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1دورية أكاديمية
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2
المؤلفون: J. Borrel, Didier Blavette, P. Dumas, Fanny Hilario, Sébastien Duguay
المساهمون: STMicroelectronics [Crolles] (ST-CROLLES), Groupe de physique des matériaux (GPM), Université de Rouen Normandie (UNIROUEN), Normandie Université (NU)-Normandie Université (NU)-Institut national des sciences appliquées Rouen Normandie (INSA Rouen Normandie), Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Normandie Université (NU)-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Institut de Recherche sur les Matériaux Avancés (IRMA), Université de Caen Normandie (UNICAEN), Normandie Université (NU)-Normandie Université (NU)-École Nationale Supérieure d'Ingénieurs de Caen (ENSICAEN), Normandie Université (NU)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Université de Rouen Normandie (UNIROUEN), Normandie Université (NU)-Institut national des sciences appliquées Rouen Normandie (INSA Rouen Normandie), Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Normandie Université (NU)-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université de Caen Normandie (UNICAEN), Normandie Université (NU)-École Nationale Supérieure d'Ingénieurs de Caen (ENSICAEN), Normandie Université (NU)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)
المصدر: Microscopy and Microanalysis
Microscopy and Microanalysis, Cambridge University Press (CUP), 2021, pp.1-4. ⟨10.1017/S1431927621012800⟩
Microscopy and Microanalysis, 2022, 28, pp.994-997. ⟨10.1017/S1431927621012800⟩مصطلحات موضوعية: 010302 applied physics, [PHYS]Physics [physics], Monatomic gas, Materials science, Silicon, Analytical chemistry, chemistry.chemical_element, 02 engineering and technology, Atom probe, 021001 nanoscience & nanotechnology, 01 natural sciences, Ion, law.invention, Ion implantation, chemistry, law, Phase (matter), Electric field, 0103 physical sciences, 0210 nano-technology, Instrumentation, Carbon
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3
المؤلفون: Sébastien Duguay, Vincent Lu, Edwin Arevalo, F. Hilario, P.L. Julliard, Fabien Deprat, J. Borrel, P. Dumas, Wei Zou, W. Zhao, Didier Blavette
المساهمون: STMicroelectronics [Crolles] (ST-CROLLES), Groupe de physique des matériaux (GPM), Université de Rouen Normandie (UNIROUEN), Normandie Université (NU)-Normandie Université (NU)-Institut national des sciences appliquées Rouen Normandie (INSA Rouen Normandie), Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Normandie Université (NU)-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Institut de Recherche sur les Matériaux Avancés (IRMA), Université de Caen Normandie (UNICAEN), Normandie Université (NU)-Normandie Université (NU)-École Nationale Supérieure d'Ingénieurs de Caen (ENSICAEN), Normandie Université (NU)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Université de Rouen Normandie (UNIROUEN), Normandie Université (NU)-Institut national des sciences appliquées Rouen Normandie (INSA Rouen Normandie), Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Normandie Université (NU)-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université de Caen Normandie (UNICAEN), Normandie Université (NU)-École Nationale Supérieure d'Ingénieurs de Caen (ENSICAEN), Normandie Université (NU)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), Applied Materials Gloucester, Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Institut national des sciences appliquées Rouen Normandie (INSA Rouen Normandie), Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Normandie Université (NU)-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Normandie Université (NU)-Université de Rouen Normandie (UNIROUEN), Normandie Université (NU)
المصدر: Journal of Applied Physics
Journal of Applied Physics, American Institute of Physics, 2021, 129 (19), pp.195706. ⟨10.1063/5.0049782⟩
