المؤلفون: Chevolleau, T., Camille Petit-Etienne, Gilles Cunge, Erwine Pargon, Vallier, L., Posseme, N., Olivier Joubert, Anne Le Gouil, Raphael Ramos, Elodie Sungauer, Olivier Luere, Maxime Darnon, Romain Chanson, Salma Younesy

المساهمون: Laboratoire des technologies de la microélectronique (LTM ), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Grenoble Alpes [2016-2019] (UGA [2016-2019]), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information (CEA-LETI), Direction de Recherche Technologique (CEA) (DRT (CEA)), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA), Clot, Marielle

المصدر: ENRIS 2019 (European Nanofabrication Research Infrastructure Symposium)
ENRIS 2019 (European Nanofabrication Research Infrastructure Symposium), 2019, UNIVERSITY OF TWENTE, Netherlands
HAL

مصطلحات موضوعية: [PHYS]Physics [physics], ComputingMilieux_MISCELLANEOUS, [PHYS] Physics [physics]

URL الوصول: https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=dedup_wf_001::65b8d9154855fc67f1a4dfe6121db37b
https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-02624143