-
1
المساهمون: Laboratoire des technologies de la microélectronique (LTM ), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Grenoble Alpes (UGA), STMicroelectronics [Crolles] (ST-CROLLES), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information (CEA-LETI), Direction de Recherche Technologique (CEA) (DRT (CEA)), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)
المصدر: Advanced Etch Technology for Nanopatterning IX
Advanced Etch Technology for Nanopatterning IX, Feb 2020, San Jose, United States. pp.30, ⟨10.1117/12.2549210⟩مصطلحات موضوعية: 010302 applied physics, [PHYS]Physics [physics], Plasma etching, Materials science, business.industry, chemistry.chemical_element, BCL3, 02 engineering and technology, Plasma, 021001 nanoscience & nanotechnology, 7. Clean energy, 01 natural sciences, Ion, Indium tin oxide, chemistry, 0103 physical sciences, Optoelectronics, Inductively coupled plasma, 0210 nano-technology, business, Volatility (chemistry), Indium, ComputingMilieux_MISCELLANEOUS
URL الوصول: https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_dedup___::76bb539a0f17ae1ab3048a9fe056c028
https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-02912746 -
2
المؤلفون: Chevolleau, T., Camille Petit-Etienne, Gilles Cunge, Erwine Pargon, Vallier, L., Posseme, N., Olivier Joubert, Anne Le Gouil, Raphael Ramos, Elodie Sungauer, Olivier Luere, Maxime Darnon, Romain Chanson, Salma Younesy
المساهمون: Laboratoire des technologies de la microélectronique (LTM ), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Grenoble Alpes [2016-2019] (UGA [2016-2019]), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information (CEA-LETI), Direction de Recherche Technologique (CEA) (DRT (CEA)), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA), Clot, Marielle
المصدر: ENRIS 2019 (European Nanofabrication Research Infrastructure Symposium)
ENRIS 2019 (European Nanofabrication Research Infrastructure Symposium), 2019, UNIVERSITY OF TWENTE, Netherlands
HALمصطلحات موضوعية: [PHYS]Physics [physics], ComputingMilieux_MISCELLANEOUS, [PHYS] Physics [physics]
URL الوصول: https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=dedup_wf_001::65b8d9154855fc67f1a4dfe6121db37b
https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-02624143 -
3
المؤلفون: Benjamin T. Hogan, Sergey A. Dyakov, Lorcan J. Brennan, Salma Younesy, Tatiana S. Perova, Yurii K. Gun’ko, Monica F. Craciun, Anna Baldycheva
المصدر: Scientific Reports.
-
4
المؤلفون: Benjamin T, Hogan, Sergey A, Dyakov, Lorcan J, Brennan, Salma, Younesy, Tatiana S, Perova, Yurii K, Gun'ko, Monica F, Craciun, Anna, Baldycheva
المصدر: Scientific Reports
مصطلحات موضوعية: Article