Efficient piezoelectric gimbal-less MEMS-mirror with large design flexibility
| العنوان: | Efficient piezoelectric gimbal-less MEMS-mirror with large design flexibility |
|---|---|
| المؤلفون: | Lena Wysocki, Lars Ratzmann, Patrick Schütt, Jörg Albers, Gunnar Wille, Shanshan Gu-Stoppel |
| المصدر: | MOEMS and Miniaturized Systems XXII. |
| بيانات النشر: | SPIE, 2023. |
| سنة النشر: | 2023 |
| URL الوصول: | https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::51174043b1c7971275b0e344ea3c8512 https://doi.org/10.1117/12.2647807 |
| رقم الأكسشن: | edsair.doi...........51174043b1c7971275b0e344ea3c8512 |
| قاعدة البيانات: | OpenAIRE |
| الوصف غير متاح. |