-
1دورية أكاديمية
المؤلفون: Wei-Sheng Liu, Balaji Gururajan, Sui-Hua Wu, Li-Cheng Huang, Chung-Kai Chi, Yu-Lun Jiang, Hsing-Chun Kuo
المصدر: Micromachines, Vol 13, Iss 9, p 1546 (2022)
مصطلحات موضوعية: aluminum nitride, reactive sputtering, X-ray diffraction, X-ray photoelectron spectroscopy, hardness measurement, Mechanical engineering and machinery, TJ1-1570
وصف الملف: electronic resource