المؤلفون: F. Delmotte, Françoise Bridou, Arnaud Jérôme, Julien Gautier, S. de Rossi, Françoise Varniere, M. Rouillay

المصدر: Journal de Physique IV (Proceedings). 138:237-244

مصطلحات موضوعية: General Physics and Astronomy

URL الوصول: https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::cc89f3200c6b035a7156a3e04b9ede24
https://doi.org/10.1051/jp4:2006138027

المؤلفون: Jean-Philippe Bourgoin, P Keller, A. Barraud, Michel Vandevyver, M Rouillay

المصدر: Journal of Physics D: Applied Physics. 26:686-689

مصطلحات موضوعية: chemistry.chemical_classification, Phase transition, Acoustics and Ultrasonics, Chemistry, Polymer, Condensed Matter Physics, Langmuir–Blodgett film, Surfaces, Coatings and Films, Electronic, Optical and Magnetic Materials, Out of plane, Phase change, Crystallography, Liquid crystal, Phase (matter), Side chain, Organic chemistry

URL الوصول: https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::0d1d27c90b311084a5e7332d326ac19e
https://doi.org/10.1088/0022-3727/26/4/023

المؤلفون: P. Blind, S. Megtert, Sylvain Ballandras, William Daniau, Skandar Basrour, P. Bernede, M. Rouillay, Laurent Robert

المساهمون: Franche-Comté Électronique Mécanique, Thermique et Optique - Sciences et Technologies (UMR 6174) (FEMTO-ST), Université de Technologie de Belfort-Montbeliard (UTBM)-Ecole Nationale Supérieure de Mécanique et des Microtechniques (ENSMM)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université de Franche-Comté (UFC), Université Bourgogne Franche-Comté [COMUE] (UBFC)-Université Bourgogne Franche-Comté [COMUE] (UBFC), Techniques de l'Informatique et de la Microélectronique pour l'Architecture des systèmes intégrés (TIMA), Université Joseph Fourier - Grenoble 1 (UJF)-Institut polytechnique de Grenoble - Grenoble Institute of Technology (Grenoble INP )-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), Laboratoire pour l'utilisation du rayonnement électromagnétique (LURE), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-MENRT-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), CETEHOR [Département technique du Comité FRANCECLAT], Comité Francéclat, Université de Franche-Comté (UFC)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Ecole Nationale Supérieure de Mécanique et des Microtechniques (ENSMM)-Université de Technologie de Belfort-Montbeliard (UTBM), Techniques of Informatics and Microelectronics for integrated systems Architecture (TIMA), Institut polytechnique de Grenoble - Grenoble Institute of Technology (Grenoble INP)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Grenoble Alpes (UGA), Université de Technologie de Belfort-Montbeliard (UTBM)-Ecole Nationale Supérieure de Mécanique et des Microtechniques (ENSMM)-Université de Franche-Comté (UFC), Université Bourgogne Franche-Comté [COMUE] (UBFC)-Université Bourgogne Franche-Comté [COMUE] (UBFC)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)

المصدر: Sensors and Actuators A: Physical
Sensors and Actuators A: Physical, 1997, Vol.58, Issue 3, pp.265-272. ⟨10.1016/S0924-4247(97)01396-4⟩
Sensors and Actuators A: Physical, Elsevier, 1997, Vol.58, Issue 3, pp.265-272. ⟨10.1016/S0924-4247(97)01396-4⟩

مصطلحات موضوعية: Engineering drawing, Fabrication, Microgrippers, Computer science, Process (engineering), Characterization, Mechanical engineering, Mechanical properties, 02 engineering and technology, 01 natural sciences, LIGA, 0103 physical sciences, Finite-element analysis, Electrical and Electronic Engineering, [SPI.NANO]Engineering Sciences [physics]/Micro and nanotechnologies/Microelectronics, Instrumentation, 010302 applied physics, Metals and Alloys, Experimental data, 021001 nanoscience & nanotechnology, Condensed Matter Physics, Finite element method, Surfaces, Coatings and Films, Electronic, Optical and Magnetic Materials, Characterization (materials science), PACS 85.42, 0210 nano-technology

