المؤلفون: Denoual, M., Pouliquen, M., Jorel, C., Radu, C., Robbes, D., Harnois, M., de Sagazan, O., Grand, J., Awala, H., Mintova, S., Inoue, S., Lebrasseur, E., Yamada, K., Okamoto, Y., Mita-Tixier, A., Mita, Y.

المصدر: 2017 Symposium on Design, Test, Integration and Packaging of MEMS/MOEMS (DTIP) Design, Test, Integration and Packaging of MEMS/MOEMS (DTIP), 2017 Symposium on. :1-4 May, 2017

Relation: 2017 Symposium on Design, Test, Integration and Packaging of MEMS/MOEMS (DTIP)

المؤلفون: Denoual, M., Pouliquen, M., Robbes, D., de Sagazan, O., Grand, J., Awala, H., Mintova, S., Inoue, S., Mita-Tixier, A., Mita, Y.

المصدر: 2016 International Conference on Microelectronic Test Structures (ICMTS) Microelectronic Test Structures (ICMTS), 2016 International Conference on. :16-19 Mar, 2016

Relation: 2016 International Conference on Microelectronic Test Structures (ICMTS)

المؤلفون: Pouliquen, M.^{Aff1, IDs0054201838835_cor1}, Denoual, M.^{Aff1, Aff6}, Jorel, C., Radu, C., Robbes, D., Grand, J., Awala, H., Mintova, S., Harnois, M., Sagazan, O. de, Inoue, S., Lebrasseur, E., Yamada, K., Okamoto, Y., Mita-Tixier, A.^{Aff5, Aff6}, Mita, Y.^{Aff4, Aff6}

المصدر: Microsystem Technologies: Micro- and NanosystemsInformation Storage and Processing Systems. 28(6):1313-1319

المؤلفون: Nishikawa, Stephany Mai, Khoyratee, Farad, Eiler, Anne-Claire, Kim, Soo Hyeon, Ihida, Satoshi, Hiroshi, Toshiyoshi, Mita-Tixier, Agnès, Ikeuchi, Yoshiho, Kohno, Takashi, Aihara, Kazuyuki, Fujii, Teruo, Levi, Timothée

المساهمون: Levi, Timothée

مصطلحات موضوعية: [SPI] Engineering Sciences [physics], ComputingMilieux_MISCELLANEOUS

URL الوصول: https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=od_______166::90574543a4ebfa910bba9fac1f61a534
https://hal.archives-ouvertes.fr/hal-02482392

المؤلفون: Hussein Awala, S. Inoue, A. Mita-Tixier, Yoshio Mita, Didier Robbes, Svetlana Mintova, Maxime Harnois, Corentin Jorel, Mathieu Pouliquen, C. Radu, O. De Sagazan, Eric Lebrasseur, Julien Grand, Yuki Okamoto, Kentaro Yamada, Matthieu Denoual

