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1دورية أكاديمية
المؤلفون: Babacar Diallo, Konstantina C. Topka, Maxime Puyo, Charlotte Lebesgue, Cécile Genevois, Raphael Laloo, Diane Samelor, Hélène Lecoq, Mathieu Allix, Hugues Vergnes, François Senocq, Pierre Florian, Vincent Sarou-Kanian, Thierry Sauvage, Marie-Joelle Menu, Brigitte Caussat, Viviane Turq, Constantin Vahlas, Nadia Pellerin
المصدر: Journal of Materials Research and Technology, Vol 13, Iss , Pp 534-547 (2021)
مصطلحات موضوعية: CVD, SiO2, Hydrated species, Network ordering, Etching rate, Mechanical properties, Mining engineering. Metallurgy, TN1-997
وصف الملف: electronic resource
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المؤلفون: Konstantina Christina Topka, Babacar Diallo, Maxime Puyo, Paris Papavasileiou, Charlotte Lebesgue, Cecile Genevois, Yann Tison, Cedric Charvillat, Diane Samelor, Raphael Laloo, Daniel Sadowski, François Senocq, Thierry Sauvage, Hugues Vergnes, Marie-Joelle Menu, Brigitte Caussat, Viviane Turq, Nadia Pellerin, Constantin Vahlas
المساهمون: Centre National de la Recherche Scientifique - CNRS (FRANCE), Institut National Polytechnique de Toulouse - Toulouse INP (FRANCE), Université Toulouse III - Paul Sabatier - UT3 (FRANCE)
المصدر: ACS Applied Electronic Materials.
مصطلحات موضوعية: buffer oxide etchant, thin film, Matériaux, tris(dimethylsilyl)amine, material network, Materials Chemistry, Electrochemistry, wet etching corrosion, hydrolysis resistance, Electronic, Optical and Magnetic Materials, silicon oxynitride, chemical vapor deposition
وصف الملف: application/pdf
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المؤلفون: Arnaud Demortière, Kevin Brousse, Peihua Huang, Raphael Laloo, Viviane Turq, Sébastien Pinaud, Yury Gogotsi, Marc Respaud, Bruno Chaudret, Christophe Lethien, Patrice Simon, Pierre-Louis Taberna, Barbara Daffos
المساهمون: Centre interuniversitaire de recherche et d'ingenierie des matériaux (CIRIMAT), Université Toulouse III - Paul Sabatier (UT3), Université de Toulouse (UT)-Université de Toulouse (UT)-Institut de Chimie du CNRS (INC)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Institut National Polytechnique (Toulouse) (Toulouse INP), Université de Toulouse (UT), Réseau sur le stockage électrochimique de l'énergie (RS2E), Université de Nantes (UN)-Aix Marseille Université (AMU)-Université de Haute-Alsace (UHA) Mulhouse - Colmar (Université de Haute-Alsace (UHA))-Collège de France (CdF (institution))-Université de Picardie Jules Verne (UPJV)-Ecole Nationale Supérieure de Chimie de Montpellier (ENSCM)-Ecole Nationale Supérieure de Chimie de Paris - Chimie ParisTech-PSL (ENSCP), Université Paris sciences et lettres (PSL)-Université Paris sciences et lettres (PSL)-Université de Pau et des Pays de l'Adour (UPPA)-Institut de Chimie du CNRS (INC)-Université de Montpellier (UM)-Sorbonne Université (SU)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Institut National Polytechnique (Toulouse) (Toulouse INP), Université de Toulouse (UT)-Université de Toulouse (UT)-Institut polytechnique de Grenoble - Grenoble Institute of Technology (Grenoble INP ), Université Grenoble Alpes (UGA)-Université Grenoble Alpes (UGA), Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 (IEMN), Centrale Lille-Institut supérieur de l'électronique et du numérique (ISEN)-Université de Valenciennes et du Hainaut-Cambrésis (UVHC)-Université de Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Polytechnique Hauts-de-France (UPHF), Laboratoire de physique et chimie des nano-objets (LPCNO), Institut National des Sciences Appliquées - Toulouse (INSA Toulouse), Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Université de Toulouse (UT)-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Université de Toulouse (UT)-Institut de Chimie de Toulouse (ICT), Institut de Recherche pour le Développement (IRD)-Université Toulouse III - Paul Sabatier (UT3), Université de Toulouse (UT)-Institut de Recherche pour le Développement (IRD)-Université Toulouse III - Paul Sabatier (UT3), Université de Toulouse (UT)-Institut de Chimie du CNRS (INC)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Institut National Polytechnique (Toulouse) (Toulouse INP), Université de Toulouse (UT)-Institut de Recherche sur les Systèmes Atomiques et Moléculaires Complexes (IRSAMC), Université de Toulouse (UT)-Université de Toulouse (UT)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), Atelier Interuniversitaire de Micro-Nano Electronique (AIME), Laboratoire d'analyse et d'architecture des systèmes (LAAS), Université Toulouse Capitole (UT Capitole), Université de Toulouse (UT)-Université de Toulouse (UT)-Institut National des Sciences Appliquées - Toulouse (INSA Toulouse), Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Université de Toulouse (UT)-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Université Toulouse - Jean Jaurès (UT2J), Université de Toulouse (UT)-Université Toulouse III - Paul Sabatier (UT3), Université de Toulouse (UT)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Institut National Polytechnique (Toulouse) (Toulouse INP), Université