-
1مؤتمرA process-independent run-to-run controller and its application to chemical-mechanical planarization
المؤلفون: Moyne, J.R., Telfeyan, R., Hunvitz, A., Taylor, J.
المصدر: Proceedings of SEMI Advanced Semiconductor Manufacturing Conference and Workshop Semiconductor manufacturing Advanced Semiconductor Manufacturing Conference and Workshop, 1995. ASMC 95 Proceedings. IEEE/SEMI 1995. :194-200 1995
Relation: Proceedings of SEMI Advanced Semiconductor Manufacturing Conference and Workshop
-
2دورية أكاديمية
المؤلفون: Boning, D.S., Moyne, W.P., Smith, T.H., Moyne, J., Telfeyan, R., Hurwitz, A., Shellman, S., Tayor, J.
المصدر: IEEE Transactions on Components, Packaging, and Manufacturing Technology: Part C IEEE Trans. Comp., Packag., Manufact. Technol. C Components, Packaging, and Manufacturing Technology, Part C, IEEE Transactions on. 19(4):307-314 Oct, 1996
-
3دورية أكاديمية
لا يتم عرض هذه النتيجة على الضيوف.
تسجيل الدخول للوصول الكامل. -
4دورية أكاديمية
لا يتم عرض هذه النتيجة على الضيوف.
تسجيل الدخول للوصول الكامل. -
5دورية أكاديمية
لا يتم عرض هذه النتيجة على الضيوف.
تسجيل الدخول للوصول الكامل.
Full Text Finder