Ultra-shallow Carborane molecular implant for 22-nm node p-MOSFET performance boost

التفاصيل البيبلوغرافية
العنوان: Ultra-shallow Carborane molecular implant for 22-nm node p-MOSFET performance boost
المؤلفون: Colombeau, B., Thanigaivelan, T., Arevalo, E., Toh, T., Miura, R., Ito, H.
المصدر: 2009 International Workshop on Junction Technology Junction Technology, 2009. IWJT 2009. International Workshop on. :27-30 Jun, 2009
Relation: 2009 International Workshop on Junction Technology (IWJT)
قاعدة البيانات: IEEE Xplore Digital Library
الوصف
ردمك:9781424433193
9781424433209
DOI:10.1109/IWJT.2009.5166211