يعرض 1 - 10 نتائج من 15 نتيجة بحث عن '"Kostelak, R. L."', وقت الاستعلام: 1.00s تنقيح النتائج
  1. 1
    دورية أكاديمية
    Breaking the Diffraction Barrier: Optical Microscopy of a Nanometric Scale

    المؤلفون: Betzig, E., Trautman, J. K., Harris, T. D., Weiner, J. S., Kostelak, R. L.

    المصدر: Science, 1991 Mar . 251(5000), 1468-1470.

    URL الوصول: https://www.jstor.org/stable/2875823

    Find this article in full text from ProQuest Full Text Finder
    أضف إلى المفضلة
  2. 2
    دورية أكاديمية
    Metrology package for electron beam exposure tool evaluation: Application to EBES4.

    المؤلفون: Kung, E.H., Kostelak, R. L., Biddick, C. J., Vaidya, S.

    المصدر: Journal of Vacuum Science & Technology: Part B-Microelectronics Processing & Phenomena; 1989, Vol. 7 Issue 6, p1918-1923, 6p

    Find this article in full text from Scitation.
    أضف إلى المفضلة
  3. 3
    دورية أكاديمية
    Detection of low-contrast fiducial marks for electron beam direct write.

    المؤلفون: Garofalo, J. G., Kostelak, R. L.

    المصدر: Journal of Vacuum Science & Technology: Part B-Microelectronics Processing & Phenomena; 1989, Vol. 7 Issue 6, p1431-1437, 7p

    Find this article in full text from Scitation.
    أضف إلى المفضلة
  4. 4
    دورية أكاديمية
    Evaluation of the proximity effect and GHOST correction technique for submicron electron beam lithography at 50 and 20 kV.

    المؤلفون: Kostelak, R. L., Kung, E. H., Thomson, M. G. R., Vaidya, S.

    المصدر: Journal of Vacuum Science & Technology: Part B-Microelectronics Processing & Phenomena; 1988, Vol. 6 Issue 6, p2042-2047, 6p

    Find this article in full text from Scitation.
    أضف إلى المفضلة
  5. 5
    دورية أكاديمية
    GHOST proximity correction technique: Its parameters, limitations, and process latitude.

    المؤلفون: Kostelak, R. L., Kung, E. H., Thomson, M. G. R., Vaidya, S.

    المصدر: Journal of Vacuum Science & Technology: Part B-Microelectronics Processing & Phenomena; 1988, Vol. 6 Issue 1, p448-455, 8p

    Find this article in full text from Scitation.
    أضف إلى المفضلة
  6. 6
    دورية أكاديمية
    Application of plasma polymerized methylsilane resist for all-dry 193 nm deep ultraviolet processing.

    المؤلفون: Kostelak, R. L., Weidman, T. W., Vaidya, S., Joubert, O., Palmateer, S. C., Hibbs, M.

    المصدر: Journal of Vacuum Science & Technology: Part B-Microelectronics & Nanometer Structures; 1995, Vol. 13 Issue 6, p2994-2999, 6p

    Find this article in full text from Scitation.
    أضف إلى المفضلة
  7. 7
    دورية أكاديمية
    Impact of lens aberrations on phase-shifting masks.

    المؤلفون: Kostelak, R. L., Raab, E. L., Vaidya, S.

    المصدر: Journal of Vacuum Science & Technology: Part B-Microelectronics & Nanometer Structures; 1994, Vol. 12 Issue 6, p3793-3798, 6p

    Find this article in full text from Scitation.
    أضف إلى المفضلة
  8. 8
    دورية أكاديمية
    Mask assisted off-axis illumination technique for random logic.

    المؤلفون: Garofalo, J., Biddick, C. J., Kostelak, R. L., Vaidya, S.

    المصدر: Journal of Vacuum Science & Technology: Part B-Microelectronics & Nanometer Structures; 1993, Vol. 11 Issue 6, p2651-2658, 8p

    Find this article in full text from Scitation.
    أضف إلى المفضلة
  9. 9
    دورية أكاديمية
    Printing of phase-shifting mask defects.

    المؤلفون: Kostelak, R. L., Pierrat, C., Garofalo, J. G., Vaidya, S.

    المصدر: Journal of Vacuum Science & Technology: Part B-Microelectronics & Nanometer Structures; 1993, Vol. 11 Issue 6, p2705-2713, 9p

    Find this article in full text from Scitation.
    أضف إلى المفضلة
  10. 10
    دورية أكاديمية
    Exposure characteristics of alternate aperture phase-shifting masks fabricated using a subtractive process.

    المؤلفون: Kostelak, R. L., Pierrat, C., Garofalo, J. G., Vaidya, S.

    المصدر: Journal of Vacuum Science & Technology: Part B-Microelectronics & Nanometer Structures; 1992, Vol. 10 Issue 6, p3055-3061, 7p

    Find this article in full text from Scitation.
    أضف إلى المفضلة
أدوات البحث: أحصل على تغذية RSS – أرسل هذا البحث بالبريد الإلكتروني – حفظ البحث – جدول التنبيهات: لا شيء