دورية أكاديمية

BEOL-Compatible Ferroelectric Capacitor of 5 nm Ultrathin HZO With High Remanent Polarization and Excellent Endurance

التفاصيل البيبلوغرافية
العنوان: BEOL-Compatible Ferroelectric Capacitor of 5 nm Ultrathin HZO With High Remanent Polarization and Excellent Endurance
المؤلفون: Teng, L., Huang, Y., Chang, S., Wang, S., Lin, Y., Chien, C.
المصدر: IEEE Transactions on Nanotechnology IEEE Trans. Nanotechnology Nanotechnology, IEEE Transactions on. 23:474-477 2024
قاعدة البيانات: IEEE Xplore Digital Library