المساهمون: Laboratoire d'automatique de Caen (LAC), École Nationale Supérieure d'Ingénieurs de Caen (ENSICAEN), Normandie Université (NU)-Normandie Université (NU)-Université de Caen Normandie (UNICAEN), Normandie Université (NU), Equipe Electronique - Laboratoire GREYC - UMR6072, Groupe de Recherche en Informatique, Image et Instrumentation de Caen (GREYC), Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-École Nationale Supérieure d'Ingénieurs de Caen (ENSICAEN), Normandie Université (NU)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-École Nationale Supérieure d'Ingénieurs de Caen (ENSICAEN), Laboratory for Integrated Micro Mechatronics Systems (LIMMS), Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-The University of Tokyo (UTokyo), Laboratoire catalyse et spectrochimie (LCS), Normandie Université (NU)-Normandie Université (NU)-Institut de Chimie du CNRS (INC)-Université de Caen Normandie (UNICAEN), Institut d'Électronique et des Technologies du numéRique (IETR), Nantes Université (NU)-Université de Rennes 1 (UR1), Université de Rennes (UNIV-RENNES)-Université de Rennes (UNIV-RENNES)-Institut National des Sciences Appliquées - Rennes (INSA Rennes), Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Université de Rennes (UNIV-RENNES)-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-CentraleSupélec-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), The University of Tokyo (UTokyo), Institut d'Electronique et de Télécommunications de Rennes ( IETR ), Université de Nantes ( UN ) -Université de Rennes 1 ( UR1 ), Université de Rennes ( UNIV-RENNES ) -Université de Rennes ( UNIV-RENNES ) -Institut National des Sciences Appliquées - Rennes ( INSA Rennes ) -CentraleSupélec-Centre National de la Recherche Scientifique ( CNRS ), Denain Anzin Minéraux, National Institute for Plasma and Radiation Physics ( NILPRP ), Centre de recherche, Groupe de Recherche en Informatique, Image, Automatique et Instrumentation de Caen ( GREYC ), Université de Caen Normandie ( UNICAEN ), Normandie Université ( NU ) -Normandie Université ( NU ) -Ecole Nationale Supérieure d'Ingénieurs de Caen ( ENSICAEN ), Normandie Université ( NU ) -Centre National de la Recherche Scientifique ( CNRS ) -Université de Caen Normandie ( UNICAEN ), Normandie Université ( NU ) -Centre National de la Recherche Scientifique ( CNRS ), Laboratoire catalyse et spectrochimie ( LCS ), Franche-Comté Électronique Mécanique, Thermique et Optique - Sciences et Technologies ( FEMTO-ST ), Université de Technologie de Belfort-Montbeliard ( UTBM ) -Ecole Nationale Supérieure de Mécanique et des Microtechniques ( ENSMM ) -Centre National de la Recherche Scientifique ( CNRS ) -Université de Franche-Comté ( UFC ), Institute for Material Research ( IMR ), Tohoku University [Sendai], Institute for Solid State Physics, The University of Tokyo, Université de Nantes (UN)-Université de Rennes 1 (UR1), Université de Caen Normandie (UNICAEN), Normandie Université (NU)-Normandie Université (NU)-École Nationale Supérieure d'Ingénieurs de Caen (ENSICAEN), Normandie Université (NU)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université de Caen Normandie (UNICAEN), Normandie Université (NU)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), The University of Tokyo (UTokyo)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), Normandie Université (NU)-Institut de Chimie du CNRS (INC)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), Université de Nantes (UN)-Université de Rennes (UR)-Institut National des Sciences Appliquées - Rennes (INSA Rennes), Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-CentraleSupélec-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), intelligente Semiconductor Microsystem Laboratory (iSML)

المصدر: Microsystem Technologies
Microsystem Technologies, Springer Verlag, 2018, 42 (7), pp.5465-5470. ⟨10.1007/s00542-018-3883-5⟩
Microsystem Technologies, Springer Verlag, 2018, 〈10.1007/s00542-018-3883-5〉
Microsystem Technologies, 2022, 28 (6), pp.1313-1319. ⟨10.1007/s00542-018-3883-5⟩

مصطلحات موضوعية: Materials science, Silicon, chemistry.chemical_element, zeolites, 02 engineering and technology, engineering.material, 01 natural sciences, Heat capacity, thermal capacity gas sensor, 010309 optics, Condensed Matter::Materials Science, Coating, 0103 physical sciences, Thermal, [ SPI ] Engineering Sciences [physics], system identification algorithm, Electrical and Electronic Engineering, [SPI.NANO]Engineering Sciences [physics]/Micro and nanotechnologies/Microelectronics, Zeolite, ComputingMilieux_MISCELLANEOUS, [ PHYS ] Physics [physics], Atmospheric pressure, Extraction (chemistry), 021001 nanoscience & nanotechnology, Condensed Matter Physics, Microstructure, Electronic, Optical and Magnetic Materials, chemistry, Hardware and Architecture, engineering, 0210 nano-technology, Algorithm

URL الوصول: https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_dedup___::7c04b0b648c822924aeb4d54dccb9515
https://hal.archives-ouvertes.fr/hal-01810620/document

المؤلفون: Denoual, Matthieu, Pouliquen, Mathieu, Jorel, Corentin, Radu, C., Robbes, Didier, Julien, Grand, Awala, Hussein, Mintova, Svetlana, Harnois, M., De Sagazan, O., Inoue, S., Lebrasseur, E., Koyamada, K., Okamoto, Y., Mita-Tixier, A., Mita, Y.

