يعرض 1 - 10 نتائج من 28 نتيجة بحث عن '"Wise, Rich S."', وقت الاستعلام: 0.92s تنقيح النتائج
  1. 1
    دورية
    Self-aligned blocking integration demonstration for critical sub-40nm pitch Mx level patterning

    المؤلفون: Engelmann, Sebastian U., Wise, Rich S., Raley, Angélique, Mohanty, Nihar, Sun, Xinghua, Farrell, Richard A., Smith, Jeffrey T., Ko, Akiteru, Metz, Andrew W., Biolsi, Peter, Devilliers, Anton

    المصدر: Proceedings of SPIE; April 2017, Vol. 10149 Issue: 1 p101490O-101490O-11, 10047522p

    أضف إلى المفضلة
  2. 2
    دورية
    Dry-plasma-free chemical etch technique for variability reduction in multi-patterning (Conference Presentation)

    المؤلفون: Engelmann, Sebastian U., Wise, Rich S., Kal, Subhadeep, Mohanty, Nihar, Farrell, Richard A., Franke, Elliott, Raley, Angelique, Thibaut, Sophie, Pereira, Cheryl, Pillai, Karthik, Ko, Akiteru, Mosden, Aelan, Biolsi, Peter

    المصدر: Proceedings of SPIE; April 2017, Vol. 10149 Issue: 1 p101490P-101490P-1, 913412p

    أضف إلى المفضلة
  3. 3
    دورية
    Study of selective chemical downstream plasma etching of silicon nitride and silicon oxide for advanced patterning applications

    المؤلفون: Engelmann, Sebastian U., Wise, Rich S., Prévost, Emilie, Cunge, Gilles, De-Buttet, Côme, Lagrasta, Sebastien, Vallier, Laurent, Petit-Etienne, Camille

    المصدر: Proceedings of SPIE; April 2017, Vol. 10149 Issue: 1 p101490M-101490M-11, 10047522p

    أضف إلى المفضلة
  4. 4
    دورية
    The application of advanced pulsed plasma in Fin etch loading improvement

    المؤلفون: Engelmann, Sebastian U., Wise, Rich S., Xiao, Fang-Yuan, Han, Qiu-Hua, Zhang, Hai-Yang

    المصدر: Proceedings of SPIE; April 2017, Vol. 10149 Issue: 1 p101490Z-101490Z-4, 913415p

    أضف إلى المفضلة
  5. 5
    دورية
    The line roughness improvement with plasma coating and cure treatment for 193nm lithography and beyond

    المؤلفون: Engelmann, Sebastian U., Wise, Rich S., Zheng, Erhu, Huang, Yi, Zhang, Haiyang

    المصدر: Proceedings of SPIE; April 2017, Vol. 10149 Issue: 1 p101490Y-101490Y-5, 913416p

    أضف إلى المفضلة
  6. 6
    دورية
    A method to accelerate creation of plasma etch recipes using physics and Bayesian statistics

    المؤلفون: Engelmann, Sebastian U., Wise, Rich S., Chopra, Meghali J., Verma, Rahul, Lane, Austin, Willson, C. G., Bonnecaze, Roger T.

    المصدر: Proceedings of SPIE; April 2017, Vol. 10149 Issue: 1 p101490X-101490X-8, 913419p

    أضف إلى المفضلة
  7. 7
    دورية
    Roughness and uniformity improvements on self-aligned quadruple patterning technique for 10nm node and beyond by wafer stress engineering

    المؤلفون: Engelmann, Sebastian U., Wise, Rich S., Liu, Eric, Ko, Akiteru, O'Meara, David, Mohanty, Nihar, Franke, Elliott, Pillai, Karthik, Biolsi, Peter

    المصدر: Proceedings of SPIE; April 2017, Vol. 10149 Issue: 1 p101490W-101490W-10, 10047521p

    أضف إلى المفضلة
  8. 8
    دورية
    Spin-on metal oxide materials for N7 and beyond patterning applications

    المؤلفون: Engelmann, Sebastian U., Wise, Rich S., Mannaert, G., Altamirano-Sanchez, E., Hopf, T., Sebaai, F., Lorant, C., Petermann, C., Hong, S.-E., Mullen, S., Wolfer, E., Mckenzie, D., Yao, H., Rahman, D., Cho, J.-Y., Padmanaban, M., Piumi, D.

    المصدر: Proceedings of SPIE; April 2017, Vol. 10149 Issue: 1 p101490T-101490T-8, 913419p

    أضف إلى المفضلة
  9. 9
    دورية
    Improvement of a block co-polymer (PS-b-PDMS) template etch profile using amorphous carbon layer

    المؤلفون: Engelmann, Sebastian U., Wise, Rich S., Oh, JiSoo, Oh, Jong Sik, Sung, DaIn, Yim, SoonMin, Song, SeungWon, Yeom, GeunYoung

    المصدر: Proceedings of SPIE; April 2017, Vol. 10149 Issue: 1 p101490U-101490U-6, 913417p

    أضف إلى المفضلة
  10. 10
    دورية
    Design and fabrication of resonator-QWIP for SF6gas sensor application

    المؤلفون: Engelmann, Sebastian U., Wise, Rich S., Sun, J., Choi, K. K., DeCuir, E. A., Olver, K. A., Fu, R. X.

    المصدر: Proceedings of SPIE; April 2017, Vol. 10149 Issue: 1 p101490S-101490S-8, 913419p

    أضف إلى المفضلة
أدوات البحث: أحصل على تغذية RSS – أرسل هذا البحث بالبريد الإلكتروني – حفظ البحث – جدول التنبيهات: لا شيء