-
1دورية أكاديمية
المؤلفون: Ke Wang, Hongding Wang, Yanlong Zhang, Huirong Shi, Jiahao Shi
المصدر: Micromachines, Vol 15, Iss 3, p 393 (2024)
مصطلحات موضوعية: stress-free polishing, deterministic polishing, jet electrochemical machining, positioning accuracy, surface flatness, Mechanical engineering and machinery, TJ1-1570
وصف الملف: electronic resource
-
2دورية أكاديمية
المصدر: IEEE Access Access, IEEE. 7:75330-75341 2019
-
3دورية أكاديمية
لا يتم عرض هذه النتيجة على الضيوف.
تسجيل الدخول للوصول الكامل. -
4دورية أكاديمية
المؤلفون: Zilian Qu, Wensong Wang, Shuhui Yang, Quqin Sun, Zhongyuan Fang, Yuanjin Zheng
المصدر: IEEE Access, Vol 7, Pp 75330-75341 (2019)
مصطلحات موضوعية: Double-coil sensor, magnetic resonance coupling, Cu film on the silicon wafer, stress free polishing, equivalent circuit model, Electrical engineering. Electronics. Nuclear engineering, TK1-9971
وصف الملف: electronic resource
-
5دورية أكاديمية
لا يتم عرض هذه النتيجة على الضيوف.
تسجيل الدخول للوصول الكامل. -
6
المؤلفون: Shuhui Yang, Wensong Wang, Yuanjin Zheng, Quqin Sun, Zilian Qu, Zhongyuan Fang
المساهمون: School of Electrical and Electronic Engineering, SMRT-NTU Smart Urban Rail Corporate Laboratory
المصدر: IEEE Access, Vol 7, Pp 75330-75341 (2019)
مصطلحات موضوعية: Materials science, General Computer Science, Silicon, chemistry.chemical_element, Polishing, Magnetic Resonance Coupling, law.invention, law, Cu film on the silicon wafer, Eddy current, General Materials Science, Wafer, business.industry, General Engineering, Inductance, Double-coil sensor, chemistry, magnetic resonance coupling, equivalent circuit model, Electromagnetic coil, Double-coil Sensor, Electrical and electronic engineering [Engineering], Equivalent circuit, Optoelectronics, lcsh:Electrical engineering. Electronics. Nuclear engineering, Coaxial, business, lcsh:TK1-9971, stress free polishing
وصف الملف: application/pdf