يعرض 1 - 4 نتائج من 4 نتيجة بحث عن '"Yang, Seunghune"', وقت الاستعلام: 0.72s تنقيح النتائج
  1. 1
    دورية
    Hard failure prediction of ADI pattern using optical parameters and machine learning

    المؤلفون: Burkhardt, Martin, van Lare, Claire, Cho, Yeongchan, Choi, Seongjeon, Lee, Wonchan, Ahn, Hungbae, Park, Sangoh, Kim, Dongho, Yang, Seunghune

    المصدر: Proceedings of SPIE; April 2024, Vol. 12953 Issue: 1 p129530D-129530D-6, 1165777p

    أضف إلى المفضلة
  2. 2
    دورية
    Verification of directed self-assembly (DSA) guide patterns through machine learning

    المؤلفون: Resnick, Douglas J., Bencher, Christopher, Shim, Seongbo, Cai, Sibo, Yang, Jaewon, Yang, Seunghune, Choi, Byungil, Shin, Youngsoo

    المصدر: Proceedings of SPIE; March 2015, Vol. 9423 Issue: 1 p94231E-94231E-8, 848088p

    أضف إلى المفضلة
  3. 3
    دورية
    OPC modeling using AFM CD measurement

    المؤلفون: Faure, Thomas B., Ackmann, Paul W., Koo, Kyoil, Kim, Gyengseop, Kim, Sanghun, Yang, Seunghune, Lee, Sooryong, Kim, Youngchang, Choi, Jungdal, Kang, Hokyu

    المصدر: Proceedings of SPIE; September 2013, Vol. 8880 Issue: 1 p88801Q-88801Q-10, 8791310p

    أضف إلى المفضلة
  4. 4
    دورية
    Fine calibration of physical resist models: the importance of Jones pupil, laser bandwidth, mask error and CD metrology for accurate modeling at advanced lithographic nodes

    المؤلفون: Moon, Seongho, Yang, Seunghune, Shamsuarov, Artem, Kim, Eunju, Ser, Junghoon, Kim, Youngchang, Choi, Seongwoon, Kang, Changjin, Klostermann, Ulrich, Küchler, Bernd, Lewellen, John, Schmöller, Thomas, Lee, Sooryong

    المصدر: Proceedings of SPIE; March 2011, Vol. 7973 Issue: 1 p79730X-79730X-8, 717579p

    أضف إلى المفضلة
أدوات البحث: أحصل على تغذية RSS – أرسل هذا البحث بالبريد الإلكتروني – حفظ البحث – جدول التنبيهات: لا شيء