يعرض 1 - 4 نتائج من 4 نتيجة بحث عن '"Ono, Itaru"', وقت الاستعلام: 0.74s تنقيح النتائج
  1. 1
    دورية
    PEC-aware MPC for CD quality improvement

    المؤلفون: Liang, Ted, Kim, Seong-Sue, Shin, Soeun, Lee, Boram, Lee, Sukho, Kim, Eok bong, Kim, Mina, Choi, Jin, Lee, Sanghee, Sato, Yutaro, Syukri, Ahmad, Ono, Itaru, Torigoe, Yohei

    المصدر: Proceedings of SPIE; November 2023, Vol. 12751 Issue: 1 p127510V-127510V-6, 1147597p

    أضف إلى المفضلة
  2. 2
    دورية
    Improvements on pattern fidelity at high curvature region of curvilinear mask with a novel method of MPC

    المؤلفون: Liang, Ted, Kim, Seong-Sue, Kaneko, Ai, Fujii, Taigo, Ono, Itaru, Syukri, Ahmad, Torigoe, Yohei, Kim, Mincheol, Lee, Sukho, Kim, Eok Bong, Lee, Sanghee

    المصدر: Proceedings of SPIE; November 2023, Vol. 12751 Issue: 1 p127510U-127510U-9, 1147600p

    أضف إلى المفضلة
  3. 3
    مؤتمر
    PEC-aware MPC for CD quality improvement.

    المؤلفون: Shin, Soeun, Lee, Boram, Lee, Sukho, Kim, Eok bong, Kim, Mina, Choi, Jin, Lee, Sanghee, Sato, Yutaro, Syukri, Ahmad, Ono, Itaru, Torigoe, Yohei

    المصدر: Proceedings of SPIE; 12/20/2023, Vol. 12751, p127510V-127510V-6, 1p

    أضف إلى المفضلة
  4. 4
    مؤتمر
    Improvements on pattern fidelity at high curvature region of curvilinear mask with a novel method of MPC.

    المؤلفون: Kaneko, Ai, Fujii, Taigo, Ono, Itaru, Syukri, Ahmad, Torigoe, Yohei, Kim, Mincheol, Lee, Sukho, Kim, Eok Bong, Lee, Sanghee

    المصدر: Proceedings of SPIE; 12/20/2023, Vol. 12751, p127510U-127510U-9, 1p

    أضف إلى المفضلة
أدوات البحث: أحصل على تغذية RSS – أرسل هذا البحث بالبريد الإلكتروني – حفظ البحث – جدول التنبيهات: لا شيء