-
1دورية أكاديمية
لا يتم عرض هذه النتيجة على الضيوف.
تسجيل الدخول للوصول الكامل. -
2دورية أكاديمية
لا يتم عرض هذه النتيجة على الضيوف.
تسجيل الدخول للوصول الكامل. -
3دورية أكاديمية
لا يتم عرض هذه النتيجة على الضيوف.
تسجيل الدخول للوصول الكامل. -
4
المؤلفون: Patrick P. Naulleau, Daniel Zehm, Lauren McQuade, Wenhua Zhu, Christopher L. Anderson, Jason DePonte, Seno Rekawa, Eric M. Gullikson, M.R. Dickinson, Weilun Chao, Farhad Salmassi, Jeff Gamsby, Ryan Miyakawa, Will Cork, Rene Delano, Lucas Conley, Carl Cork, Brandon Vollmer, Geoff Gaines, Arnaud P. Allezy, Gideon Jones
المصدر: Extreme Ultraviolet (EUV) Lithography XI.
مصطلحات موضوعية: Scanner, Materials science, business.industry, Extreme ultraviolet lithography, Photoresist, Vibration, symbols.namesake, Fourier transform, Vibration isolation, Optics, Resist, symbols, business, MOX fuel
URL الوصول: https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::6fcdd18ed1291baa8f99cac8ae4dcc2d
https://doi.org/10.1117/12.2552125 -
5
المؤلفون: Jason DePonte, Christopher N. Anderson, Will Cork, Rene Delano, Jeff Gamsby, Eric M. Gullikson, Senajith Rekawa, Weilun Chao, Patrick P. Naulleau, Farhad Salmassi, Ryan Miyakawa, Brandon Vollmer, Geoff Gaines, Carl Cork, Stephen Meyers, Wenhua Zhu, Gideon Jones, M.R. Dickinson, Arnaud P. Allezy, Daniel Zehm
المساهمون: Goldberg, Kenneth A
مصطلحات موضوعية: Materials science, business.industry, Extreme ultraviolet lithography, Field of view, Synchrotron, law.invention, Optics, Beamline, law, Extreme ultraviolet, Wafer, business, Lithography, Aerial image
وصف الملف: application/pdf
URL الوصول: https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_dedup___::0b94d6e57f0b524b507cc028fe56d679
https://escholarship.org/uc/item/4m8939b8 -
6دورية أكاديمية
لا يتم عرض هذه النتيجة على الضيوف.
تسجيل الدخول للوصول الكامل. -
7دورية أكاديمية
لا يتم عرض هذه النتيجة على الضيوف.
تسجيل الدخول للوصول الكامل. -
8
المؤلفون: Robert A. MacGill, André Anders, Ian G. Brown, M.R. Dickinson, Othon R. Monteiro
المصدر: Surface and Coatings Technology. 112:271-277
مصطلحات موضوعية: Materials science, business.industry, Surfaces and Interfaces, General Chemistry, Plasma, Vacuum arc, Condensed Matter Physics, Ion source, Surfaces, Coatings and Films, Ion implantation, visual_art, Materials Chemistry, visual_art.visual_art_medium, Optoelectronics, Surface modification, Ceramic, Thin film, business, Plasma processing
-
9
المؤلفون: F. Liu, M.R. Dickinson, Robert A. MacGill, George Biallas, Ian G. Brown, André Anders, Othon R. Monteiro, T. Siggins, L Phillips
المصدر: Surface and Coatings Technology. :46-51
مصطلحات موضوعية: Materials science, Ion beam, Analytical chemistry, Surfaces and Interfaces, General Chemistry, Vacuum arc, Condensed Matter Physics, Ion source, Surfaces, Coatings and Films, Ion implantation, Electrical resistivity and conductivity, visual_art, Materials Chemistry, visual_art.visual_art_medium, Arc flash, Ceramic, Surface charge, Composite material
-
10
المؤلفون: Ian G. Brown, Robert A. MacGill, M.R. Dickinson, André Anders
المصدر: Journal of Physics D: Applied Physics. 31:584-587
مصطلحات موضوعية: Acoustics and Ultrasonics, Physics::Instrumentation and Detectors, Chemistry, business.industry, Insulator (electricity), Vacuum arc, Plasma, Condensed Matter Physics, Cathode, Surfaces, Coatings and Films, Electronic, Optical and Magnetic Materials, law.invention, Arc (geometry), Electric arc, Optics, Physics::Plasma Physics, law, business, Low voltage, Power density