de Toulouse (UT)-Université Toulouse Capitole (UT Capitole), Laboratoire réactivité et chimie des solides - UMR CNRS 7314 (LRCS), Université de Picardie Jules Verne (UPJV)-Institut de Chimie du CNRS (INC)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), Drexel University, Centre National de la Recherche Scientifique - CNRS (FRANCE), Drexel University (USA), Institut National Polytechnique de Toulouse - INPT (FRANCE), Institut National des Sciences Appliquées de Toulouse - INSA (FRANCE), Université Toulouse III - Paul Sabatier - UT3 (FRANCE), Université de Picardie Jules Verne (FRANCE), Réseau de stockage électrochimique de l’énergie - Energie RS2E (FRANCE), Université Lille 1, Sciences et Technologies - Lille 1 (FRANCE), Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Toulouse III - Paul Sabatier (UT3), Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées-Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées-Institut National Polytechnique (Toulouse) (Toulouse INP), Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées-Institut de Chimie du CNRS (INC), Université de Picardie Jules Verne (UPJV)-Institut de Chimie du CNRS (INC)-Aix Marseille Université (AMU)-Université de Pau et des Pays de l'Adour (UPPA)-Université de Nantes (UN)-Université de Montpellier (UM)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Sorbonne Université (SU)-Ecole Nationale Supérieure de Chimie de Paris - Chimie ParisTech-PSL (ENSCP), Université Paris sciences et lettres (PSL)-Université Paris sciences et lettres (PSL)-Université de Haute-Alsace (UHA) Mulhouse - Colmar (Université de Haute-Alsace (UHA))-Collège de France (CdF (institution))-Institut polytechnique de Grenoble - Grenoble Institute of Technology (Grenoble INP ), Université Grenoble Alpes (UGA)-Université Grenoble Alpes (UGA)-Institut National Polytechnique (Toulouse) (Toulouse INP), Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées-Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées-Ecole Nationale Supérieure de Chimie de Montpellier (ENSCM), Institut de Recherche sur les Systèmes Atomiques et Moléculaires Complexes (IRSAMC), Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Université Toulouse III - Paul Sabatier (UT3), Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées-Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Institut National des Sciences Appliquées - Toulouse (INSA Toulouse), Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées-Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Institut de Chimie de Toulouse (ICT-FR 2599), Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées-Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées-Institut de Chimie du CNRS (INC)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Institut National Polytechnique (Toulouse) (Toulouse INP), Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées-Institut de Recherche pour le Développement (IRD)-Institut de Chimie du CNRS (INC)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Institut National Polytechnique (Toulouse) (Toulouse INP), Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées, Université Toulouse - Jean Jaurès (UT2J)-Université Toulouse 1 Capitole (UT1), Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées-Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Toulouse III - Paul Sabatier (UT3), Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées-Institut National des Sciences Appliquées - Toulouse (INSA Toulouse), Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Institut National Polytechnique (Toulouse) (Toulouse INP), Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées-Université Toulouse - Jean Jaurès (UT2J)-Université Toulouse 1 Capitole (UT1), Université de Picardie Jules Verne (UPJV), Institut National Polytechnique de Toulouse - Toulouse INP (FRANCE)
المصدر: Science
Science, 2016, 351 (6274), pp.691-695. ⟨10.1126/science.aad3345⟩
Science, American Association for the Advancement of Science, 2016, 351 (6274), pp.691-695. ⟨10.1126/science.aad3345⟩مصطلحات موضوعية: Materials science, Silicon, Matériaux, chemistry.chemical_element, Nanotechnology, 02 engineering and technology, 010402 general chemistry, 01 natural sciences, 7. Clean energy, Capacitance, Energy storage, [SPI.MAT]Engineering Sciences [physics]/Materials, Wafer, [SPI.NANO]Engineering Sciences [physics]/Micro and nanotechnologies/Microelectronics, Micro-supercapacitor, Supercapacitor, Multidisciplinary, Silicon wafer, Square Centimeter, 021001 nanoscience & nanotechnology, 0104 chemical sciences, Carbon film, Porous carbon, chemistry, 0210 nano-technology, Microfabrication
وصف الملف: application/pdf
URL الوصول: https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_dedup___::08bb4960422c88a98b99463c160f406c
https://hal.science/hal-01489186 -
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المؤلفون: Pierre-Louis Taberna, Patrice Simon, Christophe Lethien, Peihua Huang, Sebastien Pinaud, Kevin Brousse, Raphael Laloo, Viviane Turq, Marc Respaud, Arnaud Demortiere, Barbara Daffos, Bruno Chaudret, Yury Gogotsi
المصدر: ECS Meeting Abstracts. :945-945