دورية أكاديمية

Improvement of Amorphous InGaZnO Thin-Film Transistor Reliability and Electrical Performance Using ALD SiO2 Interfacial Layer on PECVD SiO2 Gate Insulator

التفاصيل البيبلوغرافية
العنوان: Improvement of Amorphous InGaZnO Thin-Film Transistor Reliability and Electrical Performance Using ALD SiO2 Interfacial Layer on PECVD SiO2 Gate Insulator
المؤلفون: Lee, T., Oh, S.
المصدر: IEEE Transactions on Electron Devices IEEE Trans. Electron Devices Electron Devices, IEEE Transactions on. 71(3):1926-1931 Mar, 2024
قاعدة البيانات: IEEE Xplore Digital Library
الوصف
تدمد:00189383
15579646
DOI:10.1109/TED.2024.3355025