URL الوصول: https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_dedup___::80b8bb78f05e47f4daa704587e7e9a17
https://hal.science/hal-00008923

المؤلفون: M.F. Ravet, S. Ballandras, M. Rouillay, A. Labeque, S. Rocher, Zewen Liu, Laurent Robert, W. Daniau, D. Robert, F. Rousseaux, S. Megtert, P. Bernede, P. Blind, D. Hauden, Skandar Basrour

المساهمون: Laboratoire de Physique et Métrologie des Oscillateurs, Cancéropôle du Grand Est-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université de Franche-Comté (UFC), Université Bourgogne Franche-Comté [COMUE] (UBFC)-Université Bourgogne Franche-Comté [COMUE] (UBFC), CETEHOR [Département technique du Comité FRANCECLAT], Comité Francéclat, Laboratoire pour l'utilisation du rayonnement électromagnétique (LURE), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-MENRT-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)

المصدر: INRIA/IEEE Symposium on Emerging Technologies and Factory Automation. ETFA'95. 10-13 Oct.
INRIA/IEEE Symposium on Emerging Technologies and Factory Automation. ETFA'95. 10-13 Oct., 1995, Paris, France. pp.271-4, ⟨10.1109/ETFA.1995.496667⟩

مصطلحات موضوعية: 0209 industrial biotechnology, Cantilever, Fabrication, Computer science, business.industry, 02 engineering and technology, fabrication, 021001 nanoscience & nanotechnology, Surface micromachining, 020901 industrial engineering & automation, Grippers, Electronic engineering, Microelectronics, [SPI.NANO]Engineering Sciences [physics]/Micro and nanotechnologies/Microelectronics, 0210 nano-technology, Actuator, LIGA, business, LIGA-techniques, microelectronics-technology, Realization (systems)

URL الوصول: https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_dedup___::193b5bfa3452e1b155d3d84844070207
https://hal.archives-ouvertes.fr/hal-00008927

المؤلفون: M. Rouillay, Skandar Basrour, P. Blind, Liu Zewen, R. Comès, Marie-Françoise Ravet, William Daniau, A. Labeque, Sylvain Ballandras, D. Hauden, S. Megtert, H. Dexpert, H. Launois, F. Rousseaux

المساهمون: Laboratoire pour l'utilisation du rayonnement électromagnétique (LURE), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-MENRT-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), Laboratoire de Microstructures et de Microélectronique (L2M), Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), Laboratoire de Physique et Métrologie des Oscillateurs, Cancéropôle du Grand Est-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université de Franche-Comté (UFC), Université Bourgogne Franche-Comté [COMUE] (UBFC)-Université Bourgogne Franche-Comté [COMUE] (UBFC), CETEHOR [Département technique du Comité FRANCECLAT], Comité Francéclat

المصدر: Journal de Physique IV Proceedings
Journal de Physique IV Proceedings, 1994, 04 (C9), pp.C9-269-C9-272. ⟨10.1051/jp4:1994947⟩
Journal de Physique IV Colloque
Journal de Physique IV Colloque, 1994, 4(C9), pp.269-72
Journal de Physique IV Proceedings, EDP Sciences, 1994, 04 (C9), pp.C9-269-C9-272. ⟨10.1051/jp4:1994947⟩

مصطلحات موضوعية: Materials science, 010401 analytical chemistry, General Physics and Astronomy, Nanotechnology, 02 engineering and technology, Lithography process, micro-fabrication, 021001 nanoscience & nanotechnology, 01 natural sciences, 0104 chemical sciences, Resist, deep-etch-lithography, PACS 85.42, [PHYS.HIST]Physics [physics]/Physics archives, LURE-DCI-storage-ring, mass-production, X-ray lithography, [SPI.NANO]Engineering Sciences [physics]/Micro and nanotechnologies/Microelectronics, 0210 nano-technology, LIGA, Realization (systems), Lithography, Storage ring

URL الوصول: https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_dedup___::15286f15033c91ea5bb79d9e49f60824
https://hal.science/jpa-00253508/file/ajp-jp4199404C947.pdf

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