المؤلفون: M.F. Ravet, S. Ballandras, M. Rouillay, A. Labeque, S. Rocher, Zewen Liu, Laurent Robert, W. Daniau, D. Robert, F. Rousseaux, S. Megtert, P. Bernede, P. Blind, D. Hauden, Skandar Basrour

المساهمون: Laboratoire de Physique et Métrologie des Oscillateurs, Cancéropôle du Grand Est-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université de Franche-Comté (UFC), Université Bourgogne Franche-Comté [COMUE] (UBFC)-Université Bourgogne Franche-Comté [COMUE] (UBFC), CETEHOR [Département technique du Comité FRANCECLAT], Comité Francéclat, Laboratoire pour l'utilisation du rayonnement électromagnétique (LURE), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-MENRT-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)

المصدر: INRIA/IEEE Symposium on Emerging Technologies and Factory Automation. ETFA'95. 10-13 Oct.
INRIA/IEEE Symposium on Emerging Technologies and Factory Automation. ETFA'95. 10-13 Oct., 1995, Paris, France. pp.271-4, ⟨10.1109/ETFA.1995.496667⟩

مصطلحات موضوعية: 0209 industrial biotechnology, Cantilever, Fabrication, Computer science, business.industry, 02 engineering and technology, fabrication, 021001 nanoscience & nanotechnology, Surface micromachining, 020901 industrial engineering & automation, Grippers, Electronic engineering, Microelectronics, [SPI.NANO]Engineering Sciences [physics]/Micro and nanotechnologies/Microelectronics, 0210 nano-technology, Actuator, LIGA, business, LIGA-techniques, microelectronics-technology, Realization (systems)

URL الوصول: https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_dedup___::193b5bfa3452e1b155d3d84844070207
https://hal.archives-ouvertes.fr/hal-00008927