Experimental determination of mass sensitivity of APM sensors by CVD thin films

التفاصيل البيبلوغرافية
العنوان: Experimental determination of mass sensitivity of APM sensors by CVD thin films
المؤلفون: Schumacher, J., Dahint, R., Josse, F., Grunze, M.
المصدر: 1994 Proceedings of IEEE Ultrasonics Symposium Ultrasonics Ultrasonics Symposium, 1994. Proceedings., 1994 IEEE. 1:629-632 vol.1 1994
Relation: Proceedings of IEEE Ultrasonics Symposium
قاعدة البيانات: IEEE Xplore Digital Library
الوصف
ردمك:0780320123
9780780320123
DOI:10.1109/ULTSYM.1994.401665