دورية أكاديمية

High performance of novel oxygen diffusion barrier materials for future high-density dynamic random access memory devices

التفاصيل البيبلوغرافية
العنوان: High performance of novel oxygen diffusion barrier materials for future high-density dynamic random access memory devices
المؤلفون: Dong-Soo Yoon, Jae Sung Roh
المصدر: IEEE Transactions on Electron Devices IEEE Trans. Electron Devices Electron Devices, IEEE Transactions on. 49(11):1917-1927 Nov, 2002
قاعدة البيانات: IEEE Xplore Digital Library
الوصف
تدمد:00189383
15579646
DOI:10.1109/TED.2002.804710