المساهمون: Equipe Electronique - Laboratoire GREYC - UMR6072, Groupe de Recherche en Informatique, Image, Automatique et Instrumentation de Caen (GREYC), Université de Caen Normandie (UNICAEN), Normandie Université (NU)-Normandie Université (NU)-École Nationale Supérieure d'Ingénieurs de Caen (ENSICAEN), Normandie Université (NU)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université de Caen Normandie (UNICAEN), Normandie Université (NU)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), Laboratoire d'automatique de Caen (LAC), Normandie Université (NU), Laboratoire catalyse et spectrochimie (LCS), Institut d'Electronique et de Télécommunications de Rennes (IETR), Université de Nantes (UN)-Université de Rennes 1 (UR1), Université de Rennes (UNIV-RENNES)-Université de Rennes (UNIV-RENNES)-Institut National des Sciences Appliquées - Rennes (INSA Rennes), Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Université de Rennes (UNIV-RENNES)-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-CentraleSupélec-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), Nissan Corporation, Nissan, Kyoto University [Kyoto], The University of Tokyo

المصدر: Test, Integration and Packaging of MEMS/MOEMS Symposium (DTIP’2017)
Test, Integration and Packaging of MEMS/MOEMS Symposium (DTIP’2017), May 2017, Bordeaux, France

مصطلحات موضوعية: [CHIM]Chemical Sciences, ComputingMilieux_MISCELLANEOUS

URL الوصول: https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=od______2755::2ec8f4fe152c829ad38eee945fad829f
https://hal.archives-ouvertes.fr/hal-02070601

المؤلفون: Didier Robbes, Hussein Awala, Kentaro Yamada, Eric Lebrasseur, Julien Grand, C. Radu, S. Inoue, O. De Sagazan, Maxime Harnois, Yoshio Mita, M. Denoual, Corentin Jorel, Mathieu Pouliquen, Svetlana Mintova, Yuki Okamoto, A. Mita-Tixier

المساهمون: Laboratory for Integrated Micro Mechatronics Systems (LIMMS), The University of Tokyo (UTokyo)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), Equipe Electronique - Laboratoire GREYC - UMR6072, Groupe de Recherche en Informatique, Image et Instrumentation de Caen (GREYC), Université de Caen Normandie (UNICAEN), Normandie Université (NU)-Normandie Université (NU)-École Nationale Supérieure d'Ingénieurs de Caen (ENSICAEN), Normandie Université (NU)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université de Caen Normandie (UNICAEN), Normandie Université (NU)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), Equipe Automatique - Laboratoire GREYC - UMR6072, Laboratoire catalyse et spectrochimie (LCS), Normandie Université (NU)-Institut de Chimie du CNRS (INC)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), Institut d'Électronique et des Technologies du numéRique (IETR), Université de Nantes (UN)-Université de Rennes (UR)-Institut National des Sciences Appliquées - Rennes (INSA Rennes), Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-CentraleSupélec-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), The University of Tokyo (UTokyo), French and Japanese bilateral exchange program PRC JSPS-CNRSNormandy C2-MTM Project, Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-The University of Tokyo (UTokyo), Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-École Nationale Supérieure d'Ingénieurs de Caen (ENSICAEN), Normandie Université (NU)-Normandie Université (NU)-Université de Caen Normandie (UNICAEN), Normandie Université (NU)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-École Nationale Supérieure d'Ingénieurs de Caen (ENSICAEN), Normandie Université (NU), Normandie Université (NU)-Normandie Université (NU)-Institut de Chimie du CNRS (INC)-Université de Caen Normandie (UNICAEN), Nantes Université (NU)-Université de Rennes 1 (UR1), Université de Rennes (UNIV-RENNES)-Université de Rennes (UNIV-RENNES)-Institut National des Sciences Appliquées - Rennes (INSA Rennes), Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Université de Rennes (UNIV-RENNES)-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-CentraleSupélec-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), Denoual, Matthieu, Université de Nantes (UN)-Université de Rennes 1 (UR1)

