Silicon microsensors and microstructures

التفاصيل البيبلوغرافية
العنوان: Silicon microsensors and microstructures
المؤلفون: Baltes, H., Boltshauser, T., Brand, O., Lenggenhager, R., Jaeggi, D.
المصدر: 1992 IEEE International Symposium on Circuits and Systems (ISCAS) Circuits and Systems (ISCAS), 1992 IEEE International Symposium on. 4:1820-1823 vol.4 1992
Relation: 1992 IEEE International Symposium on Circuits and Systems (ISCAS)
قاعدة البيانات: IEEE Xplore Digital Library
الوصف
ردمك:0780305930
9780780305939
DOI:10.1109/ISCAS.1992.230400