A continuous-time voltage readout for SiC micromechanical capacitive pressure sensor.

التفاصيل البيبلوغرافية
العنوان: A continuous-time voltage readout for SiC micromechanical capacitive pressure sensor.
المؤلفون: Baixiang Zheng, Wei Tang, Zhe Che, Haixia Zhang
المصدر: 2010 5th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered & Molecular Systems (NEMS); 2010, p748-751, 4p
قاعدة البيانات: Complementary Index
الوصف
ردمك:9781424465439
DOI:10.1109/NEMS.2010.5592264