry, Nucleation, chemistry.chemical_element, 02 engineering and technology, Atom probe, 01 natural sciences, law.invention, Condensed Matter::Materials Science, law, Phase (matter), 0103 physical sciences, Physics::Atomic and Molecular Clusters, [PHYS.COND]Physics [physics]/Condensed Matter [cond-mat], ComputingMilieux_MISCELLANEOUS, 010302 applied physics, Dopant, 021001 nanoscience & nanotechnology, chemistry, [PHYS.COND.CM-MS]Physics [physics]/Condensed Matter [cond-mat]/Materials Science [cond-mat.mtrl-sci], Dislocation, 0210 nano-technology, Carbon

URL الوصول: https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_dedup___::4e5266c4e2dceed4ec0a313ffec94211
https://hal.science/hal-02298943

المؤلفون: Sylvain Joblot, Magali Gregoire, Marc Juhel, Alexia Valéry, R.A. Bianchi, E. Ghegin, Remi Vallat, J. Borrel

المصدر: 2019 19th International Workshop on Junction Technology (IWJT).

مصطلحات موضوعية: Semiconductor industry, chemistry.chemical_compound, Materials science, chemistry, Surface preparation, Silicide, Process integration, Node (circuits), Area density, Engineering physics

URL الوصول: https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::7c9efa3db0ac00bee185e425098872cf
https://doi.org/10.23919/iwjt.2019.8802887

لا يتم عرض هذه النتيجة على الضيوف.
تسجيل الدخول للوصول الكامل.

المؤلفون: Sebastien Martinie, Claude Tabone, C. Le Royer, Louis Hutin, J. Borrel, M. Vinet, R. P. Oeflein

المصدر: Solid-State Electronics. 115:160-166

مصطلحات موضوعية: 010302 applied physics, Materials science, business.industry, Ambipolar diffusion, Schottky barrier, Doping, Transistor, Electrical engineering, Biasing, 02 engineering and technology, 021001 nanoscience & nanotechnology, Condensed Matter Physics, 01 natural sciences, Signature (logic), Electronic, Optical and Magnetic Materials, law.invention, law, 0103 physical sciences, Materials Chemistry, Optoelectronics, Electrical and Electronic Engineering, Homojunction, 0210 nano-technology, business, Quantum tunnelling

URL الوصول: https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::45ba62c801524f1be62ad8fb82160263
https://doi.org/10.1016/j.sse.2015.08.007