المصدر: DTIP2017, Design, Test, Integration & Packaging of MEMS/MOEMS
DTIP2017, Design, Test, Integration & Packaging of MEMS/MOEMS, May 2017, Bordeaux, France

مصطلحات موضوعية: Materials science, Silicon, Atmospheric pressure, [SPI.NANO] Engineering Sciences [physics]/Micro and nanotechnologies/Microelectronics, Extraction (chemistry), Analytical chemistry, chemistry.chemical_element, 02 engineering and technology, engineering.material, 021001 nanoscience & nanotechnology, Microstructure, 01 natural sciences, 010309 optics, Condensed Matter::Materials Science, chemistry, Coating, 0103 physical sciences, Thermal, engineering, Thermal mass, [SPI.NANO]Engineering Sciences [physics]/Micro and nanotechnologies/Microelectronics, 0210 nano-technology, Zeolite, Algorithm, ComputingMilieux_MISCELLANEOUS

URL الوصول: https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_dedup___::4e524a995b2b3ce8831c03684895b69e
https://hal.science/hal-01511002

المؤلفون: D. Robbes, Svetlana Mintova, Mathieu Pouliquen, Yoshio Mita, Hussein Awala, A. Mita-Tixier, S. Inoue, Matthieu Denoual, Julien Grand, O. De Sagazan

المساهمون: Equipe Electronique - Laboratoire GREYC - UMR6072, Groupe de Recherche en Informatique, Image et Instrumentation de Caen (GREYC), Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-École Nationale Supérieure d'Ingénieurs de Caen (ENSICAEN), Normandie Université (NU)-Normandie Université (NU)-Université de Caen Normandie (UNICAEN), Normandie Université (NU)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-École Nationale Supérieure d'Ingénieurs de Caen (ENSICAEN), Normandie Université (NU), Equipe Automatique - Laboratoire GREYC - UMR6072, Institut d'Électronique et des Technologies du numéRique (IETR), Nantes Université (NU)-Université de Rennes 1 (UR1), Université de Rennes (UNIV-RENNES)-Université de Rennes (UNIV-RENNES)-Institut National des Sciences Appliquées - Rennes (INSA Rennes), Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Université de Rennes (UNIV-RENNES)-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-CentraleSupélec-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), Laboratoire catalyse et spectrochimie (LCS), Normandie Université (NU)-Normandie Université (NU)-Institut de Chimie du CNRS (INC)-Université de Caen Normandie (UNICAEN), The University of Tokyo (UTokyo), Université de Caen Normandie (UNICAEN), Normandie Université (NU)-Normandie Université (NU)-École Nationale Supérieure d'Ingénieurs de Caen (ENSICAEN), Normandie Université (NU)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université de Caen Normandie (UNICAEN), Normandie Université (NU)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), Université de Nantes (UN)-Université de Rennes (UR)-Institut National des Sciences Appliquées - Rennes (INSA Rennes), Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-CentraleSupélec-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), Normandie Université (NU)-Institut de Chimie du CNRS (INC)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), Université de Nantes (UN)-Université de Rennes 1 (UR1)

المصدر: 29th IEEE International Conference on Microelectronic Test Structures, ICMTS 2016
29th IEEE International Conference on Microelectronic Test Structures, ICMTS 2016, Mar 2016, Yokohama, Japan. pp.16--19, ⟨10.1109/ICMTS.2016.7476165⟩

مصطلحات موضوعية: Materials science, Analytical chemistry, 02 engineering and technology, Thermal devices, Test structure, 01 natural sciences, [INFO.INFO-NI]Computer Science [cs]/Networking and Internet Architecture [cs.NI], Microelectronics, Adsorption, Time constants, 0103 physical sciences, Thermal, Zeolite, Target species, 010302 applied physics, business.industry, Time constant, Thermal gas, 021001 nanoscience & nanotechnology, Chemical sensor, [SPI.TRON]Engineering Sciences [physics]/Electronics, Chemical sensors, Zeolites, Optoelectronics, Microfabrication, 0210 nano-technology, business, Microfabricated

URL الوصول: https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_dedup___::0dd410bb4def03f1a5d3ebc0ad6b884a
https://doi.org/10.1109/icmts.2016.7476165

