-
1دورية أكاديمية
المؤلفون: R. Alcala, M. Materano, P. D. Lomenzo, L. Grenouillet, T. Francois, J. Coignus, N. Vaxelaire, C. Carabasse, S. Chevalliez, F. Andrieu, T. Mikolajick, U. Schroeder
المصدر: IEEE Journal of the Electron Devices Society, Vol 10, Pp 907-912 (2022)
مصطلحات موضوعية: BEOL, ferroelectric, HfO₂, reliability, Electrical engineering. Electronics. Nuclear engineering, TK1-9971
وصف الملف: electronic resource
-
2دورية أكاديمية
لا يتم عرض هذه النتيجة على الضيوف.
تسجيل الدخول للوصول الكامل. -
3
-
4Article type: Full Paper Origin of ferroelectric phase in undoped HfO2 films deposited by sputtering
المؤلفون: T Mittmann, M Materano, P D Lomenzo, M H Park, I Stolichnov, M Cavalieri, C Zhou, J L Jones, T Szyjka, M Müller, A Kersch, T Mikolajick, U Schroeder
URL الوصول: https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::69bcbbde048478fa9d67fe2363a02e8b
-
5دورية أكاديمية
لا يتم عرض هذه النتيجة على الضيوف.
تسجيل الدخول للوصول الكامل. -
6دورية أكاديمية
لا يتم عرض هذه النتيجة على الضيوف.
تسجيل الدخول للوصول الكامل. -
7دورية أكاديمية
لا يتم عرض هذه النتيجة على الضيوف.
تسجيل الدخول للوصول الكامل. -
8دورية أكاديمية
لا يتم عرض هذه النتيجة على الضيوف.
تسجيل الدخول للوصول الكامل. -
9دورية أكاديمية
لا يتم عرض هذه النتيجة على الضيوف.
تسجيل الدخول للوصول الكامل. -
10دورية أكاديمية
لا يتم عرض هذه النتيجة على الضيوف.
تسجيل الدخول للوصول الكامل.