المؤلفون: Clerix, J.J., Warad, L., Hung, J., Hody, H., Van Roey, F., Lorusso, G., Koret, R., Lee, W.T., Shah, K., Delabie, A.

المصدر: In Applied Surface Science 30 July 2023 626

المؤلفون: Veloso, A., Demuynck, S., Ercken, M., Goethals, A. M., Locorotondo, S., Lazzarino, F., Altamirano, E., Huffman, C., De Keersgieter, A., Brus, S., Demand, M., Struyf, H., De Backer, J., Hermans, J., Delvaux, C., Baudemprez, B., Vandeweyer, T., Van Roey, F., Baerts, C., Goossens, D., Dekkers, H., Ong, P., Heylen, N., Kellens, K., Volders, H., Hikavyy, A., Vrancken, C., Rakowski, M., Verhaegen, S., Dusa, M., Romijn, L., Pigneret, C., Van Dijk, A., Schreutelkamp, R., Cockburn, A., Gravey, V., Meiling, H., Hultermans, B., Lok, S., Shah, K., Rajagopalan, R., Gelatos, J., Richard, O., Bender, H., Vandenberghe, G., Beyer, G. P., Absil, P., Hoffmann, T., Ronse, K., Biesemans, S.

المصدر: 2009 IEEE International Electron Devices Meeting (IEDM) Electron Devices Meeting (IEDM), 2009 IEEE International. :1-4 Dec, 2009

Relation: 2009 IEEE International Electron Devices Meeting (IEDM)

المؤلفون: Veloso, A., Demuynck, S., Ercken, M., Goethals, A. M., Demand, M., de Marneffe, J.-F., Altamirano, E., De Keersgieter, A., Delvaux, C., De Backer, J., Brus, S., Hermans, J., Baudemprez, B., Van Roey, F., Lorusso, G. F., Baerts, C., Goossens, D., Vrancken, C., Mertens, S., Versluijs, J. J., Truffert, V., Huffman, C., Laidler, D., Heylen, N., Ong, P., Parvais, B., Rakowski, M., Verhaegen, S., Hikavyy, A., Meiling, H., Hultermans, B., Romijn, L., Pigneret, C., Lok, S., Van Dijk, A., Shah, K., Noori, A., Gelatos, J., Arghavani, R., Schreutelkamp, R., Boelen, P., Richard, O., Bender, H., Witters, L., Collaert, N., Rooyackers, R., Absil, P., Lauwers, A., Jurczak, M., Hoffmann, T., Vanhaelemeersch, S., Cartuyvels, R., Ronse, K., Biesemans, S.

المصدر: 2008 IEEE International Electron Devices Meeting Electron Devices Meeting, 2008. IEDM 2008. IEEE International. :1-4 Dec, 2008

Relation: 2008 IEEE International Electron Devices Meeting (IEDM)

المؤلفون: Lorusso, GF, Sutani, T, Rutigliani, V, Van Roey, F, Moussa, A, Charley, AL, Mack, C, Naulleau, P, Perera, C, Constantoudis, V, Ikota, M, Ishimoto, T, Koshihara, S

المصدر: Journal of Micro/ Nanolithography, MEMS, and MOEMS. 17(4)

مصطلحات موضوعية: Nanoscience & Nanotechnology, Optical Physics, Electrical and Electronic Engineering

URL الوصول: https://escholarship.org/uc/item/1hz5s0w7

المؤلفون: Goethals, A.M., Jonckheere, R., van Roey, F., Hermans, J., Eliat, A., Ronse, K., Wong, P., Zandbergen, P., Vasconi, M., Severgnini, E., Henke, W., Hohle, C., Henry, Dominique, Thony, Ph, Markey, L., Schiavone, P., Fuard, D.

المساهمون: Laboratoire des technologies de la microélectronique (LTM), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Université Joseph Fourier - Grenoble 1 (UJF)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), Université Joseph Fourier - Grenoble 1 (UJF)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), Clot, Marielle

المصدر: 157nm Symposium
157nm Symposium, 2002, Antwerp, Belgium

URL الوصول: https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=dedup_wf_001::698c48dd2391537f01ed150fabbdb107
https://hal.archives-ouvertes.fr/hal-00486211

المؤلفون: Lorusso, G. F., Hermans, J., Goethals, A. M., Baudemprez, B., Van Roey, F., Myers, A. M., Kim, I., Kim, B. S., Jonckheere, R. M., Niroomand, A., Lok, S., Van Dijk, A., de Marneffe, J.-F., Demuynck, S., Goossens, D., Ronse, K.

المصدر: Proceedings of SPIE; Nov2008, Issue 1, p69210O-69210O-10, 10p

المؤلفون: Hendrickx, E., Goethals, A. M., Niroomand, A., Jonckheere, R., Van Roey, F., Lorusso, G. F., Hermans, J., Baudemprez, B., Ronse, K.

المصدر: Proceedings of SPIE; Nov2008, Issue 1, p714007-714007-11, 11p

المؤلفون: Van Steenwinckel, D., Gronheid, R., Lammers, J. H., Meyers, A. M., Van Roey, F., Willems, P.

المصدر: Proceedings of SPIE; Nov2007 Part 2, Issue 1, p65190V-65190V-11, 11p

المؤلفون: Stepanenko, N., Kim, Hyun-Woo, Kishimura, S., Van Den Heuvel, D., Vandenbroeck, N., Kocsis, M., Foubert, P., Maenhoudt, M., Ercken, M., Van Roey, F., Gronheid, R., Pollentier, I., Vangoidsenhoven, D., Delvaux, C., Baerts, C., O'Brien, S., Fyen, W., Wells, G.

المصدر: Proceedings of SPIE; Nov2006, Issue 1, p615304-615304-17, 17p

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