Journal of Applied Physics, 2021, 129 (19), pp.195706. ⟨10.1063/5.0049782⟩مصطلحات موضوعية: 010302 applied physics, [PHYS]Physics [physics], Materials science, Silicon, Diffusion barrier, Phosphorus, Analytical chemistry, General Physics and Astronomy, chemistry.chemical_element, 02 engineering and technology, Atom probe, Trapping, 021001 nanoscience & nanotechnology, 01 natural sciences, [SPI.MAT]Engineering Sciences [physics]/Materials, law.invention, chemistry, law, Phase (matter), 0103 physical sciences, [SPI.NANO]Engineering Sciences [physics]/Micro and nanotechnologies/Microelectronics, 0210 nano-technology, Carbon, Stoichiometry, ComputingMilieux_MISCELLANEOUS
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4
المؤلفون: Sébastien Duguay, J. Borrel, P. Dumas, F. Hilario, Didier Blavette
المساهمون: Groupe de physique des matériaux (GPM), Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Institut national des sciences appliquées Rouen Normandie (INSA Rouen Normandie), Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Normandie Université (NU)-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Normandie Université (NU)-Université de Rouen Normandie (UNIROUEN), Normandie Université (NU), STMicroelectronics [Crolles] (ST-CROLLES), Université de Rouen Normandie (UNIROUEN), Normandie Université (NU)-Normandie Université (NU)-Institut national des sciences appliquées Rouen Normandie (INSA Rouen Normandie), Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Normandie Université (NU)-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Institut de Recherche sur les Matériaux Avancés (IRMA), Université de Caen Normandie (UNICAEN), Normandie Université (NU)-Normandie Université (NU)-École Nationale Supérieure d'Ingénieurs de Caen (ENSICAEN), Normandie Université (NU)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Université de Rouen Normandie (UNIROUEN), Normandie Université (NU)-Institut national des sciences appliquées Rouen Normandie (INSA Rouen Normandie), Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Normandie Université (NU)-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université de Caen Normandie (UNICAEN), Normandie Université (NU)-École Nationale Supérieure d'Ingénieurs de Caen (ENSICAEN), Normandie Université (NU)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), ST Microlectronics, Entreprise privée
المصدر: Ultramicroscopy
Ultramicroscopy, Elsevier, 2021, 220, pp.113153. ⟨10.1016/j.ultramic.2020.113153⟩
Ultramicroscopy, 2021, 220, pp.113153. ⟨10.1016/j.ultramic.2020.113153⟩مصطلحات موضوعية: Materials science, Silicon, Analytical chemistry, chemistry.chemical_element, 02 engineering and technology, Atom probe, 7. Clean energy, 01 natural sciences, law.invention, Ion, [SPI.MAT]Engineering Sciences [physics]/Materials, law, Electric field, 0103 physical sciences, [SPI.NANO]Engineering Sciences [physics]/Micro and nanotechnologies/Microelectronics, Instrumentation, ComputingMilieux_MISCELLANEOUS, 010302 applied physics, [PHYS]Physics [physics], Dopant, Polyatomic ion, 021001 nanoscience & nanotechnology, Atomic and Molecular Physics, and Optics, Electronic, Optical and Magnetic Materials, chemistry, 0210 nano-technology, Carbon, Stoichiometry
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5
المؤلفون: A. Fleury, J. Azevedo Goncalves, I. Sicard, J. Uginet, C. Renard, Charles-Alexandre Legrand, E. Brezza, Nicolas Guitard, Frederic Paillardet, G. Bertrand, M.-L. Rellier, Raphael Paulin, Nathalie Vulliet, M. Buczko, Patrice Garcia, Y. Mourier, Olivier Kermarrec, L. Boissonnet, Cedric Durand, J. Borrel, Pascal Chevalier, D. Ney, Sebastien Cremer, Alexis Gauthier, N. Pelloux, Patrick Scheer, F. Foussadier, Frederic Monsieur, L. Garchery, J. Lajoinie, V. Milon, Didier Celi, E. Canderle, C. Diouf, Eric Granger, N. Derrier, Daniel Gloria, Andre Juge, D. Muller, Frederic Gianesello, A. Pallotta
المصدر: 2020 IEEE International Electron Devices Meeting (IEDM).
