-
1دورية أكاديمية
المؤلفون: Chao Xiang, Yulan Lu, Chao Cheng, Junbo Wang, Deyong Chen, Jian Chen
المصدر: Micromachines, Vol 12, Iss 4, p 382 (2021)
مصطلحات موضوعية: resonant pressure microsensor, wide pressure measurement range, silicon islands, cylindrical vacuum cavity, quality factor, Mechanical engineering and machinery, TJ1-1570
وصف الملف: electronic resource
-
2دورية أكاديمية
المؤلفون: Markelov, A. S., Trushin, V. N., Chuprunov, E. V., Gribko, V. V., Kotomina, V. E., Antonov, I. N., Veselova, L. P.
المصدر: Journal of Surface Investigation: X-ray, Synchrotron and Neutron Techniques. January 2017 11(1):202-205
-
3دورية أكاديمية
لا يتم عرض هذه النتيجة على الضيوف.
تسجيل الدخول للوصول الكامل. -
4
المؤلفون: Yulan Lu, Jian Chen, Junbo Wang, Deyong Chen, Chao Cheng, Chao Xiang
المصدر: Micromachines
Micromachines, Vol 12, Iss 382, p 382 (2021)
Volume 12
Issue 4مصطلحات موضوعية: Materials science, business.industry, lcsh:Mechanical engineering and machinery, Mechanical Engineering, wide pressure measurement range, quality factor, Atmospheric temperature range, Article, law.invention, Resonator, Pressure measurement, Control and Systems Engineering, Anodic bonding, law, resonant pressure microsensor, Chemical-mechanical planarization, Deep reactive-ion etching, Optoelectronics, lcsh:TJ1-1570, silicon islands, Wafer, Electrical and Electronic Engineering, Photolithography, business, cylindrical vacuum cavity
وصف الملف: application/pdf
-
5دورية أكاديمية
المؤلفون: Bagchi, S., Lee, J. D., Krause, S. J., Roitman, P.
المصدر: Journal of Electronic Materials. January 1996 25(1):7-12
-
6دورية أكاديمية
لا يتم عرض هذه النتيجة على الضيوف.
تسجيل الدخول للوصول الكامل. -
7دورية أكاديمية
لا يتم عرض هذه النتيجة على الضيوف.
تسجيل الدخول للوصول الكامل. -
8دورية أكاديمية
لا يتم عرض هذه النتيجة على الضيوف.
تسجيل الدخول للوصول الكامل. -
9دورية أكاديمية
لا يتم عرض هذه النتيجة على الضيوف.
تسجيل الدخول للوصول الكامل. -
10دورية أكاديمية
لا يتم عرض هذه النتيجة على الضيوف.
تسجيل الدخول للوصول الكامل.