المؤلفون: Denoual, Matthieu, Pouliquen, Mathieu, Robbes, Didier, de Sagazan, Olivier, Julien, Grand, Hussein, Awala, Mintova, Svetlana, Shu, Inoue, Mita-Tixier, Agnès, Mita, Yoshio

المساهمون: Equipe Electronique - Laboratoire GREYC - UMR6072, Groupe de Recherche en Informatique, Image et Instrumentation de Caen (GREYC), Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-École Nationale Supérieure d'Ingénieurs de Caen (ENSICAEN), Normandie Université (NU)-Normandie Université (NU)-Université de Caen Normandie (UNICAEN), Normandie Université (NU)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-École Nationale Supérieure d'Ingénieurs de Caen (ENSICAEN), Normandie Université (NU), Equipe Automatique - Laboratoire GREYC - UMR6072, Institut d'Electronique et de Télécommunications de Rennes (IETR), Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Ecole Supérieure d'Electricité - SUPELEC (FRANCE)-Institut National des Sciences Appliquées - Rennes (INSA Rennes), Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Université de Rennes (UNIV-RENNES)-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Université de Rennes (UNIV-RENNES)-Université de Rennes 1 (UR1), Université de Rennes (UNIV-RENNES), Laboratoire catalyse et spectrochimie (LCS), Normandie Université (NU)-Normandie Université (NU)-Institut de Chimie du CNRS (INC)-Université de Caen Normandie (UNICAEN), Laboratory for Integrated Micro Mechatronics Systems (LIMMS), The University of Tokyo (UTokyo)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), intelligente Semiconductor Microsystem Laboratory (iSML), The University of Tokyo (UTokyo), Denoual, Matthieu, Université de Caen Normandie (UNICAEN), Normandie Université (NU)-Normandie Université (NU)-École Nationale Supérieure d'Ingénieurs de Caen (ENSICAEN), Normandie Université (NU)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université de Caen Normandie (UNICAEN), Normandie Université (NU)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), Université de Rennes (UR)-Institut National des Sciences Appliquées - Rennes (INSA Rennes), Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Ecole Supérieure d'Electricité - SUPELEC (FRANCE)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), Normandie Université (NU)-Institut de Chimie du CNRS (INC)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)

المصدر: ICMTS
ICMTS, 2016, Yokohama, Japan

مصطلحات موضوعية: [SPI.TRON] Engineering Sciences [physics]/Electronics, ComputingMilieux_MISCELLANEOUS, [SPI.TRON]Engineering Sciences [physics]/Electronics

URL الوصول: https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=dedup_wf_001::b119cc8db4784b30f8714235ab52858b
https://hal.archives-ouvertes.fr/hal-01422456

المؤلفون: Denoual, Matthieu, Pouliquen, Mathieu, Mita-Tixier, Agnès, Fujita, Hiroyuki, Toshiyoshi, Hiroshi

المساهمون: Equipe Electronique - Laboratoire GREYC - UMR6072, Groupe de Recherche en Informatique, Image et Instrumentation de Caen (GREYC), Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-École Nationale Supérieure d'Ingénieurs de Caen (ENSICAEN), Normandie Université (NU)-Normandie Université (NU)-Université de Caen Normandie (UNICAEN), Normandie Université (NU)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-École Nationale Supérieure d'Ingénieurs de Caen (ENSICAEN), Normandie Université (NU), Equipe Automatique - Laboratoire GREYC - UMR6072, Laboratory for Integrated Micro Mechatronics Systems (LIMMS), Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-The University of Tokyo (UTokyo), The University of Tokyo (UTokyo), Denoual, Matthieu

المصدر: 31st Sensor Symposium on Sensors, Micromachines and Experiments
31st Sensor Symposium on Sensors, Micromachines and Experiments, 2014, Matse, Japan

مصطلحات موضوعية: [SPI.TRON] Engineering Sciences [physics]/Electronics, ComputingMilieux_MISCELLANEOUS, [SPI.TRON]Engineering Sciences [physics]/Electronics

URL الوصول: https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=dedup_wf_001::798a05b6046b9c29e5b191ce1fe58f99
https://hal.archives-ouvertes.fr/hal-01422463