-
1دورية أكاديمية
المؤلفون: Mingbo Zhang, Qinghua Liu, Maoqi Zhu, Jian Chen, Deyong Chen, Junbo Wang, Yulan Lu
المصدر: Micromachines, Vol 15, Iss 3, p 351 (2024)
مصطلحات موضوعية: microelectromechanical system, electrochemical angular accelerometer, rotational sensor, silicon-based four-electrode structure, Mechanical engineering and machinery, TJ1-1570
وصف الملف: electronic resource