-
1دورية أكاديمية
المؤلفون: Emelyanov, A. A., Plotnilkov, M. Yu.Aff4, IDS0021894423050024_cor2, Timoshenko, N. I., Yudin, I. B.
المصدر: Journal of Applied Mechanics and Technical Physics. 64(5):748-756
-
2دورية أكاديمية
المؤلفون: Emelyanov, A. A., Plotnilkov, M. Yu., Timoshenko, N. I., Yudin, I. B.
المصدر: Journal of Applied Mechanics & Technical Physics; Oct2023, Vol. 64 Issue 5, p748-756, 9p
مصطلحات موضوعية: HIGH-frequency discharges, CHEMICAL vapor deposition, SILICON, GAS mixtures, SURFACE coatings, JET transports, DIAMOND crystals, DIAMONDS