-
1
المؤلفون: S. Couvrat, D. Le Cunff, F. Abbate
المصدر: 2012 SEMI Advanced Semiconductor Manufacturing Conference.
مصطلحات موضوعية: Diffraction, Materials science, business.industry, Metrology, Silicon-germanium, X-ray reflectivity, chemistry.chemical_compound, Optics, chemistry, Stack (abstract data type), Ellipsometry, Optoelectronics, Wafer, business, Reflectometry
URL الوصول: https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::097024cae52d6fc7f84fa2ef7bee1426
https://doi.org/10.1109/asmc.2012.6212880 -
2
المؤلفون: D. Le Cunff, C. Euvrard, A. Pravdivtsev, K. Le Chao, E. Deloffre, S. Couvrat, A. Cailean
المصدر: 3DIC
مصطلحات موضوعية: Materials science, Silicon, Spectrometer, business.industry, chemistry.chemical_element, Interferometry, Optics, Resist, chemistry, Astronomical interferometer, Optoelectronics, Wafer, Image sensor, business, Wafer-level packaging
URL الوصول: https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::34c013987d9e958c374811290a5612f4
https://doi.org/10.1109/3dic.2010.5751473 -
3مؤتمر
لا يتم عرض هذه النتيجة على الضيوف.
تسجيل الدخول للوصول الكامل. -
4مؤتمر
لا يتم عرض هذه النتيجة على الضيوف.
تسجيل الدخول للوصول الكامل. -
5دورية أكاديمية
لا يتم عرض هذه النتيجة على الضيوف.
تسجيل الدخول للوصول الكامل.