دورية أكاديمية
Piezoresistive Microcantilevers From Ultrananocrystalline Diamond
العنوان: | Piezoresistive Microcantilevers From Ultrananocrystalline Diamond |
---|---|
المؤلفون: | Privorotskaya, N. L., Zeng, H., Carlisle, J. A., Bashir, R., King, W. P. |
المصدر: | Journal of Microelectromechanical Systems J. Microelectromech. Syst. Microelectromechanical Systems, Journal of. 19(5):1234-1242 Oct, 2010 |
قاعدة البيانات: | IEEE Xplore Digital Library |
تدمد: | 10577157 19410158 |
---|---|
DOI: | 10.1109/JMEMS.2010.2067201 |