مصطلحات موضوعية: Computer science, Wireless network, business.industry, Electrical engineering, 020206 networking & telecommunications, Soi cmos, 02 engineering and technology, Integrated circuit, BiCMOS, Silicon-germanium, law.invention, chemistry.chemical_compound, chemistry, CMOS, law, Hardware_INTEGRATEDCIRCUITS, 0202 electrical engineering, electronic engineering, information engineering, Radio frequency, business, 5G
URL الوصول: https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::2a34e8815f02575f307fe67f0ec7b291
https://doi.org/10.1109/iedm13553.2020.9371954 -
6دورية أكاديمية
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7
المؤلفون: E. Ghegin, P. Dumas, A. Gauthier, J. Borrel, Didier Blavette, Sébastien Duguay
المساهمون: STMicroelectronics [Crolles] (ST-CROLLES), Groupe de physique des matériaux (GPM), Université de Rouen Normandie (UNIROUEN), Normandie Université (NU)-Normandie Université (NU)-Institut national des sciences appliquées Rouen Normandie (INSA Rouen Normandie), Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Normandie Université (NU)-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Institut de Recherche sur les Matériaux Avancés (IRMA), Université de Caen Normandie (UNICAEN), Normandie Université (NU)-Normandie Université (NU)-École Nationale Supérieure d'Ingénieurs de Caen (ENSICAEN), Normandie Université (NU)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Université de Rouen Normandie (UNIROUEN), Normandie Université (NU)-Institut national des sciences appliquées Rouen Normandie (INSA Rouen Normandie), Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Normandie Université (NU)-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université de Caen Normandie (UNICAEN), Normandie Université (NU)-École Nationale Supérieure d'Ingénieurs de Caen (ENSICAEN), Normandie Université (NU)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Institut national des sciences appliquées Rouen Normandie (INSA Rouen Normandie), Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Normandie Université (NU)-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Normandie Université (NU)-Université de Rouen Normandie (UNIROUEN), Normandie Université (NU)
المصدر: Applied Physics Letters
Applied Physics Letters, 2019, 115 (13), pp.132103. ⟨10.1063/1.5121629⟩
Applied Physics Letters, American Institute of Physics, 2019, 115 (13), pp.132103. ⟨10.1063/1.5121629⟩مصطلحات موضوعية: Materials science, Physics and Astronomy (miscellaneous), Silicon, Diffusion, Analytical chemistry, Nucleation, chemistry.chemical_element, 02 engineering and technology, Atom probe, 01 natural sciences, law.invention, Condensed Matter::Materials Science, law, Phase (matter), 0103 physical sciences, Physics::Atomic and Molecular Clusters, [PHYS.COND]Physics [physics]/Condensed Matter [cond-mat], ComputingMilieux_MISCELLANEOUS, 010302 applied physics, Dopant, 021001 nanoscience & nanotechnology, chemistry, [PHYS.COND.CM-MS]Physics [physics]/Condensed Matter [cond-mat]/Materials Science [cond-mat.mtrl-sci], Dislocation, 0210 nano-technology, Carbon
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8
المؤلفون: Sylvain Joblot, Magali Gregoire, Marc Juhel, Alexia Valéry, R.A. Bianchi, E. Ghegin, Remi Vallat, J. Borrel
المصدر: 2019 19th International Workshop on Junction Technology (IWJT).
مصطلحات موضوعية: Semiconductor industry, chemistry.chemical_compound, Materials science, chemistry, Surface preparation, Silicide, Process integration, Node (circuits), Area density, Engineering physics
URL الوصول: https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::7c9efa3db0ac00bee185e425098872cf
https://doi.org/10.23919/iwjt.2019.8802887 -
9دورية أكاديمية
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10
المؤلفون: Sebastien Martinie, Claude Tabone, C. Le Royer, Louis Hutin, J. Borrel, M. Vinet, R. P. Oeflein
المصدر: Solid-State Electronics. 115:160-166
مصطلحات موضوعية: 010302 applied physics, Materials science, business.industry, Ambipolar diffusion, Schottky barrier, Doping, Transistor, Electrical engineering, Biasing, 02 engineering and technology, 021001 nanoscience & nanotechnology, Condensed Matter Physics, 01 natural sciences, Signature (logic), Electronic, Optical and Magnetic Materials, law.invention, law, 0103 physical sciences, Materials Chemistry, Optoelectronics, Electrical and Electronic Engineering, Homojunction, 0210 nano-technology, business, Quantum tunnelling