دورية أكاديمية
Improvement of Amorphous InGaZnO Thin-Film Transistor Reliability and Electrical Performance Using ALD SiO2 Interfacial Layer on PECVD SiO2 Gate Insulator
العنوان: | Improvement of Amorphous InGaZnO Thin-Film Transistor Reliability and Electrical Performance Using ALD SiO2 Interfacial Layer on PECVD SiO2 Gate Insulator |
---|---|
المؤلفون: | Lee, T., Oh, S. |
المصدر: | IEEE Transactions on Electron Devices IEEE Trans. Electron Devices Electron Devices, IEEE Transactions on. 71(3):1926-1931 Mar, 2024 |
قاعدة البيانات: | IEEE Xplore Digital Library |
تدمد: | 00189383 15579646 |
---|---|
DOI: | 10.1109/TED.2024.3355025 |