-
1دورية أكاديمية
المؤلفون: Pengjie Zheng, Dewen Zhao, Xinchun Lu
المصدر: Micromachines, Vol 14, Iss 9, p 1683 (2023)
مصطلحات موضوعية: pad wear profile, kinematic simulation, experimental verification, pad–wafer contact stress, static, Mechanical engineering and machinery, TJ1-1570
وصف الملف: electronic resource
-
2دورية أكاديمية
لا يتم عرض هذه النتيجة على الضيوف.
تسجيل الدخول للوصول الكامل. -
3دورية أكاديمية
المؤلفون: Jungyu Son, Hyunseop Lee
المصدر: Applied Sciences, Vol 11, Iss 8, p 3521 (2021)
مصطلحات موضوعية: chemical mechanical polishing (CMP), pad conditioning, pad wear profile, pad lifetime, Technology, Engineering (General). Civil engineering (General), TA1-2040, Biology (General), QH301-705.5, Physics, QC1-999, Chemistry, QD1-999
وصف الملف: electronic resource
-
4دورية أكاديمية
لا يتم عرض هذه النتيجة على الضيوف.
تسجيل الدخول للوصول الكامل. -
5دورية أكاديمية
لا يتم عرض هذه النتيجة على الضيوف.
تسجيل الدخول للوصول الكامل.