-
1دورية أكاديمية
المؤلفون: Dongxu Ren, Huiying Zhao, Chupeng Zhang, Daocheng Yuan, Jianpu Xi, Xueliang Zhu, Xinxing Ban, Longchao Dong, Yawen Gu, Chunye Jiang
المصدر: Sensors, Vol 16, Iss 4, p 538 (2016)
مصطلحات موضوعية: projection lithography, linear scale, linear displacement sensor, multi-repeated method, average homogenization effect, Chemical technology, TP1-1185
وصف الملف: electronic resource
-
2دورية أكاديمية
المؤلفون: Huiying Zhao, Longchao Dong, Daocheng Yuan, Chupeng Zhang, Xinxing Ban, Xueliang Zhu, Hongjun Wang, Bingcai Liu, Ailing Tian, Fangjie Wang
المصدر: Measurement Science & Technology; Mar2017, Vol. 28 Issue 3, p1-1, 1p
مصطلحات موضوعية: WAVELENGTHS, INTERFEROMETRY, OPTICAL measurements